-
സിലിക്കൺ കാർബൈഡ് കോട്ടിംഗ്: SiC എപ്പിറ്റാക്സിയൽ വളർച്ചയ്ക്കുള്ള പ്രധാന കോർ മെറ്റീരിയലുകളിൽ ഒരു വഴിത്തിരിവ്.
ഒരു എപ്പിറ്റാക്സിയൽ പാളി എന്നത് ഒരു എപ്പിറ്റാക്സിയൽ പ്രക്രിയയിലൂടെ ഒരു വേഫർ സബ്സ്ട്രേറ്റിൽ വളർത്തുന്ന ഒരു പ്രത്യേക സിംഗിൾ-ക്രിസ്റ്റൽ നേർത്ത ഫിലിമാണ്; സബ്സ്ട്രേറ്റ് വേഫറിനെയും എപ്പിറ്റാക്സിയൽ ഫിലിമിനെയും ഒരുമിച്ച് എപ്പിറ്റാക്സിയൽ വേഫർ എന്ന് വിളിക്കുന്നു. ഇവയിൽ, ഒരു ചാലക സിലിക്കൺ കാർബൈഡിൽ ഒരു സിലിക്കൺ കാർബൈഡ് എപ്പിറ്റാക്സിയൽ പാളി വളർത്തുന്നു ...കൂടുതൽ വായിക്കുക -
ആധുനിക LPCVD ഫർണസ് പ്രോസസ്സിംഗിന് SiC കാന്റിലിവർ പാഡിൽ എന്തുകൊണ്ട് നിർണായകമാണ്
സെമികണ്ടക്ടർ നിർമ്മാണം ചെറിയ ഉപകരണ ജ്യാമിതികൾ, ഉയർന്ന വേഫർ ത്രൂപുട്ട്, വർദ്ധിച്ചുവരുന്ന കർശനമായ മലിനീകരണ നിയന്ത്രണ മാനദണ്ഡങ്ങൾ എന്നിവയിലേക്ക് വികസിക്കുമ്പോൾ, താപ സംസ്കരണ ഉപകരണങ്ങൾ അഭൂതപൂർവമായ എഞ്ചിനീയറിംഗ് വെല്ലുവിളികൾ നേരിടുന്നു. LPCVD, താപ ഓക്സിഡേഷൻ, ഡോപ്പന്റ് ഡിഫ്യൂഷൻ, ... തുടങ്ങിയ പ്രക്രിയകൾ.കൂടുതൽ വായിക്കുക -
ഒരു SiC ഡിഫ്യൂഷൻ ട്യൂബ് എന്താണ്? ഫംഗ്ഷനുകൾ, മെറ്റീരിയലുകൾ, സെമികണ്ടക്ടർ പ്രോസസ് ആപ്ലിക്കേഷനുകൾ
സെമികണ്ടക്ടർ നിർമ്മാണത്തിൽ, ഓക്സിഡേഷൻ, ഡിഫ്യൂഷൻ, അനീലിംഗ്, എൽപിസിവിഡി ഡിപ്പോസിഷൻ തുടങ്ങിയ വേഫർ നിർമ്മാണ ഘട്ടങ്ങൾക്ക് ഉയർന്ന താപനിലയിലുള്ള താപ സംസ്കരണം അത്യാവശ്യമാണ്. ഈ പ്രക്രിയകൾ സാധാരണയായി 800°C നും 1200°C നും ഇടയിൽ പ്രവർത്തിക്കുന്ന സെമികണ്ടക്ടർ ഫർണസ് സിസ്റ്റങ്ങൾക്കുള്ളിലാണ് നടത്തുന്നത്, അവിടെ ടെമ്പർ...കൂടുതൽ വായിക്കുക -
പോറസ് ഗ്രാഫൈറ്റ് എന്താണ്? ഗുണവിശേഷതകൾ, ആപ്ലിക്കേഷനുകൾ & സെമികണ്ടക്ടർ ഗുണങ്ങൾ
ആമുഖം: സെമികണ്ടക്ടർ നിർമ്മാണത്തിൽ പോറസ് ഗ്രാഫൈറ്റ് പ്രധാനമായിരിക്കുന്നത് എന്തുകൊണ്ട്? സെമികണ്ടക്ടർ നിർമ്മാണം നൂതന നോഡുകളിലേക്കും സംയുക്ത സെമികണ്ടക്ടറുകളിലേക്കും (SiC പോലുള്ളവ) നീങ്ങുമ്പോൾ, മെറ്റീരിയൽ ആവശ്യകതകൾ കൂടുതൽ കർശനമായിരിക്കുന്നു. ഉയർന്ന താപനില സ്ഥിരത, അൾട്രാ-ഹൈ പ്യൂരിറ്റി, കൃത്യമായ ഗ്യാസ് എഫ്...കൂടുതൽ വായിക്കുക -
സെമികണ്ടക്ടർ പ്രക്രിയകളിൽ ഗ്രാഫൈറ്റ് എങ്ങനെയെല്ലാം ഉപയോഗിക്കുന്നു?
അർദ്ധചാലക നിർമ്മാണം അങ്ങേയറ്റത്തെ കൃത്യതയുടെയും അങ്ങേയറ്റത്തെ പരിതസ്ഥിതികളുടെയും കവലയിലാണ് പ്രവർത്തിക്കുന്നത്. എപ്പിറ്റാക്സി, ക്രിസ്റ്റൽ വളർച്ച, ഉയർന്ന താപനിലയിലുള്ള അനീലിംഗ് തുടങ്ങിയ പ്രക്രിയകൾ പതിവായി 1000°C കവിയുന്നു, അവിടെ ചെറിയ താപ ഏറ്റക്കുറച്ചിലുകൾ പോലും ഫിലിം കട്ടിയിൽ അളക്കാവുന്ന വ്യതിയാനങ്ങളിലേക്ക് വിവർത്തനം ചെയ്യപ്പെടും...കൂടുതൽ വായിക്കുക -
ഇന്ധന സെല്ലുകളിൽ ഗ്രാഫൈറ്റ് ബൈപോളാർ പ്ലേറ്റുകൾ എങ്ങനെ പ്രവർത്തിക്കുന്നു?
I. വ്യവസായ കുതിച്ചുചാട്ടത്തിൽ ഗ്രാഫൈറ്റ് ബൈപോളാർ പ്ലേറ്റുകളുടെ കേന്ദ്ര പങ്ക് "ഇരട്ട കാർബൺ" ലക്ഷ്യങ്ങളുടെയും ഹൈഡ്രജൻ സമ്പദ്വ്യവസ്ഥയുടെ ദ്രുതഗതിയിലുള്ള വികസനത്തിന്റെയും പശ്ചാത്തലത്തിൽ, ഇന്ധന സെല്ലുകൾ (പ്രത്യേകിച്ച് PEM ഇന്ധന സെല്ലുകൾ) ഡെമോൺസ്ട്രേഷൻ ഘട്ടത്തിൽ നിന്ന് വലിയ തോതിലുള്ള പ്രയോഗത്തിലേക്ക് മാറുകയാണ്. യാത്രക്കാരിൽ നിന്ന്...കൂടുതൽ വായിക്കുക -
ഇന്ധന സെൽ സാങ്കേതികവിദ്യയിൽ ഗ്രാഫൈറ്റ് ഫെൽറ്റിന്റെ പ്രയോഗങ്ങൾ എന്തൊക്കെയാണ്?
നിരന്തരം വികസിച്ചുകൊണ്ടിരിക്കുന്ന ഇലക്ട്രോകെമിക്കൽ എനർജി സിസ്റ്റങ്ങളിൽ, ഗ്രാഫൈറ്റ് ഫെൽറ്റ് ഒരു വൈവിധ്യമാർന്ന കാർബൺ അധിഷ്ഠിത വസ്തുവായി വേറിട്ടുനിൽക്കുന്നു, അതുല്യമായ ഘടനാപരവും വൈദ്യുതപരവും രാസപരവുമായ ഗുണങ്ങളുണ്ട്. എല്ലാ ഇന്ധന സെൽ ആർക്കിടെക്ചറുകളും സാർവത്രികമായി ഗ്രാഫൈറ്റ് ഫെൽറ്റ് ഉപയോഗിക്കുന്നില്ലെങ്കിലും, അതിന്റെ പങ്ക് - പ്രത്യേകിച്ച് നൂതന ഇന്ധന സെല്ലിൽ ...കൂടുതൽ വായിക്കുക -
സെമികണ്ടക്ടർ ഗ്രാഫൈറ്റ് ഫിക്ചറുകൾ: സെമികണ്ടക്ടർ നിർമ്മാണത്തിലെ നിർണായക പ്രക്രിയ ഘടകങ്ങൾ
സെമികണ്ടക്ടർ നിർമ്മാണ പ്രക്രിയയിൽ, പല പ്രധാന വസ്തുക്കളും ഘടകങ്ങളും പ്രക്രിയയുടെ സ്ഥിരതയും ഉൽപ്പന്ന വിളവും നിർണ്ണയിക്കുന്നു. വേഫറുകളോ ടാർഗെറ്റുകളോ പോലെ അർദ്ധചാലക ഗ്രാഫൈറ്റ് ഫിക്ചറുകൾക്ക് അത്ര ശ്രദ്ധ ലഭിക്കുന്നില്ലെങ്കിലും, ഉയർന്ന താപനില പ്രോസസ്സിംഗ്, എപ്പിറ്റാക്സിയ എന്നിവയിൽ അവ സ്ഥിരമായി ഒരു പ്രധാന പങ്ക് വഹിക്കുന്നു...കൂടുതൽ വായിക്കുക -
ഉയർന്ന കൃത്യതയുള്ള സെമികണ്ടക്ടർ എച്ചിംഗിന് എച്ചിംഗിനുള്ള സിവിഡി കോട്ടിംഗ് ഫോക്കസ് റിംഗ് എന്തുകൊണ്ട് നിർണായകമാണ്?
പ്ലാസ്മ അതിരുകൾ സ്ഥിരപ്പെടുത്തുന്നതിലൂടെയും വേഫറിലുടനീളം ഏകീകൃത അയോൺ വിതരണം ഉറപ്പാക്കുന്നതിലൂടെയും ആധുനിക സെമികണ്ടക്ടർ എച്ചിംഗിൽ സിവിഡി കോട്ടിംഗ് ഫോക്കസ് റിംഗുകൾ നിർണായക പങ്ക് വഹിക്കുന്നു. എച്ച് യൂണിഫോമിറ്റി, സിഡി നിയന്ത്രണം, മലിനീകരണം എന്നിവയിൽ അവയുടെ സ്വാധീനം എടുത്തുകാണിച്ചുകൊണ്ട്, അഡ്വാൻസ്ഡ് നോഡുകൾക്ക് അവ എന്തുകൊണ്ട് അത്യാവശ്യമാണെന്ന് ഈ ലേഖനം വിശദീകരിക്കുന്നു...കൂടുതൽ വായിക്കുക
- English
- French
- German
- Portuguese
- Spanish
- Russian
- Japanese
- Korean
- Arabic
- Irish
- Greek
- Turkish
- Italian
- Danish
- Romanian
- Indonesian
- Czech
- Afrikaans
- Swedish
- Polish
- Basque
- Catalan
- Esperanto
- Hindi
- Lao
- Albanian
- Amharic
- Armenian
- Azerbaijani
- Belarusian
- Bengali
- Bosnian
- Bulgarian
- Cebuano
- Chichewa
- Corsican
- Croatian
- Dutch
- Estonian
- Filipino
- Finnish
- Frisian
- Galician
- Georgian
- Gujarati
- Haitian
- Hausa
- Hawaiian
- Hebrew
- Hmong
- Hungarian
- Icelandic
- Igbo
- Javanese
- Kannada
- Kazakh
- Khmer
- Kurdish
- Kyrgyz
- Latin
- Latvian
- Lithuanian
- Luxembou..
- Macedonian
- Malagasy
- Malay
- Malayalam
- Maltese
- Maori
- Marathi
- Mongolian
- Burmese
- Nepali
- Norwegian
- Pashto
- Persian
- Punjabi
- Serbian
- Sesotho
- Sinhala
- Slovak
- Slovenian
- Somali
- Samoan
- Scots Gaelic
- Shona
- Sindhi
- Sundanese
- Swahili
- Tajik
- Tamil
- Telugu
- Thai
- Ukrainian
- Urdu
- Uzbek
- Vietnamese
- Welsh
- Xhosa
- Yiddish
- Yoruba
- Zulu
- Kinyarwanda
- Tatar
- Oriya
- Turkmen
- Uyghur