ક્વાર્ટઝ વેફર બોટસેમિકન્ડક્ટર ઉત્પાદન, ફોટોવોલ્ટેઇક સેલ ઉત્પાદન અને અદ્યતન સામગ્રી સંશોધન અને વિકાસમાં એક મુખ્ય વાહક સાધન છે, જે ઉચ્ચ-તાપમાન પ્રક્રિયાઓમાં સ્થિર વેફર ટ્રાન્સફર અને સ્થિતિ માટે રચાયેલ છે. આ ઉત્પાદન અતિ-ઉચ્ચ શુદ્ધતા ફ્યુઝ્ડ સિલિકા (SiO2) થી બનેલું છે, જેમાં ઉત્તમ તાપમાન પ્રતિકાર, રાસાયણિક સ્થિરતા અને અતિ-નીચી ધાતુ દૂષણ લાક્ષણિકતાઓ છે, જે પ્રસરણ ભઠ્ઠી, ઓક્સિડેશન ભઠ્ઠી, PECVD/LPCVD અને અન્ય સાધનો માટે યોગ્ય છે, જે વેફર કોટિંગ, આયન ઇમ્પ્લાન્ટેશન, ઉચ્ચ તાપમાન એનિલિંગ અને અન્ય મુખ્ય પ્રક્રિયાઓમાં વ્યાપકપણે ઉપયોગમાં લેવાય છે.
VET એનર્જીની ક્વાર્ટઝ બોટના મુખ્ય ફાયદા:
- અતિ-ઉચ્ચ શુદ્ધતા સામગ્રી
શુદ્ધતા ≥99.99%: અશુદ્ધતાનું પ્રમાણ (Na, K, Fe, વગેરે) <5ppm, વેફર દૂષણ ટાળે છે અને ચિપ ઉપજની ખાતરી આપે છે.
ઓછો વરસાદ અને શોષણ: કણોના સંલગ્નતા અને ગેસ અવશેષોને ઘટાડવા માટે સપાટીને સુપર-પોલિશ્ડ (Ra≤0.4μm) કરવામાં આવે છે. - ઉચ્ચ તાપમાન સ્થિરતા
તાપમાન મર્યાદા: લાંબા ગાળાનું કાર્યકારી તાપમાન 1100℃, ટૂંકા ગાળાનું ટોચ 1300℃, કોઈ વિકૃતિ નહીં, કોઈ સ્ફટિક વરસાદ નહીં.
નીચા થર્મલ વિસ્તરણ ગુણાંક (5.5x10-7/℃), ઉત્તમ થર્મલ શોક પ્રતિકાર, ઝડપી તાપમાનમાં વધારો અને ઘટાડો પ્રક્રિયા (દા.ત. RTP ઝડપી એનિલિંગ) માટે અનુકૂળ. - ચોક્કસ માળખાકીય ડિઝાઇન
સ્લોટ ચોકસાઇ±0.1mm: 2” થી 12” વેફર્સ સાથે મેળ ખાતી, અંતર એકરૂપતા ભૂલ <0.05mm, ખાતરી કરે છે કે વેફર્સ કોઈ ઓફસેટ નથી.
ઉચ્ચ લોડ ક્ષમતા: એક જ બોટમાં મહત્તમ 50 વેફર્સ (12” વેફર્સની દ્રષ્ટિએ) લોડ, પાતળા વેફર (≥100um) ના સ્થિર ટ્રાન્સફરને ટેકો આપે છે. - રાસાયણિક જડતા
કાટ પ્રતિકાર: એસિડ (HF સિવાય), આલ્કલી અને કાર્બનિક દ્રાવક કાટ સામે પ્રતિરોધક, CMP સફાઈ પ્રક્રિયા સાથે સુસંગત.
ઉત્તમ ગેસ ટાઈટનેસ: લીકેજ રેટ <5x10-10 Pa.m3/s, વેક્યુમ અને રક્ષણાત્મક ગેસ વાતાવરણ માટે યોગ્ય. - લાંબુ આયુષ્ય અને જાળવણીક્ષમતા
આયુષ્ય ≥ 5000 ચક્ર (સામાન્ય કાર્યકારી પરિસ્થિતિઓ) કરતાં વધુ, સપાટીને વારંવાર સાફ અને ઉપયોગ કરી શકાય છે, જેનાથી એકંદર ખર્ચમાં ઘટાડો થાય છે.
મોડ્યુલર ડિઝાઇન: આંશિક રિપ્લેસમેન્ટ (દા.ત. સિંગલ બોટ ટૂથ) ને સપોર્ટ કરે છે, જે ડાઉનટાઇમ ઘટાડે છે.
અમે ગ્રાહકની જરૂરિયાતો અનુસાર પારદર્શક અને હિમાચ્છાદિત બંને સપાટીઓ પ્રદાન કરીએ છીએ:
નિંગબો વીઈટી એનર્જી ટેકનોલોજી કંપની લિમિટેડ એક ઉચ્ચ-તકનીકી સાહસ છે જે ઉચ્ચ-સ્તરીય અદ્યતન સામગ્રીના ઉત્પાદન અને વેચાણ પર ધ્યાન કેન્દ્રિત કરે છે, જેમાં ગ્રેફાઇટ, સિલિકોન કાર્બાઇડ, સિરામિક્સ, સપાટીની સારવાર જેવી કે SiC કોટિંગ, TaC કોટિંગ, ગ્લાસી કાર્બન કોટિંગ, પાયરોલિટીક કાર્બન કોટિંગ વગેરેનો સમાવેશ થાય છે. આ ઉત્પાદનોનો ફોટોવોલ્ટેઇક, સેમિકન્ડક્ટર, નવી ઊર્જા, ધાતુશાસ્ત્ર વગેરેમાં વ્યાપકપણે ઉપયોગ થાય છે.
અમારી ટેકનિકલ ટીમ ટોચની સ્થાનિક સંશોધન સંસ્થાઓમાંથી આવે છે, અને ઉત્પાદન પ્રદર્શન અને ગુણવત્તા સુનિશ્ચિત કરવા માટે બહુવિધ પેટન્ટ ટેકનોલોજી વિકસાવી છે, જે ગ્રાહકોને વ્યાવસાયિક સામગ્રી ઉકેલો પણ પ્રદાન કરી શકે છે.
