Хагас дамжуулагч үйлдвэрлэлийн бал чулуун материалын шаардлага маш өндөр бөгөөд бал чулуун материалын нарийн ширхэгийн хэмжээ нь өндөр нарийвчлалтай, өндөр температурт тэсвэртэй, өндөр бат бэх, бага алдагдалтай гэх мэт давуу талуудтай, тухайлбал: хайлуулсан бал чулуун бүтээгдэхүүнийг хэвэнд оруулах зэрэг давуу талуудтай.Хагас дамжуулагчийн үйлдвэрлэлд ашигладаг бал чулуун тоног төхөөрөмж (халаагуур болон тэдгээрийн шатаасан хэвийг оруулаад) нь давтан халаах, хөргөх процессыг тэсвэрлэх шаардлагатай тул бал чулуун тоног төхөөрөмжийн ашиглалтын хугацааг уртасгахын тулд ашигласан бал чулуун материал нь тогтвортой гүйцэтгэлтэй, халуунд тэсвэртэй байх шаардлагатай байдаг.
01 Хагас дамжуулагч талст ургуулахад зориулсан графит хэрэгслүүд
Хагас дамжуулагч талстыг ургуулахад ашигладаг бүх процессууд нь өндөр температур болон зэврэлттэй орчинд ажилладаг. Талст ургуулах зуухны халуун бүс нь ихэвчлэн халаагч, тигель, тусгаарлагч цилиндр, чиглүүлэгч цилиндр, электрод, тигель баригч, электродын эрэг гэх мэт халуунд тэсвэртэй, зэврэлтэнд тэсвэртэй өндөр цэвэршилттэй бал чулуун эд ангиудаар тоноглогдсон байдаг.
Бид болор үйлдвэрлэлийн төхөөрөмжийн бүх бал чулуун эд ангиудыг дангаар нь эсвэл багцаар нийлүүлэх, эсвэл хэрэглэгчийн шаардлагын дагуу янз бүрийн хэмжээтэй захиалгаар хийсэн бал чулуун эд ангиудыг үйлдвэрлэх боломжтой. Бүтээгдэхүүний хэмжээг газар дээр нь хэмжиж болох бөгөөд бэлэн бүтээгдэхүүний үнсний агууламж бага байж болно.5ppm-ээс их.
02 Хагас дамжуулагч эпитаксид зориулсан графит хэрэгслүүд
Эпитаксиал процесс гэдэг нь дан талст суурь дээр суурьтай ижил торны зохион байгуулалттай дан талст материалын давхаргын ургалтыг хэлнэ. Эпитаксиал процесст вафлийг бал чулуун дискэн дээр ачаалдаг. Бал чулуун дискний гүйцэтгэл болон чанар нь вафлийн эпитаксиал давхаргын чанарт чухал үүрэг гүйцэтгэдэг. Эпитаксиал үйлдвэрлэлийн салбарт хэт өндөр цэвэршилттэй бал чулуу болон SIC бүрхүүлтэй өндөр цэвэршилттэй бал чулуун суурь их хэмжээгээр шаардлагатай байдаг.
Манай компанийн хагас дамжуулагч эпитаксид зориулсан бал чулуун суурь нь өргөн хүрээний хэрэглээтэй, салбарт түгээмэл хэрэглэгддэг ихэнх тоног төхөөрөмжтэй нийцэх чадвартай, өндөр цэвэршилттэй, жигд бүрхүүлтэй, маш сайн ашиглалтын хугацаатай, химийн өндөр эсэргүүцэлтэй, дулааны тогтвортой байдалтай.
03 Ионы суулгацын графит хэрэгслүүд
Ионы суулгац гэдэг нь бор, фосфор, хүнцлийн плазмын цацрагийг тодорхой энерги хүртэл хурдасгаж, дараа нь вафлийн материалын гадаргуугийн давхаргад шахаж гадаргуугийн давхаргын материалын шинж чанарыг өөрчлөх үйл явцыг хэлнэ. Ионы суулгацын төхөөрөмжийн бүрэлдэхүүн хэсгүүд нь маш сайн дулаан тэсвэрлэлттэй, дулаан дамжуулалттай, ионы цацрагаас үүдэлтэй зэврэлт багатай, бага хольцын агууламжтай өндөр цэвэршилттэй материалаар хийгдсэн байх ёстой. Өндөр цэвэршилттэй бал чулуу нь хэрэглээний шаардлагыг хангасан бөгөөд ионы суулгацын төхөөрөмжийн нислэгийн хоолой, янз бүрийн завсар, электрод, электродын бүрхүүл, суваг, цацрагийн төгсгөл гэх мэтэд ашиглаж болно.
Бид төрөл бүрийн ион суулгацын машинуудад зориулсан бал чулуун хамгаалалтын бүрхүүлээр хангахаас гадна янз бүрийн үзүүлэлт бүхий өндөр цэвэршилттэй бал чулуун электрод болон ионы эх үүсвэрийг нийлүүлж чадна. Холбогдох загварууд: Eaton, Azcelis, Quatum, Varian, Nissin, AMAT, LAM болон бусад тоног төхөөрөмж. Үүнээс гадна бид тохирох керамик, вольфрам, молибден, хөнгөн цагаан бүтээгдэхүүн болон бүрсэн эд ангиудыг нийлүүлж чадна.
04 Графит тусгаарлагч материал болон бусад
Хагас дамжуулагч үйлдвэрлэлийн тоног төхөөрөмжид ашигладаг дулаан тусгаарлагч материалд бал чулуу хатуу эсгий, зөөлөн эсгий, бал чулуу тугалган цаас, бал чулуу цаас, бал чулуу олс орно.
Манай бүх түүхий эд нь импортын бал чулуу бөгөөд хэрэглэгчийн шаардлагын дагуу тодорхой хэмжээгээр зүсэх эсвэл бүхэлд нь борлуулах боломжтой.
Нүүрстөрөгчийн тавиурыг нарны монокристалл цахиур болон поликристалл цахиурын эс үйлдвэрлэх процесст хальсан бүрхүүлийн тээвэрлэгч болгон ашигладаг. Ажлын зарчим нь: цахиурын чипийг CFC тавиур руу хийж, хальсан бүрхүүлийг боловсруулахын тулд зуухны хоолой руу илгээнэ.
