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간략한 설명:


제품 상세 정보

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제품 설명

탄소/탄소 복합재(이하 “라고 함)C/C 또는 CFC”탄소섬유 강화 복합재료는 탄소를 주재료로 하고 탄소섬유 및 그 제품(탄소섬유 프리폼)으로 보강한 재료입니다. 탄소의 관성 및 탄소섬유의 고강도를 모두 갖추고 있으며, 우수한 기계적 특성, 내열성, 내식성, 마찰 감쇠 특성, 열 및 전기 전도성을 나타냅니다.

CVD-SiC코팅은 균일한 구조, 치밀한 재질, 고온 저항성, 산화 저항성, 고순도, 내산성 및 내알칼리성, 유기 시약 저항성 등의 특성을 가지며, 물리적 및 화학적 특성이 안정적입니다.

고순도 흑연 소재와 비교했을 때, 흑연은 400℃에서 산화되기 시작하여 산화로 인한 분말 손실을 초래하고, 주변 장치 및 진공 챔버의 환경 오염을 유발하며, 고순도 환경의 불순물 함량을 증가시킵니다.

하지만 SiC 코팅은 1600도에서도 물리적, 화학적 안정성을 유지할 수 있어 현대 산업, 특히 반도체 산업에서 널리 사용되고 있습니다.

당사는 CVD 방식을 이용하여 흑연, 세라믹 및 기타 소재 표면에 SiC 코팅 공정 서비스를 제공합니다. 이 방식은 탄소와 실리콘을 함유한 특수 가스가 고온에서 반응하여 고순도 SiC 분자를 생성하고, 이 분자들이 코팅 소재 표면에 증착되어 SiC 보호층을 형성하는 것입니다. 형성된 SiC는 흑연 기판에 단단히 결합되어 흑연에 특수한 성질을 부여함으로써 흑연 표면을 치밀하고 기공이 없으며 고온, 부식 및 산화에 대한 저항성을 갖도록 합니다.

 흑연 표면 MOCVD 서셉터에 대한 SiC 코팅 공정

주요 특징:

1. 고온 산화 저항성:

산화 저항성은 섭씨 1600도에 달하는 고온에서도 여전히 매우 우수합니다.

2. 고순도: 고온 염소화 조건에서 화학 기상 증착법으로 제조.

3. 내식성: 높은 경도, 치밀한 표면, 미세 입자.

4. 내식성: 산, 알칼리, 염 및 유기 시약에 대한 내성.

 

CVD-SIC 코팅의 주요 사양:

SiC-CVD

밀도

(g/cc)

3.21

굽힘 강도

(엠파)

470

열팽창

(10-6/K)

4

열전도율

(와트/밀리켈빈)

300

상세 이미지

흑연 표면 MOCVD 서셉터에 대한 SiC 코팅 공정흑연 표면 MOCVD 서셉터에 대한 SiC 코팅 공정흑연 표면 MOCVD 서셉터에 대한 SiC 코팅 공정흑연 표면 MOCVD 서셉터에 대한 SiC 코팅 공정흑연 표면 MOCVD 서셉터에 대한 SiC 코팅 공정

회사 정보

111

공장 설비

222

창고

333

인증

인증22

 


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