-
சிலிக்கான் கார்பைடு பூச்சு: SiC எபிடெக்சியல் வளர்ச்சிக்கான முக்கிய உள்ளகப் பொருட்களில் ஒரு திருப்புமுனை
எபிடெக்சியல் அடுக்கு என்பது ஒரு வேஃபர் அடி மூலக்கூறின் மீது எபிடெக்சியல் செயல்முறை மூலம் வளர்க்கப்படும் ஒரு குறிப்பிட்ட ஒற்றைப் படிக மென்படலம் ஆகும்; அடி மூலக்கூறு வேஃபரும் எபிடெக்சியல் படலமும் கூட்டாக எபிடெக்சியல் வேஃபர் என்று குறிப்பிடப்படுகின்றன. இவற்றுள், கடத்தும் சிலிக்கான் கார்பைடின் மீது ஒரு சிலிக்கான் கார்பைடு எபிடெக்சியல் அடுக்கை வளர்ப்பது...மேலும் படிக்கவும் -
நவீன LPCVD உலை செயலாக்கத்திற்கு SiC கான்டிலீவர் பேடில் ஏன் இன்றியமையாதது?
குறைக்கடத்தி உற்பத்தித் துறையானது சிறிய சாதன வடிவங்கள், அதிக வேஃபர் உற்பத்தித் திறன் மற்றும் மேலும் கடுமையான மாசுக்கட்டுப்பாட்டுத் தரநிலைகளை நோக்கிப் பரிணமித்து வருவதால், வெப்பச் செயலாக்க உபகரணங்கள் முன்னெப்போதும் இல்லாத பொறியியல் சவால்களை எதிர்கொள்கின்றன. LPCVD, வெப்ப ஆக்சிஜனேற்றம், டோபன்ட் பரவல் போன்ற செயல்முறைகள்...மேலும் படிக்கவும் -
SiC பரவல் குழாய் என்றால் என்ன? செயல்பாடுகள், பொருட்கள் மற்றும் குறைக்கடத்தி செயல்முறைப் பயன்பாடுகள்
குறைக்கடத்தி உற்பத்தியில், ஆக்சிஜனேற்றம், பரவல், பதப்படுத்துதல் மற்றும் LPCVD படிவு போன்ற வேஃபர் உருவாக்கப் படிநிலைகளுக்கு உயர்-வெப்பநிலை வெப்பச் செயலாக்கம் இன்றியமையாதது. இந்தச் செயல்முறைகள் பொதுவாக 800°C முதல் 1200°C வரை இயங்கும் குறைக்கடத்தி உலை அமைப்புகளுக்குள் செய்யப்படுகின்றன, அங்கு வெப்பநிலை...மேலும் படிக்கவும் -
நுண்துளை கிராஃபைட் என்றால் என்ன? பண்புகள், பயன்பாடுகள் மற்றும் குறைக்கடத்தி நன்மைகள்
அறிமுகம்: குறைக்கடத்தி உற்பத்தியில் நுண்துளை கிராஃபைட் ஏன் முக்கியத்துவம் பெறுகிறது? குறைக்கடத்தி உற்பத்தி மேம்பட்ட கணுக்கள் மற்றும் கூட்டு குறைக்கடத்திகளை (SiC போன்றவை) நோக்கி நகர்வதால், மூலப்பொருட்களுக்கான தேவைகள் மேலும் மேலும் கடுமையாகி வருகின்றன. உயர்-வெப்பநிலை நிலைத்தன்மை, மிக உயர்ந்த தூய்மை, மற்றும் துல்லியமான வாயு உருவாக்கம்...மேலும் படிக்கவும் -
குறைக்கடத்தி செயல்முறைகளில் கிராஃபைட் ஃபெல்ட்டின் பயன்பாடுகள் யாவை?
குறைக்கடத்தி உற்பத்தி என்பது அதி துல்லியமான செயல்பாடு மற்றும் கடுமையான சூழல்கள் ஆகிய இரண்டின் சங்கமத்தில் இயங்குகிறது. எபிடாக்ஸி, படிக வளர்ச்சி மற்றும் உயர்-வெப்பநிலை பதப்படுத்துதல் போன்ற செயல்முறைகள் வழக்கமாக 1000°C-ஐத் தாண்டுகின்றன; இங்கு மிகச்சிறிய வெப்ப ஏற்ற இறக்கங்கள் கூட படலத்தின் தடிமனில் அளவிடக்கூடிய மாறுபாடுகளை ஏற்படுத்தக்கூடும்...மேலும் படிக்கவும் -
எரிபொருள் கலங்களில் கிராஃபைட் இருமுனைத் தகடுகள் எவ்வாறு செயல்படுகின்றன?
I. தொழில்துறை வளர்ச்சியில் கிராஃபைட் இருமுனைத் தகடுகளின் மையப் பங்கு: “இரட்டை கார்பன்” இலக்குகள் மற்றும் ஹைட்ரஜன் பொருளாதாரத்தின் விரைவான வளர்ச்சி ஆகியவற்றின் பின்னணியில், எரிபொருள் மின்கலங்கள் (குறிப்பாக PEM எரிபொருள் மின்கலங்கள்) செயல்விளக்கக் கட்டத்திலிருந்து பெரிய அளவிலான பயன்பாட்டிற்கு மாறி வருகின்றன. பயணிகள் பயன்பாட்டிலிருந்து...மேலும் படிக்கவும் -
எரிபொருள் மின்கலத் தொழில்நுட்பத்தில் கிராஃபைட் ஃபெல்ட்டின் பயன்பாடுகள் யாவை?
தொடர்ந்து வளர்ந்து வரும் மின்வேதியியல் ஆற்றல் அமைப்புகளில், கிராஃபைட் ஃபெல்ட் ஒரு பல்துறை கார்பன் அடிப்படையிலான பொருளாகத் தனித்து நிற்கிறது, இது தனித்துவமான கட்டமைப்பு, மின்சார மற்றும் வேதியியல் பண்புகளைக் கொண்டுள்ளது. அனைத்து எரிபொருள் மின்கலக் கட்டமைப்புகளும் கிராஃபைட் ஃபெல்ட்டைப் பரவலாகப் பயன்படுத்தாவிட்டாலும், அதன் பங்கு—குறிப்பாக மேம்பட்ட எரிபொருள் மின்கலங்களில்...மேலும் படிக்கவும் -
குறைக்கடத்தி கிராஃபைட் பொருத்திகள்: குறைக்கடத்தி உற்பத்தியில் முக்கிய செயல்முறைக் கூறுகள்
குறைக்கடத்தி உற்பத்திச் செயல்முறையில், பல முக்கிய மூலப்பொருட்களும் கூறுகளும் செயல்முறையின் நிலைத்தன்மையையும் உற்பத்தி விளைச்சலையும் தீர்மானிக்கின்றன. குறைக்கடத்தி கிராஃபைட் ஃபிக்ஸ்ச்சர்கள், வேஃபர்கள் அல்லது டார்கெட்டுகளைப் போல அதிக கவனம் பெறாவிட்டாலும், அவை உயர்-வெப்பநிலை செயலாக்கம், எபிடாக்ஸியா போன்றவற்றில் தொடர்ந்து ஒரு முக்கியப் பங்கை வகிக்கின்றன.மேலும் படிக்கவும் -
உயர்-துல்லியமான குறைக்கடத்தி பொறித்தலுக்கு, CVD பூச்சு குவிய வளையம் ஏன் இன்றியமையாததாகிறது?
நவீன குறைக்கடத்தி பொறித்தலில், பிளாஸ்மா எல்லைகளை நிலைப்படுத்துவதன் மூலமும், வேஃபர் முழுவதும் சீரான அயனிப் பரவலை உறுதி செய்வதன் மூலமும் CVD பூச்சு குவிய வளையங்கள் ஒரு முக்கியப் பங்காற்றுகின்றன. மேம்பட்ட கணுக்களுக்கு அவை ஏன் அவசியமானவை என்பதை இந்தக் கட்டுரை விளக்குகிறது; பொறித்தல் சீர்மை, CD கட்டுப்பாடு, மாசுபடுதல் போன்றவற்றில் அவற்றின் தாக்கத்தை இது எடுத்துக்காட்டுகிறது.மேலும் படிக்கவும்