Ka tsoelo-pele ea theknoloji, indasteri ea optoelectronic, haholo-holo theknoloji ea LED (Light Emitting Diode), e fetohile karolo ea bohlokoa ea mabone, ponts'o le litsamaiso tsa puisano tsa sechaba sa sejoale-joale. Ts'ebetso ea tlhahiso ea li-LED e kenyelletsa mehato e 'maloa ea bohlokoa, eo har'a eona ho hlaba ho bapalang karolo ea bohlokoa ho netefatseng ts'ebetso le boleng ba chip. Ha tlhoko ea ts'ebetso e phahameng le ts'ebetso e ntle e ntse e eketseha, khetho ea lisebelisoa tsa ho hlaba e ama ts'ebetso ka kakaretso haholo. Moelelong ona, Silicon Carbide (SiC), e le thepa e ncha ea ho jara, e fumane tlhokomelo e kholo bakeng sa ts'ebeliso ea eona ho hlabang ha LED.
Sengoloa sena se shebane le ts'ebeliso ea lipoleiti tsa ho jara Silicon Carbide hoMokhoa oa ho hlaba oa LED, ho sekaseka melemo ea tsona, litšobotsi, le kamoo thepa ena e ntlafatsang ts'ebetso ea tlhahiso ea LED.
I. Kakaretso ea Ts'ebetso ea ho Sebetsa ka LED
Ho tjhesa ka mokhoa o itseng tshebetsong ya tlhahiso ya LED ho bolela mokhoa o sebediswang ho theha dibopeho tse nyane tse ntle hodima substrate ya semiconductor, ka hona ho fihlella thepa e lakatsehang ya optical le ya motlakase. Ho nepahala le boleng ba tshebetso ya ho tjhesa ka ho toba di ama tshebetso ya di-chip tsa LED, ho kenyeletswa kganya, mocheso wa mmala le bokgoni ba matla.
Ho tjhesa ho ka arolwa ka ho tjhesa ho ommeng le ho tjhesa ka metsi. Ho tjhesa ho ommeng ho kenyeletsa tshebediso ya plasma kapa di-laser bakeng sa ho tjhesa mme hangata ho sebediswa bakeng sa ditshebediso tse nepahetseng haholo le tse kgethang haholo. Ho tjhesa ka metsi, ka lehlakoreng le leng, ho sebedisa ditharollo tsa dikhemikhale ho tjhesa thepa mme hangata ho sebediswa bakeng sa kalafo e kgolo. Ho sa tsotelehe mofuta wa ho tjhesa, kgetho ya thepa ya poleiti ya mojari e ama haholo diphetho tsa ho tjhesa le boleng ba ho qetela ba chip.
II. Selelekela ho Silicon Carbide (SiC)
Silicon Carbide (SiC)ke thepa e kopaneng e entsoeng ka silicon (Si) le carbon (C). E na le thepa e mengata e babatsehang ea 'mele le ea lik'hemik'hale, e leng se etsang hore e lokele lits'ebetso tsa mocheso o phahameng, matla a phahameng le maqhubu a phahameng. SiC ke semiconductor ea sekheo se seholo, ho bolelang hore e ka sebetsa ka katleho tlas'a maemo a thata, joalo ka motlakase o phahameng le maqhubu a phahameng.
Litšobotsi tse ka sehloohong tsa SiC li kenyelletsa:
1. Motlakase o Phahameng oa Thermal: SiC e na le phallo ea mocheso ea 120-170 W/m·K, e leng e phahameng haholo ho feta thepa ea silicon (Si) ea setso. Sena se lumella SiC ho qhala mocheso ka katleho, ho boloka botsitso lits'ebetsong tse nang le matla a mangata.
2.Khanyetso ea Mocheso o Phahameng: SiC e ka mamella mocheso o phahameng haholo (ho feta 1000°C) ntle le ho lahleheloa ke ts'ebetso, e leng se etsang hore e be e loketseng libaka tse nang le mocheso o phahameng.
3.Botsitso bo Botle ba Lik'hemik'hale: SiC e hanela boholo ba lik'hemik'hale, e fana ka khanyetso e matla ea mafome.
4. Lekhalo le Sephara la Bandgap: Lekhalo le leholo la SiC le e dumella ho sebetsa ka katleho tlasa maemo a motlakase o phahameng le maqhubu a phahameng, e leng se etsang hore e lokele mefuta e fapaneng ya mahlale a tswetseng pele.
Matlotlo ana a etsa hore SiC e be thepa e tšepisang bakeng sa tšebeliso tlhahisong ea LED, haholo-holo ts'ebetsong ea ho fata.
III. Melemo ea Lipoleiti tsa ho Jara Silicon Carbide ho Etching ea LED
1.Khanyetso ea Mocheso o Phahameng
Nakong ea ts'ebetso ea ho hlaba ha LED, haholo-holo ha ho hlaba ho omme, poleiti ea moamori e pepesehela mocheso o phahameng ka lebaka la matla a tsoang plasma kapa lasers. Lisebelisoa tsa setso tse kang silicon (Si) kapa quartz (SiO₂) li ka lahleheloa ke botsitso ba sebopeho kapa tsa atolosoa ke mocheso, e leng se lebisang ho fokotseng ho nepahala. Silicon carbide, ka khanyetso ea eona e phahameng ea mocheso o phahameng, e ka boloka botsitso libakeng tse nang le mocheso o phahameng ntle le ho fetoha kapa ho senyeha, ho netefatsa ho nepahala ha ts'ebetso ea ho hlaba.
2.Tsamaiso e Ntlafetseng ea Thermal
Taolo ea mocheso ke taba ea bohlokoa tlhahisong ea LED. Li-chip tsa LED tse matla haholo li hlahisa mocheso o moholo nakong ea ts'ebetso, 'me haeba li sa qhaloe hantle, li ka ama ts'ebetso ea chip hampe. Ho tsamaisa mocheso o phahameng oa SiC ho tsamaisa mocheso ka katleho ho tloha ho chip ea LED 'me ho o hasanya tikolohong e potolohileng, e seng feela e ntlafatsang litlamorao tsa mocheso nakong ea ts'ebetso ea ho hlaba empa hape e ntlafatsa ts'ebetso eohle le bolelele ba nako ea LED.
3.Phokotso ea Tšilafalo le Ntlafatso ea ho Sebetsa
Nakong ea ts'ebetso ea ho hlaba ha LED, thepa ea poleiti ea mojari e tlameha ho ba le botsitso bo botle ba lik'hemik'hale ho qoba liketso tse nang le maro a ho hlaba a senyang kapa likhase, tse ka bakang tšilafalo kapa tsa ama ho nepahala ha ho hlaba. Ho hanyetsa ka matla ha SiC lik'hemik'hale tse ngata tse senyang ho e nolofalletsa ho boloka botsitso ba nako e telele libakeng tse thata tsa lik'hemik'hale. Sena se tiisa hore ts'ebetso ea ho hlaba e lula e nepahetse ebile e tsitsitse, ha e ntse e qoba liketso tse sa batleheng tsa lik'hemik'hale tse ka amang ts'ebetso ea LED hampe.
4.Masalla a Fokolitsoeng a ho Etching
Lisebelisoa tsa setso tsa poleiti ea ho jara li ka 'na tsa arabela le lintho tse thibelang ho lahla, tsa siea masala a thata ho a tlosa, e leng se ka behang boleng ba ho lahla 'me sa ama hampe ts'ebetso ea li-chip tsa LED. SiC, ka lebaka la ho se sebetse hantle ha eona ka lik'hemik'hale, e qoba tlhahiso ea masala a joalo ka katleho, e leng se lebisang ho chai e phahameng le ho ntlafala ha ts'epo ea sehlahisoa sa ho qetela.
5.Ho Tšoarella le Ho Tsitsisa ho Hoholo
Silicon carbide ha e bontše feela thepa e ntle ea 'mele empa hape e na le bophelo bo bolelele ba tšebeletso. Ha e bapisoa le lisebelisoa tse ling, SiC ha e na monyetla oa ho khathala, ho tsofala, kapa ho senyeha ha nako e ntse e ea, e leng se fokotsang litšenyehelo tsa tlhokomelo le makhetlo a ho nkela sebaka. Sena se eketsa botsitso ka kakaretso ba mohala oa tlhahiso.
IV. Liphephetso le Litharollo bakeng sa Lipoleiti tsa SiC Carrier ho LED Etching
Leha SiC e fana ka melemo e mengata ho etching ea LED, ho na le liphephetso tse ling. Ea pele, ts'ebetso ea SiC e thata haholo ka lebaka la ho thatafala ha eona le ho robeha ha eona habonolo. Tlhokomelo e khethehileng e tlameha ho nkuoa nakong ea ho seha le ho polishing ho qoba tšenyo ea thepa. Ea bobeli, litšenyehelo tsa lipoleiti tsa SiC li phahame ha li bapisoa le thepa ea setso, e leng se ka eketsang litšenyehelo tsa kakaretso tsa tlhahiso ea LED.
Ho rarolla liphephetso tsena, bafuputsi le baenjiniere ba ntse ba sebetsa ho ntlafatseng mekhoa ea tlhahiso ea thepa ea SiC le ho hlahloba mahlale a macha a ts'ebetso ho fokotsa litšenyehelo tsa tlhahiso le ho ntlafatsa bokhoni. Mohlala, ho ntlafatsa ts'ebetso ea kholo ea kristale le ho amohela mekhoa e tsoetseng pele ea ho seha ho ka fokotsa litšenyehelo tsa lipoleiti tsa SiC tse tsamaisang. Ho feta moo, mahlale a macha a ho koahela holim'a metsi a ka ntlafatsa ho tšoarella le ho hanyetsa ho bola ha SiC, a ntlafatsa ts'ebetso ea eona ho etching ea LED.
Nako ea poso: Mphalane-22-2025