Hoogzuivere kwartsboot voor waferverwerking

KwartswafelbootDit is een essentieel hulpmiddel in de halfgeleiderproductie, de productie van fotovoltaïsche cellen en het onderzoek en de ontwikkeling van geavanceerde materialen. Het is ontworpen voor stabiele waferoverdracht en -positionering tijdens processen bij hoge temperaturen. Dit product is vervaardigd van ultrazuiver gesmolten siliciumdioxide (SiO2), met uitstekende temperatuurbestendigheid, chemische stabiliteit en een zeer lage metaalverontreiniging. Het is geschikt voor diffusieovens, oxidatieovens, PECVD/LPCVD-apparatuur en andere machines, en wordt veelvuldig gebruikt bij wafercoating, ionenimplantatie, gloeien bij hoge temperaturen en andere kernprocessen.

De belangrijkste voordelen van de kwartsboot van VET Energy:

• Ultra-hoogzuiver materiaal
  Zuiverheid ≥99,99%: Onzuiverheidsgehalte (Na, K, Fe, enz.) <5 ppm, waardoor waferverontreiniging wordt voorkomen en de chipopbrengst wordt gegarandeerd.
  Lage neerslag en adsorptie: het oppervlak is superglad gepolijst (Ra≤0,4 μm) om de hechting van deeltjes en gasresten te verminderen.
• Hoge temperatuurstabiliteit
  Temperatuurlimiet: Langdurige werktemperatuur van 1100℃, kortstondige piek van 1300℃, geen vervorming, geen kristalvorming.
  Lage thermische uitzettingscoëfficiënt (5,5 x 10⁻⁷/℃), uitstekende thermische schokbestendigheid, geschikt voor snelle temperatuurstijgingen en -dalingen (bijv. RTP-snelgloeien).
• Nauwkeurig constructief ontwerp
  Sleufprecisie ±0,1 mm: geschikt voor wafers van 2 tot 12 inch, uniformiteitsfout van de afstand <0,05 mm, waardoor er geen verschuiving tussen de wafers optreedt.
  Hoge laadcapaciteit: Maximale belasting van 50 wafers (in termen van 12-inch wafers) in één boot, waardoor stabiele overdracht van dunne wafers (≥100 µm) mogelijk is.
• Chemische inertheid
  Corrosiebestendigheid: Bestand tegen corrosie door zuren (behalve HF), basen en organische oplosmiddelen, compatibel met het CMP-reinigingsproces.
  Uitstekende gasdichtheid: lekdebiet <5x10⁻¹⁰ Pa·m³/s, geschikt voor vacuüm- en beschermgasomgevingen.
• Lange levensduur en onderhoudsgemak
  Levensduur ≥ 5000 cycli (onder normale bedrijfsomstandigheden), het oppervlak kan herhaaldelijk worden gereinigd en gebruikt, waardoor de totale kosten worden verlaagd.
  Modulair ontwerp: maakt gedeeltelijke vervanging mogelijk (bijvoorbeeld een enkele boottand), waardoor de stilstandtijd wordt verkort.

Wij bieden zowel transparante als matte oppervlakken aan, afhankelijk van de wensen van de klant.

Ningbo VET Energy Technology Co., Ltd is een hightechbedrijf dat zich richt op de productie en verkoop van hoogwaardige, geavanceerde materialen. De materialen en technologieën omvatten grafiet, siliciumcarbide, keramiek en oppervlaktebehandelingen zoals SiC-coating, TaC-coating, glasachtige koolstofcoating, pyrolytische koolstofcoating, enz. Deze producten worden veelvuldig gebruikt in de fotovoltaïsche sector, halfgeleiders, nieuwe energiebronnen, metallurgie, enz.

Ons technische team is afkomstig van vooraanstaande binnenlandse onderzoeksinstellingen en heeft meerdere gepatenteerde technologieën ontwikkeld om de prestaties en kwaliteit van onze producten te garanderen. Daarnaast kunnen we klanten professionele materiaaloplossingen bieden.