SiC-coating grafiet MOCVD Wafer-dragers，Grafiet Susceptorenvoor SiC-epitaxie,
Koolstof levert susceptoren, epitaxie-susceptoren, Grafiet Susceptoren,

CVD-SiC-coating heeft de volgende kenmerken: uniforme structuur, compact materiaal, hoge temperatuurbestendigheid, oxidatiebestendigheid, hoge zuiverheid, zuur- en basebestendigheid en organische reagens, met stabiele fysieke en chemische eigenschappen.

Vergeleken met grafietmaterialen met een hoge zuiverheidsgraad, begint grafiet te oxideren bij 400C. Hierdoor treedt er poederverlies op door oxidatie, wat resulteert in vervuiling van randapparatuur en vacuümkamers en een toename van de verontreinigingen in een omgeving met een hoge zuiverheidsgraad.

SiC-coating kan echter de fysieke en chemische stabiliteit behouden bij 1600 graden. Het wordt veel gebruikt in de moderne industrie, met name in de halfgeleiderindustrie.

Ons bedrijf biedt SiC-coatingprocessen aan via de CVD-methode op het oppervlak van grafiet, keramiek en andere materialen. Hierbij reageren speciale gassen, die koolstof en silicium bevatten, bij hoge temperatuur om SiC-moleculen met een hoge zuiverheid te verkrijgen. Deze moleculen worden afgezet op het oppervlak van de gecoate materialen en vormen een beschermende SIC-laag. Het gevormde SIC is stevig verbonden met de grafietbasis, waardoor de grafietbasis speciale eigenschappen krijgt. Hierdoor is het oppervlak van het grafiet compact, poreus en bestand tegen hoge temperaturen, corrosie en oxidatie.

Sollicitatie:

Belangrijkste kenmerken:

1. Hoge temperatuur oxidatiebestendigheid:

de oxidatiebestendigheid is nog steeds zeer goed, zelfs bij temperaturen tot 1700°C.

2. Hoge zuiverheid: gemaakt door chemische dampafzetting onder hogetemperatuurchloreringsomstandigheden.

3. Erosiebestendigheid: hoge hardheid, compact oppervlak, fijne deeltjes.

4. Corrosiebestendigheid: zuur, alkali, zout en organische reagentia.

Belangrijkste specificaties van CVD-SIC-coatings:

Leveringsvermogen:

10000 stuks per maand
Verpakking en levering:
Verpakking: Standaard & Sterke Verpakking
Polyzak + Doos + Karton + Pallet
Haven:
Ningbo/Shenzhen/Shanghai
Levertijd: