Kedu ihe bụ MOCVD SiC mkpuchi okpomọkụ

MOCVD (Metal-Organic Chemical Vapor Deposition) bụ usoro a na-ejikarị eme ihe maka itinye ihe mkpuchi dị gịrịgịrị dị elu ma na-arụ ọrụ dị mkpa na ụlọ ọrụ mmepụta semiconductor na eletrọniki. Dịka ihe dị mkpa na usoro MOCVD, a na-ejikarị ihe na-ekpo ọkụ SiC eme ihe iji kwado mmeghachi omume gas dị elu na uto wafer. N'ebe a, itinye mkpuchi silicon carbide (SiC) na-eme ka iguzogide okpomọkụ dị elu, oxidation, na corrosion kemịkalụ dịkwuo mma, nke dị mkpa maka ịnọgide na-enwe arụmọrụ kwụsiri ike n'oge ọrụ ogologo oge.

Otu n'ime uru dị mkpa nkeIgwe ọkụ mkpuchi MOCVD SiCbụ ezigbo ike ha na-arụ ọrụ okpomọkụ na ikike okpomọkụ dị elu, nke na-enye ha ohere ịrụ ọrụ nke ọma n'okpuru ọnọdụ dị oke njọ. Silicon carbide nwere ebe ịgbaze dị elu nke ukwuu, na-eme ka ọ nọgide na-eguzosi ike n'ihe n'oge okpomọkụ dị elu ma na-egbochi mmebi ma ọ bụ ọdịda nke nwere ike ime na ihe ndị na-ekpo ọkụ nkịtị. Na mgbakwunye, nkwụsi ike kemịkalụ dị elu nke mkpuchi SiC na-eme ka iguzogide dị irè na ọtụtụ gburugburu ebe obibi na-emebi emebi, na-eme ka ndụ ogologo oge ọrụ na obere ihe achọrọ maka mmezi dị ala.

N'ime sistemụ MOCVD, ihe na-ekpo ọkụ na-ekpebi kpọmkwem ọnọdụ okpomọkụ dị n'ime ụlọ mmeghachi omume yana otu esi etinye ya. Ihe na-ekpo ọkụ nke a kpuchiri SiC na-arụ ọrụ dị mkpa na ọrụ dị mkpa a. Ihe na-ekpo ọkụ ndị a na-adaberekarị na graphite dị ọcha ma ọ bụ ihe ndị e ji carbon mee pụrụ iche, yana akwa SiC dị arọ ma dị otu a na-etinye n'elu site na itinye anwụrụ kemịkalụ, na-eme ka ike igwe na arụmọrụ ihe dịkwuo mma nke ukwuu.

E wezụga iguzogide oke okpomọkụ, mkpuchi SiC na-enyekwa uru doro anya na njikwa ihe ndị dị ndụ. N'oge uto MOCVD, ọbụna ọkwa nke mmetọ ihe ndị dị ndụ nwere ike imetụta ịdị mma nke oyi akwa epitaxial n'ụzọ dị njọ. Elu SiC dị oke njọ na-egbochi mmebi ihe ndị dị ndụ na mmebi ihe, na-ebelata mmepụta ihe ndị dị ndụ ma na-emezu ihe achọrọ siri ike maka ịdị ọcha na mmepụta nke mmepụta semiconductor compound. Àgwà a dị mkpa karịsịa na ngwa epitaxial dị elu gụnyere GaN na SiC.

N'okpuru ọrụ okpomọkụ dị ogologo oge, nkwụsi ike nke okirikiri okpomọkụ bụ ihe ngosi arụmọrụ ọzọ dị mkpa maka ndị na-ekpo ọkụ. Mkpuchi SiC nwere obere mmụba okpomọkụ na iguzogide oke okpomọkụ, na-ebelata ihe egwu nke mgbawa ma ọ bụ delamination n'oge usoro okpomọkụ na oyi ugboro ugboro. Nkwụsi ike a na-enyere aka ịnọgide na-enwe nguzogide eletriki na arụmọrụ okpomọkụ na-aga n'ihu, na-ebelata mbugharị usoro ma na-enye windo usoro a na-achịkwa maka mmepụta oke.

Site n'echiche mmezi, ihe na-ekpo ọkụ nke a kpuchiri MOCVD SiC na-enye ndụ ọrụ dị ogologo karịa ma e jiri ya tụnyere ihe ngwọta seramiiki ndị a na-ekpuchighị ekpuchi ma ọ bụ ndị ọzọ. Nguzogide nchara ha dị elu na-enye ha ohere iguzogide gas dị iche iche na ihe ndị na-eme ka mmeghachi omume dị iche iche sikwuo ike, na-ebelata ugboro nhicha na oge nnọchi, na-ebelata oge ọrụ ngwa, ma na-enye aka na mmepụta dị elu.

Ka teknụzụ semiconductor compound na-aga n'ihu na-aga n'ihu na njupụta ike dị elu na nha wafer buru ibu, a na-etinye mmụba ọchịchọ na nhazi okpomọkụ nke ihe na-ekpo ọkụ na ntụkwasị obi ogologo oge. Site na usoro mkpuchi tozuru okè na njirimara ihe kwụsiri ike,Igwe ọkụ mkpuchi MOCVD SiCaghọọla ihe ndị dị mkpa a nabatara nke ọma na akụrụngwa epitaxial dị elu, na-enye nkwado siri ike maka usoro uto epitaxial dị elu.