એડવાન્સ્ડ સેમિકન્ડક્ટર પ્રોસેસિંગ માટે સીવીડી કોટિંગ્સ

મહત્વપૂર્ણ સેમિકન્ડક્ટર ઉત્પાદન વાતાવરણ માટે રચાયેલ, અમારા કેમિકલ વેપર ડિપોઝિશન (CVD) સિલિકોન કાર્બાઇડ (SiC), ટેન્ટેલમ કાર્બાઇડ (TaC), અને પાયરોલિટીક કાર્બન (PyC) કોટિંગ્સ ઉત્કૃષ્ટ રાસાયણિક જડતા, અત્યંત થર્મલ સ્થિરતા અને અતિ-ઉચ્ચ શુદ્ધતા (< 5 ppm) પ્રદાન કરે છે. આક્રમક પ્લાઝ્મા, પ્રતિક્રિયાશીલ પ્રક્રિયા વાયુઓ અને ઉચ્ચ થર્મલ સાયકલિંગથી ઉચ્ચ-શુદ્ધતાવાળા ગ્રેફાઇટ અને સિરામિક સબસ્ટ્રેટને સુરક્ષિત રાખવા માટે રચાયેલ, અમારા અદ્યતન કોટિંગ્સ કણોનું ઉત્પાદન ઘટાડે છે અને ઘટક જીવનકાળને નોંધપાત્ર રીતે વિસ્તૃત કરે છે.સિલિકોન/SiC એપિટાક્સી, MOCVD, પ્લાઝ્મા એચિંગ, અને મોનોક્રિસ્ટલ ગ્રોથઅરજીઓ.