Өндөр цэвэршилттэй графит сусцепторуудын цогц гарын авлага

Орчин үеийн хагас дамжуулагч төхөөрөмж үйлдвэрлэх болон гуравдагч үеийн нийлмэл хагас дамжуулагч үйлдвэрлэлд (жишээлбэл, Цахиурын карбид [SiC] болон Галлийн нитрид [GaN]) салбарын хэлэлцүүлэг нь ихэвчлэн хэт дэвшилтэт EUV литографийн машин, плазмын сийлбэр эсвэл урьдал хийн цэвэр байдлын талаар төвлөрдөг. Гэсэн хэдий ч урвалын камерын хэт цэвэр, өндөр зэврэлттэй, өндөр температуртай орчинд чухал нэрд гараагүй баатар болох Графитын суспенз оршино.

1. Графит мэдрэгч гэж юу вэ?

A Графит суспензнь өндөр цэвэршилттэй изо-хэвэнд оруулсан эсвэл шахмал бал чулуугаар хийсэн нарийвчлалтай инженерчлэлийн функциональ тээвэрлэгч бүрэлдэхүүн хэсэг бөгөөд ихэвчлэн диск хэлбэртэй, халаастай эсвэл захиалгаар хийгдсэн байдаг.тодорхой урвалын камеруудад тохируулан гурван хэмжээст геометрүүд.

Химийн уурын хуримтлал (CVD), Металл-Органик химийн уурын хуримтлал (MOCVD), Хурдан дулааны боловсруулалт (RTP) реактор зэрэг тоног төхөөрөмжид зөөгч платформын үндсэн үүрэг нь хагас дамжуулагч вафлиг анхдагч дулаан солилцуур болгон ашиглаж байхдаа найдвартай барих явдал юм. Графит сусцепторын индукцийн халаалтын механизмыг ашиглан уг бүрэлдэхүүн хэсэг нь радио давтамж (RF) эсвэл богино долгионы цахилгаан соронзон энергийг хурдан шингээж, жигд дулааны энерги болгон хувиргаж, вафлийн гадаргуу дээр миллисекундын түвшний нарийвчлалтай дулааны хяналтыг хөнгөвчилдөг.

2. Материалын найрлага ба бичил бүтэц: Яагаад изостатик бал чулуу + CVD SiC бүрхүүл хэрэгтэй вэ?

Бүрээгүй түүхий бал чулуу нь түрэмгий химийн агаар мандал болон хагас дамжуулагч үйлдвэрлэлийн хатуу цэвэр байдлын шаардлагыг тэсвэрлэж чадахгүй. Орчин үеийн өндөр хүчин чадалтай бал чулуун угсралтын төхөөрөмж нь тусгай давхар давхаргат нийлмэл системийг ашигладаг:

(1) Өндөр цэвэршилттэй изостатик бал чулуун суурь

Гол суурь нь изостатик шахалттай бал чулуу ашиглан үйлдвэрлэгддэг. Бал чулууны бичил талст тэгшлэлтийг оновчтой болгосноор изотроп физик шинж чанар, бага сүвэрхэг чанар, өндөр механик гулзайлтын бат бэхийг бий болгож, нарийн төвөгтэй вафлийн халаасны геометрийг бичил боловсруулалтад тохиромжтой суурийг бүрдүүлдэг.

(2) CVD цахиурын карбид (SiC) хамгаалалтын бүрхүүл

Химийн уурын тунадасыг ашиглан бал чулуун суурь дээр өндөр нягтралтай поликристалл B-SiC давхаргыг (ихэвчлэн 10-100 мкм зузаантай, 99.999% цэвэршилттэй) ургуулдаг. Энэхүү бүрхүүл нь бал чулуун гадаргуугийн бичил нүхийг бүрэн битүүмжилж, тоосонцор алдагдахаас сэргийлж, HCI, NH, болон фторжуулсан нэгдлүүд зэрэг идэмхий сийлбэрийн хийнээс нэвчих чадваргүй хаалт үүсгэдэг.

3. Гол физик шинж чанар ба материалын үзүүлэлтүүд

Лабораторийн нарийн шинжилгээ болон баталгаажсан салбарын жишиг үзүүлэлтүүдэд үндэслэн өндөр цэвэршилттэй бүрсэн графит суспензүүд нь дараах чухал физик үзүүлэлтүүдийг харуулдаг.

Инженерийн гол давуу талууд:

1. Дулааны цохилтын дээд зэргийн эсэргүүцэл: Хагарал, гуужилтгүйгээр тасралтгүй хурдан халаах, хөргөх циклийг (1500°C-аас дээш) тэсвэрлэх чадвартай.

2. Химийн идэвхгүй байдал: H2, NH3, силан хий болон хүчтэй химийн цэвэрлэгээний бодисуудаас бүрэн хамгаалагдсан.

3. Дулааны тэлэлтийн коэффициент (ДТК)-ийн тохируулгаVET Energy компанийн өмчийн SiC тунадасжуулах процесс нь SiC бүрхүүлийн дулааны тэлэлтийн зан төлөвийг бал чулуун цөмтэй уялдуулж, хэт өндөр температурт бүрхүүл хагарахаас сэргийлдэг.

4. Хагас дамжуулагч боловсруулалтын үүрэг ба хэрэглээ

Өндөр найдвартай графит суспензүүд нь хагас дамжуулагч үйлдвэрлэлийн хэд хэдэн чухал үе шатанд үндсэн бүрэлдэхүүн хэсгүүд болж үйлчилдэг:

(1) ЗСӨ болон MOCVD-ийн эпитаксиал өсөлт (Epi)

GaN LED үйлдвэрлэл, SiC цахилгаан төхөөрөмжийн эпитакси, цахиурын ваферын эпи-ургалт, хальсны зузаан болон хольцын жигд байдал нь дулааны талбайн нэгэн төрлийн байдлаас ихээхэн хамаардаг. Графит суспензүүд нь эргэлтийн үед дулааныг дан эсвэл олон ваферын тохиргоонд жигд хуваарилж, дулааны стрессээс үүдэлтэй ваферын нугалах эсвэл гулсах шугамыг дарангуйлдаг.

(2) Дан талст өсөлт (PVT арга)

Цахиурын карбид (SiC) болон индранил талстын физик уурын тээвэрлэлт (PVT)-ээр ургах явцад сусцептор нь дулааны бүсийн градиентийг тодорхойлж, дан талст ембүү үүсэхийг шууд удирдаж, дислокацийн нягтралыг бууруулдаг.

(3) Хурдан дулааны боловсруулалт (RTP) ба шарах

Графит сусцепторын индукцийн халаалтыг үр ашигтайгаар ашигласнаар уг платформ нь суулгацын дараах торны ариутгал болон уулзвар үүсгэхэд шаардлагатай хэт хурдан дулааны хариу урвалын хугацааг бий болгодог.

5. Яагаад VET Energy-г сонгох ёстой вэ?

Нийлүүлэлтийн сүлжээний уян хатан чанар, туйлын цэвэр байдал, үйлчилгээний хугацааг уртасгах зэрэг хатуу шаардлага тавигдсан тул,Мэргэжлийн сургалтын эрчим хүчдэлхийн хэмжээний инженерийн найдвартай түнш гэдгээрээ ялгардаг:

1. Нарийвчлалтай бичил боловсруулалтОлон тэнхлэгтэй CNC боловсруулах төвүүд нь нарийн төвөгтэй вафер халаас, бичил ховил, микрометрийн түвшин хүртэлх хүлцэл бүхий захиалгат аэродинамик хийн сувгуудыг бий болгодог.

2. Дэвшилтэт нягт CVD SiC тунадасжуулалтМанай өмчийн CVD процесс нь дулааны мөчлөгийн ашиглалтын хугацааг 30%-иас дээш уртасгадаг өндөр нягтралтай, толин тусгал шиг өнгөлөх боломжтой SiC бүрхүүлийг бий болгодог.

3. Хэт цэвэр боловсруулалтын орчинБүрэн цэвэршүүлэлт болон цэвэр өрөөнд ашиглах нь нийт үнсний агууламжийг 5 ppm-ээс доош байлгах баталгааг өгч, хатуу OEM хагас дамжуулагчийг хангана.Фаб стандартууд.

4. Өмчлөлийн оновчтой зардал (CoO)VET Energy нь өрсөлдөхүйц үнийн-үйл ажиллагааны харьцааны зэрэгцээ хүргэлтийн хугацааг хурдасгаж, чип үйлдвэрлэгчдэд хэрэглээний зардлыг бууруулахад тусалдаг.