Nekufambira mberi kwetekinoroji, indasitiri ye optoelectronic, kunyanya tekinoroji ye LED (Light Emitting Diode), yave chikamu chakakosha chemwenje, kuratidzwa, uye masisitimu ekutaurirana munharaunda yemazuva ano. Maitiro ekugadzira ma LED anosanganisira matanho akati wandei akakosha, ayo etching inoita basa rakakosha mukuona kuti chip inoshanda zvakanaka uye ine mhando. Sezvo kudiwa kwekushanda kwakanyanya uye kugadziriswa kwakanaka kuri kuwedzera, kusarudzwa kwezvinhu zve etching kunokanganisa zvakanyanya maitiro ese. Mumamiriro ezvinhu aya, Silicon Carbide (SiC), sechishandiso chitsva chekutakura, yave kutariswa zvakanyanya nekushandiswa kwayo mu etching ye LED.
Chinyorwa chino chinotarisa pakushandiswa kwemaplate ekutakura eSilicon Carbide muMaitiro ekucheka LED, kuongorora zvakanakira, hunhu, uye kuti chinhu ichi chinovandudza sei maitiro ekugadzira LED.
I. Pfupiso yeMaitiro eKucheka kwe LED
Kucheka mukugadzirwa kwe LED kunoreva nzira inoshandiswa kugadzira ma microstructures akanaka pa semiconductor substrate, nokudaro zvichizadzisa hunhu hwe optical nemagetsi hunodiwa. Kunyatsojeka uye kunaka kwekucheka kunokanganisa zvakananga mashandiro ema LED chips, kusanganisira kupenya, kupisa kwemavara, uye kushanda zvakanaka kwesimba.
Kucheka kunogona kuiswa muzvikamu zviviri: kuoma nekucheka nekuisa zvinyoro nyoro. Kucheka nekuisa zvinyoro nyoro kunosanganisira kushandisa plasma kana lasers pakucheka uye kunowanzo shandiswa pakushandisa zvinhu zvakanyatsonaka uye zvine sarudzo yepamusoro. Kucheka nekuisa zvinyoro nyoro, kune rumwe rutivi, kunoshandisa mishonga yemakemikari kucheka zvinhu uye kunowanzo shandiswa pakurapa kukuru. Pasinei nerudzi rwekucheka, kusarudzwa kwechinhu chinotakura ndiro kunokanganisa zvakanyanya mhedzisiro yekucheka nerudzi rwechip.
II. Nhanganyaya yeSilicon Carbide (SiC)
Silicon Carbide (SiC)chinhu chakasanganiswa chakaumbwa nesilicon (Si) nekabhoni (C). Ine hunhu hwakawanda hwakanaka hwemuviri nemakemikari, zvichiita kuti ikodzere kushandiswa pakupisa kwakanyanya, simba guru, uye mashandisirwo emafrequency akawanda. SiC imhando yemagetsi ine gap yakakura, zvichireva kuti inogona kushanda zvinobudirira mumamiriro ezvinhu akaoma, akadai semagetsi akawanda uye mafrequency akawanda.
Hunhu hukuru hweSiC hunosanganisira:
1.Kufambisa Kwekupisa Kwakanyanya: SiC ine simba rekupisa re120-170 W/m·K, iro rakakwirira zvikuru kupfuura zvinhu zvechinyakare zvesilicon (Si). Izvi zvinobvumira SiC kubvisa kupisa zvinobudirira, ichichengetedza kugadzikana mumashandisirwo ane simba guru.
2.Kupisa Kukuru Kuramba: SiC inogona kutsungirira tembiricha yakakwira zvakanyanya (inopfuura 1000°C) isina kurasikirwa nekushanda kwayo, zvichiita kuti ive yakakodzera nzvimbo dzinopisa zvakanyanya.
3.Kugadzikana Kwemakemikari Kwakanaka Kwazvo: SiC inodzivirira makemikari akawanda, zvichiita kuti irambe yakasimba pakuora.
4. Chivharo chakafara: Kusashanda zvakanaka kweSiC kunoita kuti ikwanise kushanda zvakanaka mumamiriro ezvinhu ane voltage yakawanda uye mafrequency akawanda, zvichiita kuti ive yakakodzera matekinoroji akasiyana-siyana epamusoro.
Zvinhu izvi zvinoita kuti SiC ive chinhu chinobatsira pakugadzira ma LED, kunyanya mukugadzirwa kwemavara e LED.
III. Mabhenefiti eSilicon Carbide Carrier Plates mu LED Etching
1.Kuramba Kupisa Kwakanyanya
Munguva yekuchekwa kwe LED, kunyanya mukuchekwa kwakaoma, ndiro yekutakura inoonekwa pakupisa kwakanyanya nekuda kwesimba rinobva kuplasma kana lasers. Zvinhu zvechinyakare zvakaita sesilicon (Si) kana quartz (SiO₂) zvinogona kurasikirwa nekugadzikana kwechimiro kana kuwedzera kupisa, zvichikonzera kudzikira kwekunyatsorongeka. Silicon carbide, ine simba rayo rekudzivirira kupisa kwakanyanya, inogona kuchengetedza kugadzikana munzvimbo dzine tembiricha yepamusoro pasina kuchinja kana kukuvara, zvichiita kuti maitiro ekuchekwa anyatsorongeka.
2.Kugadziriswa kweKupisa Kwakavandudzwa
Kutarisira kupisa chinhu chikuru mukugadzirwa kwe LED. Machipisi e LED ane simba guru anogadzira kupisa kwakawanda panguva yekushanda, uye kana asina kunyungudutswa zvakanaka, anogona kukanganisa mashandiro e chip. Kupisa kwakanyanya kwe SiC kunodzora kupisa zvinobudirira kubva ku chip ye LED uye kunopararira kunzvimbo yakapoteredza, izvo hazvingogadzirisi chete mhedzisiro yekupisa panguva yekucheka asiwo zvinovandudza mashandiro ese uye hupenyu hwe LED.
3.Kuderedzwa Kwekusvibiswa uye Kunatsiridzwa Kwakanaka
Munguva yekuchekwa kwe LED, zvinhu zviri muplate yekutakura zvinofanirwa kunge zvakagadzikana zvakanyanya kuti zvisasanganiswe nezvinonhuhwirira kana magasi, izvo zvinogona kukonzera kusvibiswa kana kukanganisa kunyatsonaka kwekuchekwa. Kusasimba kwakasimba kweSiC kumakemikari mazhinji anokuvadza kunoita kuti ikwanise kuramba yakagadzikana kwenguva refu munzvimbo dzine makemikari akaoma. Izvi zvinoita kuti maitiro ekuchekwa arambe akarurama uye akafanana, ukuwo ichidzivirira maitiro asina kunaka emakemikari anogona kukanganisa mashandiro e LED.
4.Zvakasara Zvishoma zveEtching
Zvinhu zvechinyakare zvekutakura maplate zvinogona kusangana nezvinhu zvinocheka, zvichisiya zvasara zvakaoma kubvisa, izvo zvinogona kukanganisa kunaka kwekucheka uye kukanganisa mashandiro emachipisi e LED. SiC, nekuda kwekusashanda kwayo nemakemikoro, inodzivirira kugadzirwa kwezvasara zvakadaro, zvichikonzera goho rakawanda uye kuvimbika kwechigadzirwa chekupedzisira kuri nani.
5.Kugara kwenguva refu uye Kugadzikana Kwakanyanya
Silicon carbide haingoratidzi chete hunhu hwakanaka hwemuviri asiwo ine hupenyu hurefu hwekushanda. Kana ichienzaniswa nezvimwe zvinhu, SiC hainyanyi kuneta, kukwegura, kana kuora nekufamba kwenguva, zvichideredza mari yekugadzirisa uye kuwanda kwekuitsiva. Izvi zvinowedzera kugadzikana kwese kwemutsara wekugadzira.
IV. Matambudziko neMhinduro dzeSiC Carrier Plates mu LED Etching
Kunyangwe SiC ichipa mabhenefiti akawanda mukuchekwa kwe LED, pane zvimwe zvinonetsa. Chekutanga, kugadziriswa kweSiC kwakaoma nekuda kwekuoma kwayo uye kuputsika kwayo. Kungwarira kwakakosha kunofanirwa kutorwa panguva yekucheka nekupukuta kudzivirira kukuvara kwezvinhu. Chechipiri, mutengo wemapurati ekutakura eSiC wakakwira kana tichienzanisa nezvinhu zvechinyakare, izvo zvinogona kuwedzera mutengo wekugadzirwa kwe LED.
Kuti vagadzirise matambudziko aya, vaongorori nemainjiniya vari kushanda pakuvandudza maitiro ekugadzira zvinhu zveSiC uye kutsvaga matekinoroji matsva ekugadzirisa kuti vaderedze mari yekugadzira uye kuwedzera kushanda zvakanaka. Semuenzaniso, kugadzirisa maitiro ekukura kwekristaro uye kushandisa matekiniki ekucheka epamusoro kunogona kuderedza zvinobudirira mutengo wemaplate ekutakura eSiC. Pamusoro pezvo, matekiniki matsva ekuputira pamusoro anogona kuwedzera kugara kwenguva refu uye kuramba ngura kweSiC, zvichiwedzera kuvandudza mashandiro ayo mu LED etching.
Nguva yekutumira: Gumiguru-22-2025