ດ້ວຍຄວາມກ້າວໜ້າຂອງເຕັກໂນໂລຊີ, ອຸດສາຫະກຳອອບໂຕເອເລັກໂຕຣນິກ, ໂດຍສະເພາະເຕັກໂນໂລຊີ LED (Light Emitting Diode), ໄດ້ກາຍເປັນສ່ວນໜຶ່ງທີ່ສຳຄັນຂອງລະບົບໄຟສ່ອງສະຫວ່າງ, ຈໍສະແດງຜົນ, ແລະ ການສື່ສານຂອງສັງຄົມສະໄໝໃໝ່. ຂະບວນການຜະລິດໄຟ LED ກ່ຽວຂ້ອງກັບຂັ້ນຕອນທີ່ສຳຄັນຫຼາຍຢ່າງ, ໃນນັ້ນການແກະສະຫຼັກມີບົດບາດສຳຄັນໃນການຮັບປະກັນປະສິດທິພາບ ແລະ ຄຸນນະພາບຂອງຊິບ. ຍ້ອນວ່າຄວາມຕ້ອງການປະສິດທິພາບທີ່ສູງຂຶ້ນ ແລະ ການປະມວນຜົນທີ່ລະອຽດກວ່າເພີ່ມຂຶ້ນ, ການເລືອກວັດສະດຸສຳລັບການແກະສະຫຼັກມີຜົນກະທົບຢ່າງຫຼວງຫຼາຍຕໍ່ຂະບວນການໂດຍລວມ. ໃນສະພາບການນີ້, ຊິລິກອນຄາໄບ (SiC), ໃນຖານະເປັນວັດສະດຸພາຫະນະທີ່ມີນະວັດຕະກຳ, ໄດ້ຮັບຄວາມສົນໃຈຢ່າງກວ້າງຂວາງສຳລັບການນຳໃຊ້ໃນການແກະສະຫຼັກ LED.
ບົດຄວາມນີ້ສຸມໃສ່ການນໍາໃຊ້ແຜ່ນຮອງຮັບ Silicon Carbide ໃນຂະບວນການແກະສະຫຼັກ LED, ການວິເຄາະຂໍ້ດີ, ຄຸນລັກສະນະຂອງມັນ, ແລະວິທີການທີ່ວັດສະດຸນີ້ເພີ່ມປະສິດທິພາບຂະບວນການຜະລິດ LED.
I. ພາບລວມຂອງຂະບວນການແກະສະຫຼັກ LED
ການແກະສະຫຼັກໃນຂະບວນການຜະລິດ LED ໝາຍເຖິງເຕັກນິກທີ່ໃຊ້ເພື່ອສ້າງໂຄງສ້າງຈຸລະພາກທີ່ລະອຽດອ່ອນເທິງຊັ້ນຮອງພື້ນເຄິ່ງຕົວນຳ, ດັ່ງນັ້ນຈຶ່ງບັນລຸຄຸນສົມບັດທາງດ້ານແສງ ແລະ ໄຟຟ້າທີ່ຕ້ອງການ. ຄວາມແມ່ນຍຳ ແລະ ຄຸນນະພາບຂອງຂະບວນການແກະສະຫຼັກມີອິດທິພົນໂດຍກົງຕໍ່ປະສິດທິພາບຂອງຊິບ LED, ລວມທັງຄວາມສະຫວ່າງ, ອຸນຫະພູມສີ, ແລະ ປະສິດທິພາບດ້ານພະລັງງານ.
ການແກະສະຫຼັກສາມາດຈັດປະເພດໄດ້ເປັນການແກະສະຫຼັກແບບແຫ້ງ ແລະ ການແກະສະຫຼັກແບບປຽກ. ການແກະສະຫຼັກແບບແຫ້ງກ່ຽວຂ້ອງກັບການໃຊ້ພລາສມາ ຫຼື ເລເຊີສຳລັບການແກະສະຫຼັກ ແລະ ໂດຍປົກກະຕິແລ້ວແມ່ນໃຊ້ສຳລັບການນຳໃຊ້ທີ່ມີຄວາມແມ່ນຍຳສູງ ແລະ ມີການເລືອກເຟັ້ນສູງ. ໃນທາງກົງກັນຂ້າມ, ການແກະສະຫຼັກແບບປຽກໃຊ້ສານລະລາຍທາງເຄມີເພື່ອແກະສະຫຼັກວັດສະດຸ ແລະ ໂດຍທົ່ວໄປແລ້ວແມ່ນໃຊ້ສຳລັບການປິ່ນປົວຂະໜາດໃຫຍ່. ໂດຍບໍ່ຄຳນຶງເຖິງປະເພດຂອງການແກະສະຫຼັກ, ການເລືອກວັດສະດຸແຜ່ນຮອງຮັບມີຜົນກະທົບຢ່າງຫຼວງຫຼາຍຕໍ່ຜົນການແກະສະຫຼັກ ແລະ ຄຸນນະພາບສຸດທ້າຍຂອງຊິບ.
II. ການແນະນຳກ່ຽວກັບຊິລິກອນຄາໄບ (SiC)
ຊິລິກອນຄາໄບ (SiC)ເປັນວັດສະດຸປະສົມທີ່ປະກອບດ້ວຍຊິລິໂຄນ (Si) ແລະຄາບອນ (C). ມັນມີຄຸນສົມບັດທາງກາຍະພາບ ແລະ ເຄມີທີ່ດີເລີດຫຼາຍຢ່າງ, ເຮັດໃຫ້ມັນເໝາະສົມສຳລັບການນຳໃຊ້ທີ່ມີອຸນຫະພູມສູງ, ພະລັງງານສູງ ແລະ ຄວາມຖີ່ສູງ. SiC ເປັນເຄິ່ງຕົວນຳທີ່ມີແບນວິດກວ້າງ, ຊຶ່ງໝາຍຄວາມວ່າມັນສາມາດເຮັດວຽກໄດ້ຢ່າງມີປະສິດທິພາບພາຍໃຕ້ສະພາບທີ່ຮຸນແຮງ, ເຊັ່ນ: ແຮງດັນສູງ ແລະ ຄວາມຖີ່ສູງ.
ລັກສະນະຕົ້ນຕໍຂອງ SiC ປະກອບມີ:
1. ການນຳຄວາມຮ້ອນສູງ: SiC ມີຄວາມນຳຄວາມຮ້ອນ 120-170 W/m·K, ເຊິ່ງສູງກວ່າວັດສະດຸຊິລິໂຄນ (Si) ແບບດັ້ງເດີມຫຼາຍ. ສິ່ງນີ້ຊ່ວຍໃຫ້ SiC ສາມາດກະຈາຍຄວາມຮ້ອນໄດ້ຢ່າງມີປະສິດທິພາບ, ຮັກສາຄວາມໝັ້ນຄົງໃນການນຳໃຊ້ພະລັງງານສູງ.
2. ຄວາມຕ້ານທານອຸນຫະພູມສູງ: SiC ສາມາດທົນຕໍ່ອຸນຫະພູມສູງຫຼາຍ (ຫຼາຍກວ່າ 1000°C) ໂດຍບໍ່ສູນເສຍປະສິດທິພາບ, ເຮັດໃຫ້ມັນເໝາະສົມສຳລັບສະພາບແວດລ້ອມທີ່ມີອຸນຫະພູມສູງ.
3. ຄວາມໝັ້ນຄົງທາງເຄມີທີ່ດີເລີດ: SiC ທົນທານຕໍ່ປະຕິກິລິຍາເຄມີສ່ວນໃຫຍ່, ໃຫ້ການຕ້ານທານການກັດກ່ອນທີ່ເຂັ້ມແຂງ.
4. ຊ່ອງຫວ່າງແບນວິດກວ້າງ: ຊ່ອງຫວ່າງແບນວິດທີ່ກວ້າງຂອງ SiC ຊ່ວຍໃຫ້ມັນເຮັດວຽກໄດ້ຢ່າງມີປະສິດທິພາບພາຍໃຕ້ເງື່ອນໄຂແຮງດັນສູງ ແລະ ຄວາມຖີ່ສູງ, ເຮັດໃຫ້ມັນເໝາະສົມກັບເຕັກໂນໂລຢີທີ່ກ້າວໜ້າຫຼາກຫຼາຍ.
ຄຸນສົມບັດເຫຼົ່ານີ້ເຮັດໃຫ້ SiC ເປັນວັດສະດຸທີ່ມີຄວາມຫວັງສຳລັບການນຳໃຊ້ໃນການຜະລິດໄຟ LED, ໂດຍສະເພາະໃນຂະບວນການແກະສະຫຼັກ.
III. ຂໍ້ດີຂອງແຜ່ນຮອງຮັບຊິລິກອນຄາໄບດ໌ໃນການແກະສະຫຼັກໄຟ LED
1.ຄວາມຕ້ານທານອຸນຫະພູມສູງ
ໃນລະຫວ່າງຂະບວນການແກະສະຫຼັກ LED, ໂດຍສະເພາະໃນການແກະສະຫຼັກແບບແຫ້ງ, ແຜ່ນພາຫະນະຈະຖືກສຳຜັດກັບອຸນຫະພູມສູງເນື່ອງຈາກພະລັງງານຈາກພລາສມາ ຫຼື ເລເຊີ. ວັດສະດຸພື້ນເມືອງເຊັ່ນ: ຊິລິກອນ (Si) ຫຼື ຄວດສ໌ (SiO₂) ອາດຈະສູນເສຍຄວາມໝັ້ນຄົງຂອງໂຄງສ້າງ ຫຼື ການຂະຫຍາຍຕົວທາງຄວາມຮ້ອນ, ເຊິ່ງນຳໄປສູ່ຄວາມແມ່ນຍຳຫຼຸດລົງ. ຊິລິກອນຄາໄບ, ດ້ວຍຄວາມຕ້ານທານອຸນຫະພູມສູງທີ່ດີກວ່າ, ສາມາດຮັກສາຄວາມໝັ້ນຄົງໃນສະພາບແວດລ້ອມທີ່ມີອຸນຫະພູມສູງໂດຍບໍ່ມີການຜິດຮູບ ຫຼື ຄວາມເສຍຫາຍ, ຮັບປະກັນຄວາມຖືກຕ້ອງຂອງຂະບວນການແກະສະຫຼັກ.
2.ການຄຸ້ມຄອງຄວາມຮ້ອນທີ່ດີຂຶ້ນ
ການຄຸ້ມຄອງຄວາມຮ້ອນແມ່ນຄວາມກັງວົນຫຼັກໃນການຜະລິດ LED. ຊິບ LED ພະລັງງານສູງສ້າງຄວາມຮ້ອນຢ່າງຫຼວງຫຼາຍໃນລະຫວ່າງການປະຕິບັດງານ, ແລະຖ້າບໍ່ກະຈາຍໄປຢ່າງຖືກຕ້ອງ, ມັນສາມາດສົ່ງຜົນກະທົບທາງລົບຕໍ່ປະສິດທິພາບຂອງຊິບ. ຄວາມນຳຄວາມຮ້ອນສູງຂອງ SiC ນຳຄວາມຮ້ອນອອກຈາກຊິບ LED ຢ່າງມີປະສິດທິພາບ ແລະ ແຜ່ກະຈາຍໄປສູ່ສະພາບແວດລ້ອມອ້ອມຂ້າງ, ເຊິ່ງບໍ່ພຽງແຕ່ເພີ່ມປະສິດທິພາບຜົນກະທົບທາງຄວາມຮ້ອນໃນລະຫວ່າງຂະບວນການແກະສະຫຼັກເທົ່ານັ້ນ ແຕ່ຍັງປັບປຸງປະສິດທິພາບໂດຍລວມ ແລະ ອາຍຸການໃຊ້ງານຂອງ LED.
3.ຫຼຸດຜ່ອນການປົນເປື້ອນ ແລະ ປັບປຸງຄວາມແມ່ນຍໍາ
ໃນລະຫວ່າງຂະບວນການແກະສະຫຼັກ LED, ວັດສະດຸຂອງແຜ່ນຮອງຮັບຕ້ອງມີຄວາມໝັ້ນຄົງທາງເຄມີທີ່ດີເລີດເພື່ອຫຼີກເວັ້ນການປະຕິກິລິຍາກັບຂອງແຫຼວຫຼືອາຍແກັສທີ່ກັດກ່ອນ, ເຊິ່ງອາດຈະເຮັດໃຫ້ເກີດການປົນເປື້ອນຫຼືສົ່ງຜົນກະທົບຕໍ່ຄວາມແມ່ນຍໍາຂອງການແກະສະຫຼັກ. ຄວາມຕ້ານທານທີ່ເຂັ້ມແຂງຂອງ SiC ຕໍ່ສານເຄມີທີ່ກັດກ່ອນສ່ວນໃຫຍ່ຊ່ວຍໃຫ້ມັນຮັກສາຄວາມໝັ້ນຄົງໃນໄລຍະຍາວໃນສະພາບແວດລ້ອມທາງເຄມີທີ່ຮຸນແຮງ. ສິ່ງນີ້ຮັບປະກັນວ່າຂະບວນການແກະສະຫຼັກຍັງຄົງແມ່ນຍໍາແລະສອດຄ່ອງ, ໃນຂະນະທີ່ຫຼີກເວັ້ນປະຕິກິລິຍາທາງເຄມີທີ່ບໍ່ຕ້ອງການທີ່ອາດຈະສົ່ງຜົນກະທົບທາງລົບຕໍ່ປະສິດທິພາບຂອງ LED.
4.ການຫຼຸດຜ່ອນການກັດກ່ອນ
ວັດສະດຸແຜ່ນຮອງຮັບແບບດັ້ງເດີມອາດຈະມີປະຕິກິລິຍາກັບສານສະກັດ, ເຊິ່ງເຮັດໃຫ້ສິ່ງເສດເຫຼືອທີ່ຍາກທີ່ຈະກຳຈັດອອກ, ເຊິ່ງສາມາດເຮັດໃຫ້ຄຸນນະພາບຂອງການສະກັດຫຼຸດລົງ ແລະ ສົ່ງຜົນກະທົບທາງລົບຕໍ່ປະສິດທິພາບຂອງຊິບ LED. SiC, ເນື່ອງຈາກຄວາມບໍ່ໝັ້ນຄົງທາງເຄມີຂອງມັນ, ຫຼີກລ່ຽງການສ້າງສິ່ງເສດເຫຼືອດັ່ງກ່າວຢ່າງມີປະສິດທິພາບ, ເຊິ່ງນຳໄປສູ່ຜົນຜະລິດທີ່ສູງຂຶ້ນ ແລະ ຄວາມໜ້າເຊື່ອຖືທີ່ດີຂຶ້ນຂອງຜະລິດຕະພັນສຸດທ້າຍ.
5.ຄວາມທົນທານ ແລະ ຄວາມໝັ້ນຄົງສູງ
ຊິລິກອນຄາໄບບໍ່ພຽງແຕ່ມີຄຸນສົມບັດທາງກາຍະພາບທີ່ດີເລີດເທົ່ານັ້ນ ແຕ່ຍັງມີອາຍຸການໃຊ້ງານທີ່ຍາວນານອີກດ້ວຍ. ເມື່ອປຽບທຽບກັບວັດສະດຸອື່ນໆ, SiC ມີແນວໂນ້ມທີ່ຈະເກີດຄວາມອິດເມື່ອຍ, ການເກົ່າແກ່ ຫຼື ການເສື່ອມສະພາບໜ້ອຍລົງຕາມການເວລາ, ເຊິ່ງຊ່ວຍຫຼຸດຜ່ອນຄ່າໃຊ້ຈ່າຍໃນການບຳລຸງຮັກສາ ແລະ ຄວາມຖີ່ຂອງການທົດແທນ. ສິ່ງນີ້ເພີ່ມຄວາມໝັ້ນຄົງໂດຍລວມຂອງສາຍການຜະລິດ.
IV. ສິ່ງທ້າທາຍ ແລະ ວິທີແກ້ໄຂສຳລັບແຜ່ນຮອງຮັບ SiC ໃນການແກະສະຫຼັກ LED
ເຖິງແມ່ນວ່າ SiC ມີຂໍ້ດີຫຼາຍຢ່າງໃນການແກະສະຫຼັກ LED, ແຕ່ກໍມີສິ່ງທ້າທາຍບາງຢ່າງ. ຫນ້າທໍາອິດ, ການປຸງແຕ່ງ SiC ແມ່ນຂ້ອນຂ້າງຍາກເນື່ອງຈາກຄວາມແຂງແລະແຕກງ່າຍສູງ. ຕ້ອງມີການດູແລເປັນພິເສດໃນລະຫວ່າງການຕັດແລະຂັດເພື່ອຫຼີກເວັ້ນການເສຍຫາຍຂອງວັດສະດຸ. ອັນທີສອງ, ຄ່າໃຊ້ຈ່າຍຂອງແຜ່ນຮອງຮັບ SiC ແມ່ນສູງກວ່າເມື່ອທຽບກັບວັດສະດຸແບບດັ້ງເດີມ, ເຊິ່ງອາດຈະເພີ່ມຕົ້ນທຶນໂດຍລວມຂອງການຜະລິດ LED.
ເພື່ອແກ້ໄຂບັນຫາເຫຼົ່ານີ້, ນັກຄົ້ນຄວ້າ ແລະ ວິສະວະກອນກຳລັງເຮັດວຽກເພື່ອປັບປຸງຂະບວນການຜະລິດວັດສະດຸ SiC ແລະ ສຳຫຼວດເຕັກໂນໂລຊີການປຸງແຕ່ງໃໝ່ເພື່ອຫຼຸດຜ່ອນຕົ້ນທຶນການຜະລິດ ແລະ ເພີ່ມປະສິດທິພາບ. ຕົວຢ່າງ, ການເພີ່ມປະສິດທິພາບຂອງຂະບວນການເຕີບໂຕຂອງຜລຶກ ແລະ ການຮັບເອົາເຕັກນິກການຕັດທີ່ກ້າວໜ້າສາມາດຫຼຸດຜ່ອນຕົ້ນທຶນຂອງແຜ່ນຮອງຮັບ SiC ໄດ້ຢ່າງມີປະສິດທິພາບ. ນອກຈາກນັ້ນ, ເຕັກໂນໂລຊີການເຄືອບພື້ນຜິວທີ່ມີນະວັດຕະກໍາສາມາດເສີມຂະຫຍາຍຄວາມທົນທານ ແລະ ຄວາມຕ້ານທານການກັດກ່ອນຂອງ SiC, ເຊິ່ງປັບປຸງປະສິດທິພາບຂອງມັນໃນການແກະສະຫຼັກ LED.
ເວລາໂພສ: ຕຸລາ-22-2025