グラファイトボート

PECVDグラファイトボートは、プラズマCVD（PECVD）プロセスにおいてシリコンウェハーを搬送するための重要な部品です。主に太陽電池のパッシベーション膜および反射防止膜の作製プロセスで使用されます。

VET Energyは、高品質のPECVDグラファイトボートおよび関連サービスを提供しています。当社の製品は、長寿命、優れた温度均一性、最適化されたガス流量分布を特長としています。革新的な設計と厳格な品質管理により、当社はグラファイトボート業界におけるリーディングソリューションプロバイダーとしての地位を確立しました。当社には中国科学院出身の専門技術チームと自社研究所があり、以下のような大きな強みを持っています。 ▪ 独立した研究開発能力 ▪ 精密製造 ▪ 専門技術チーム ▪ 包括的な品質システム ▪ 迅速対応サービス ▪ カスタマイズ機能

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