SiC એપિટેક્સિયલ ગ્રોથ માટે અદ્યતન CVD કોટિંગ્સ

ભારે થર્મલ તણાવ (૧૫૦૦°C - ૧૭૦૦°C) હેઠળ કાર્યરત ઉચ્ચ-શક્તિવાળા સેમિકન્ડક્ટર ઉપકરણ પ્રક્રિયાઓ માટે તૈયાર કરાયેલ, અમારા CVD SiC અને TaC કોટેડ પ્લેનેટરી સસેપ્ટર્સ, સેટેલાઇટ ડિસ્ક અને ગેસ ડિફ્લેક્ટર્સ શ્રેષ્ઠ બનાવવા માટે બનાવવામાં આવ્યા છે. કણોનું ઉત્પાદન, સપાટીના અધોગતિ અને પ્રતિક્રિયાશીલ ગેસ એચિંગ (H₂, SiH₄, C₃H∯) ને રોકવા માટે રચાયેલ, અમારા અદ્યતન કોટિંગ્સ લાંબા કાર્યકારી જીવનકાળ, શ્રેષ્ઠ ડોપન્ટ નિયંત્રણ અને ઉચ્ચ ફિલ્મ જાડાઈ એકરૂપતા સુનિશ્ચિત કરે છે.6-ઇંચ અને 8-ઇંચ SiC એપિટેક્સિયલ વેફર્સ.