Ösen ýarymgeçirijileri gaýtadan işlemek üçin CVD örtükleri
Ýarymgeçiriji önümçilik gurşawlary üçin niýetlenen, himiki bug çökündisi (CVD) kremniý karbidi (SiC), tantal karbidi (TaC) we pirolitik uglerod (PyC) örtüklerimiz ajaýyp himiki inertligi, örän termal durnuklylygy we örän ýokary arassalygy (< 5 ppm) üpjün edýär. Ýokary arassa grafit we keramiki substratlary agressiw plazmadan, reaktiv proses gazlaryndan we ýokary termal siklden goramak üçin niýetlenen ösen örtüklerimiz bölejikleriň döremegini azaldýar we komponentleriň ömrüni ep-esli uzaldýar.Kremniý/SiC Epitaksiýasy, MOCVD, Plazma aşındyrmasy we Monokristal Ösüşiprogrammalar.
Kritiki proseslerde wafli hapalanmagynyň öňüni almak üçin GDMS tarapyndan tassyklanan pes metal garyndylary.
Dykyz kristal gurluşy galogen plazmasyndan (CF₄, NF₃, Cl₂) we korroziýa ediji gazlardan goraýar.
Güýçli termal şoklar astynda CTE-niň berk gözegçiligi mikro çatlamalary we örtük delaminasiýasyny aradan aýyrýar.
| Örtük görnüşi | Esasy tehniki artykmaçlyk | Esasy proses ulanylyşy |
|---|---|---|
| CVD SiC örtügi | Ýokary ýylylyk geçirijiligi, plazma eroziýasyna ajaýyp garşylyk | Gury aşındyrma, Si epitaksiýasy, MOCVD, Kristal ösüşi |
| CVD TaC örtügi | Ýokary temperatura garşylygy (>2000°C), H₂/SiH₄ korroziýa garşylygy | SiC Epitaksiýasy, Bir Kristally SiC PVT Ösüşi |
| PyC örtügi | Germetik gaz möhürleme, ultra ýumşak anizotrop uglerod ýüzi | Termal meýdan izolýasiýasy, CZ Monokristal Silikon |
