MOCVD (Tšepe-Organic Chemical Vapor Deposition) ke mokhoa o sebelisoang haholo bakeng sa ho beoa ha filimi e tšesaane ea boleng bo holimo 'me o bapala karolo ea bohlokoa indastering ea tlhahiso ea semiconductor le ea elektroniki. Jwalo ka karolo ea bohlokoa ts'ebetsong ea MOCVD, li-heater tse koahetsoeng ka SiC li sebelisoa hangata ho ts'ehetsa likarabelo tsa khase tse mocheso o phahameng le kholo ea wafer. Tikolohong ena, ts'ebeliso ea lipeiti tsa silicon carbide (SiC) e ntlafatsa haholo ho hanyetsa ha heater mochesong o phahameng, oxidation le ts'enyeho ea lik'hemik'hale, e leng ntho ea bohlokoa bakeng sa ho boloka ts'ebetso e tsitsitseng nakong ea ts'ebetso ea nako e telele.
E 'ngoe ea melemo ea mantlha eaLi-heater tse koahetsoeng ka MOCVD SiCke bokgoni ba tsona bo botle ba ho tsamaisa mocheso le bokgoni ba mocheso o phahameng, e leng se di dumellang ho sebetsa ka botshepehi tlasa maemo a feteletseng. Silicon carbide e na le ntlha e phahameng haholo ya ho qhibiliha, e e nolofalletsang ho dula e tsitsitse ka sebopeho maemong a phahameng a mocheso le ho thibela ho fetoha kapa ho hloleha ho ka hlahang ka dielemente tse tlwaelehileng tsa ho futhumatsa. Ho feta moo, botsitso bo phahameng ba dikhemikhale tsa SiC dikoahelo bo nolofalletsa ho hanyetsa ka katleho dibakeng tse fapaneng tse senyang, ho netefatsa bophelo bo bolelele ba tshebeletso le ditlhoko tse fokotsehileng tsa tlhokomelo.
Ka hare ho litsamaiso tsa MOCVD, kopano ea ho futhumatsa e khetholla ka ho toba botsitso ba mocheso ka hare ho kamore ea karabelo hammoho le ho tšoana ha ho beoa. Li-heater tse koahetsoeng ka SiC li bapala karolo ea bohlokoa mosebetsing ona oa bohlokoa. Li-heater tsena hangata li thehiloe holim'a graphite e hloekileng haholo kapa li-substrate tse khethehileng tsa carbon, tse nang le lera le teteaneng le le tšoanang la SiC le behiloeng holim'a metsi ka ho beoa ha mouoane oa lik'hemik'hale, e leng se ntlafatsang haholo matla a mechini le ts'ebetso ea thepa.
Ka ntle ho khanyetso ea mocheso o phahameng, lipeiti tsa SiC le tsona li fana ka melemo e hlakileng taolong ea likaroloana. Nakong ea kholo ea MOCVD, esita le maemo a mesaletsa ea tšilafalo ea likaroloana a ka ama boleng ba lera la epitaxial hampe. Bokaholimo bo teteaneng ba SiC bo thibela ka katleho ho senyeha ha substrate le ho fetoha ha thepa, bo fokotsa tlhahiso ea likaroloana le ho fihlela litlhoko tse thata tsa bohloeki le chai tsa tlhahiso ea metsoako ea semiconductor. Tšobotsi ena e bohlokoa haholo lits'ebetsong tse tsoetseng pele tsa epitaxial tse kenyeletsang GaN le SiC.
Tlas'a ts'ebetso e telele ea mocheso o phahameng, botsitso ba potoloho ea mocheso ke sesupo se seng sa bohlokoa sa ts'ebetso bakeng sa li-heater. Li-coating tsa SiC li na le coefficient e tlase ea katoloso ea mocheso le khanyetso e matla khahlanong le ho tšoha ha mocheso, e fokotsang kotsi ea ho petsoha kapa ho arohana ha motlakase nakong ea lipotoloho tse pheta-phetoang tsa ho futhumatsa le ho pholisa. Botsitso bona bo thusa ho boloka khanyetso e tsitsitseng ea motlakase le katleho ea ho futhumatsa, ho fokotsa ho sisinyeha ha ts'ebetso le ho fana ka fensetere ea ts'ebetso e laoloang haholoanyane bakeng sa tlhahiso ea bongata.
Ho ya ka pono ya tlhokomelo, dihitara tse manehilweng ka MOCVD SiC di fana ka bophelo ba tshebeletso bo bolelele haholo ha di bapiswa le ditharollo tse sa manehwang kapa tse ding tsa letsopa. Khanyetso ya tsona e phahameng ya mafome e di dumella ho mamella dikhase tse fapaneng tsa pele le dihlahiswa tse latelang karabelo, ho fokotsa makgetlo a ho hlwekisa le dinako tsa ho nkela sebaka, ho fokotsa nako ya ho se sebetse ha disebediswa, le ho kenya letsoho tlhahisong e phahameng ka kakaretso.
Ha mahlale a di-semiconductor a kopaneng a ntse a tswela pele ho ya ho matla a phahameng le boholo bo boholo ba wafer, ditlhoko tse ntseng di eketseha di bewa hodima ho tshwana ha mocheso wa hitara le ho tshepahala ha nako e telele. Ka ditshebetso tse hodileng tsa ho roala le thepa e tsitsitseng ya thepa,Li-heater tse koahetsoeng ka MOCVD SiCe se e le likarolo tsa bohlokoa tse amohetsoeng haholo lisebelisoa tsa maemo a holimo tsa epitaxial, tse fanang ka tšehetso e matla bakeng sa lits'ebetso tse tsoetseng pele tsa kholo ea epitaxial.
Nako ea poso: Pherekhong-14-2026