-
Орчин үеийн LPCVD зуухны боловсруулалтад SiC Cantilever сэлүүр яагаад чухал вэ?
Хагас дамжуулагч үйлдвэрлэл нь төхөөрөмжийн геометрийн хэмжээ бага, вафлийн өндөр нэвтрүүлэх чадвар өндөр, бохирдлын хяналтын стандартыг улам чангатгах чиглэлд хөгжихийн хэрээр дулааны боловсруулалтын тоног төхөөрөмж урьд өмнө байгаагүй инженерийн сорилтуудтай тулгарч байна. LPCVD, дулааны исэлдэлт, хольцын тархалт гэх мэт процессууд...Дэлгэрэнгүй унших -
SiC диффузийн хоолой гэж юу вэ? Функц, материал, хагас дамжуулагчийн процессын хэрэглээ
Хагас дамжуулагч үйлдвэрлэлд өндөр температурт дулааны боловсруулалт нь исэлдэлт, диффузи, шарах, LPCVD тунадасжуулах зэрэг вафли үйлдвэрлэх үе шатуудад зайлшгүй шаардлагатай. Эдгээр процессуудыг ихэвчлэн 800°C-1200°C хооронд ажилладаг хагас дамжуулагч зуухны системд гүйцэтгэдэг бөгөөд температур ...Дэлгэрэнгүй унших -
Сүвэрхэг графит гэж юу вэ? Шинж чанар, хэрэглээ ба хагас дамжуулагчийн давуу талууд
Оршил: Хагас дамжуулагч үйлдвэрлэлд сүвэрхэг бал чулуу яагаад чухал вэ? Хагас дамжуулагч үйлдвэрлэл дэвшилтэт зангилаа болон нийлмэл хагас дамжуулагч (SiC гэх мэт) руу шилжих тусам материалын шаардлага улам бүр чангарч байна. Өндөр температурын тогтвортой байдал, хэт өндөр цэвэршилт, нарийн хий...Дэлгэрэнгүй унших -
Графит эсгий нь хагас дамжуулагчийн процесст ямар хэрэглээтэй вэ?
Хагас дамжуулагч үйлдвэрлэл нь хэт нарийвчлал болон хэт туйлширсан орчны огтлолцол дээр ажилладаг. Эпитакси, талстын өсөлт, өндөр температурт хайлуулах зэрэг процессууд нь 1000°C-аас хэтэрдэг бөгөөд бага зэргийн дулааны хэлбэлзэл ч хальсны зузааны хэмжигдэхүйц хэлбэлзэлд хүргэдэг...Дэлгэрэнгүй унших -
Бал чулуун хоёр туйлт хавтан нь түлшний эсүүдэд хэрхэн ажилладаг вэ?
I. Аж үйлдвэрийн өсөлтөд графитын биполяр хавтангийн гол үүрэг "Хоёр нүүрстөрөгчийн" зорилго болон устөрөгчийн эдийн засгийн хурдацтай хөгжлийн нөхцөлд түлшний эсүүд (ялангуяа PEM түлшний эсүүд) туршилтын үе шатнаас өргөн хүрээтэй хэрэглээнд шилжиж байна. Зорчигч тээврийн хэрэгслээс...Дэлгэрэнгүй унших -
Түлшний элементийн технологид бал чулуун эсийн хэрэглээ юу вэ?
Байнга хөгжиж буй электрохимийн эрчим хүчний системд бал чулуун эсгий нь өвөрмөц бүтэц, цахилгаан, химийн шинж чанартай олон талын нүүрстөрөгч дээр суурилсан материал болж ялгардаг. Бүх түлшний эсийн архитектурт бал чулуун эсгий түгээмэл ашиглагддаггүй ч түүний үүрэг, ялангуяа дэвшилтэт түлшний эсэд ...Дэлгэрэнгүй унших -
Хагас дамжуулагч графит бэхэлгээ: Хагас дамжуулагч үйлдвэрлэлийн чухал процессын бүрэлдэхүүн хэсгүүд
Хагас дамжуулагч үйлдвэрлэлийн процесст олон гол материал, бүрэлдэхүүн хэсгүүд нь процессын тогтвортой байдал болон бүтээгдэхүүний гарцыг тодорхойлдог. Хэдийгээр хагас дамжуулагч бал чулуун бэхэлгээ нь вафли эсвэл бай шиг тийм ч их анхаарал татдаггүй ч өндөр температурт боловсруулалт, эпитакси...-д чухал үүрэг гүйцэтгэдэг.Дэлгэрэнгүй унших -
Өндөр нарийвчлалтай хагас дамжуулагч сийлбэрт зориулж CVD бүрэх фокусын цагираг яагаад чухал вэ?
CVD бүрэх фокусын цагираг нь плазмын хил хязгаарыг тогтворжуулж, вафли даяар жигд ионы тархалтыг хангах замаар орчин үеийн хагас дамжуулагч сийлбэрт чухал үүрэг гүйцэтгэдэг. Энэхүү нийтлэлд тэдгээр нь дэвшилтэт зангилаануудад яагаад зайлшгүй шаардлагатай болохыг тайлбарлаж, сийлбэрийн жигд байдал, CD хяналт, бохирдолд үзүүлэх нөлөөллийг онцолсон...Дэлгэрэнгүй унших -
Ганц талст өсөлтийн зуухны цөм: Өндөр цэвэршилттэй бал чулуун дулааны талбайн нууцыг дэлгэх нь
Ганц талст өсөлтийн зуухны цөм нь болор үйлдвэрлэлийн гол тоног төхөөрөмж бөгөөд түүний дулааны талбайн загвар нь болорны цэвэршилт, чанарт шууд нөлөөлдөг. Зуухны гол бүрэлдэхүүн хэсэг болох өндөр цэвэршилттэй бал чулуун дулааны талбай нь маш сайн дулаан дамжуулалт, өндөр...Дэлгэрэнгүй унших