태양전지 생산 라인의 PECVD 공정에 사용되는 흑연 보트
태양 전지 생산에는 텍스처링, 확산, 에칭, 코팅, 스크린 인쇄 및 소결의 여섯 가지 주요 공정이 필요합니다. 태양 전지 제조에서 PECVD 튜브 코팅 공정은 흑연 보트를 작업체로 사용합니다. 이 코팅 공정은 플라즈마 강화 화학 기상 증착(PECVD)을 이용하여 실리콘 웨이퍼 전면에 질화규소 박막을 증착함으로써 햇빛 반사를 줄이고 실리콘 웨이퍼 표면을 보호합니다.
PECVD 그래파이트 보트의 특징:
1) 장기간 사용 과정에서 "컬러 렌즈"가 나타나지 않도록 하기 위해 "컬러 렌즈" 기술을 없애기 위해 채택되었습니다.
2) 고순도, 저불순물 함량, 고강도의 수입 흑연 소재로 제작되었습니다.
3) 내식성과 내파괴성이 뛰어난 99.9% 세라믹을 세라믹 조립에 사용합니다.
4) 정밀 가공 장비를 사용하여 각 부품의 정확성을 보장합니다.
사양
| 목 | 유형 | 웨이퍼 캐리어 번호 |
| PEVCD 그래파이트 보트 --- 156 시리즈 | 156-13 그래파이트 보트 | 144 |
| 156-19 그래파이트 보트 | 216 | |
| 156-21 그래파이트 보트 | 240 | |
| 156-23 그래파이트 보트 | 308 | |
| PEVCD 그래파이트 보트 --- 125 시리즈 | 125-15 그래파이트 보트 | 196 |
| 125-19 그래파이트 보트 | 252 | |
| 125-21 그래파이트 보트 | 280 |
닝보 VET 에너지 테크놀로지 유한회사는 고급 첨단 소재의 생산 및 판매에 주력하는 하이테크 기업입니다. 당사의 소재 및 기술에는 흑연, 탄화규소, 세라믹, SiC 코팅, TaC 코팅, 유리질 탄소 코팅, 열분해 탄소 코팅 등의 표면 처리 기술이 포함되며, 이러한 제품은 태양광, 반도체, 신에너지, 야금 등 다양한 분야에서 널리 사용됩니다.
저희 기술팀은 국내 최고 연구기관 출신으로, 제품 성능과 품질을 보장하는 다수의 특허 기술을 개발했으며, 고객에게 전문적인 소재 솔루션도 제공할 수 있습니다.
