Ụgbọ mmiri graphite

Ụgbọ mmiri graphite PECVD bụ akụkụ dị mkpa maka ibu wafer silicon na usoro plasma enhanced chemical vapor deposition (PECVD). A na-ejikarị ya eme ihe na usoro nkwadebe ihe nkiri passivation na anti-reflection nke mkpụrụ ndụ anyanwụ.

VET Energy na-enye ụgbọ mmiri graphite PECVD dị elu na ọrụ ndị metụtara ya. Ngwaahịa anyị nwere ndụ ọrụ ogologo oge, ịdị n'otu okpomọkụ dị mma, na nkesa gas kachasị mma. Site na imewe ọhụrụ na njikwa mma siri ike, anyị aghọwo ndị na-eweta ngwọta kachasị elu maka ụgbọ mmiri graphite na ụlọ ọrụ ahụ. Anyị nwere ndị otu ọkachamara teknụzụ sitere na CAS na ụlọ nyocha nke anyị, nke na-ewetara anyị uru dị mkpa dịka ndị a: ▪ Ikike nyocha na mmepe nke onwe ▪ Nhazi nke ọma ▪ Ndị otu teknụzụ ọkachamara ▪ Sistemụ mma zuru oke ▪ Ọrụ nzaghachi ngwa ngwa ▪ Ike nhazi