Ⅰ. Chiyambi
Zoumba za Silicon Carbide (Porous SiC) Zoumbandi zipangizo zapamwamba za ceramic zomwe zimaphatikiza mawonekedwe abwino a silicon carbide ndi kapangidwe kake kokhala ndi mapokoso opangidwa mosamala. Mosiyana ndi ma ceramic a SiC olimba, SiC yokhala ndi mapokoso imayambitsa mapokoso olumikizana omwe amapereka ntchito zina, kuphatikiza kulowerera bwino kwa madzi, kapangidwe kopepuka, kutchinjiriza kutentha, komanso kuthekera koyendetsa madzi.
Ndi kukhazikika kwabwino kwa kutentha, kukana mankhwala, komanso kudalirika kwa makina, ma ceramic a SiC okhala ndi mabowo akhala ofunikira kwambiri m'mafakitale otentha kwambiri, makamaka opanga ma semiconductor, komwe malo opangira zinthu amafuna kuyera kwambiri, kukana dzimbiri, komanso kukhazikika kwa ntchito kwa nthawi yayitali.
Ⅱ. Katundu wa Zida za Silikoni Carbide Zokhala ndi Porous
1. Kukhazikika kwa Kutentha Kwambiri
Silicon carbide imadziwika chifukwa cha kugwira ntchito bwino kwambiri kutentha kwambiri chifukwa cha mgwirizano wake wolimba wa Si-C covalent. SiC yokhala ndi mabowo imasunga umphumphu wa kapangidwe kake m'malo otentha kwambiri, zomwe zimapangitsa kuti ikhale yoyenera kutenthetsa kwa semiconductor, machitidwe a epitaxy, ndi zigawo za uvuni.
Kuchuluka kwake kochepa kwa kutentha komanso kukana kutentha kwambiri kumathandiza kuchepetsa kusintha kwa kutentha ndikuwonjezera kukhazikika kwa njira.
2. Kukana Kwambiri kwa Mankhwala ndi Magazi
Kupanga ma semiconductor kumaphatikizapo mpweya woopsa komanso malo okhala ndi plasma, kuphatikizapo mpweya wochokera ku chlorine, fluorine plasma, ndi mpweya wotentha kwambiri.
Zipangizo za SiC zozungulira zimapereka:
- Kukana kwabwino kwambiri kwa okosijeni
- Kukhazikika kwa mankhwala ambiri
- Kukana kukokoloka kwa madzi a m'magazi mwamphamvu
- Makhalidwe otsika a kuipitsidwa
Ubwino uwu umathandiza kuchepetsa kupanga tinthu tating'onoting'ono ndikuwonjezera nthawi ya moyo wa zigawo mu zida za semiconductor.
3. Kuyenda Mowongoka ndi Kulowa kwa Gasi
Ubwino waukulu wa SiC yokhala ndi mabowo ndi kapangidwe kake ka mabowo osinthika. Mwa kuwongolera kukula kwa mabowo, kufalikira, ndi kulumikizana, opanga amatha kukonza bwino mgwirizano pakati pa mphamvu ya makina ndi kulowa kwa madzi.
Mbali yapaderayi imalola SiC yokhala ndi ma porous kuti igwire ntchito ngati:
- Zipangizo zofalitsira mpweya
- Kapangidwe ka kusefera
- Zigawo zoyendetsera kutentha
Ⅲ. Ukadaulo Wokonza Zinthu Zachilengedwe za Porous Silicon Carbide
Kugwira ntchito kwa zoumba za SiC zokhala ndi pobowola kumadalira kwambiri njira zopangira ndi kapangidwe ka microstructure.
Kuchepetsa Chakudya Chopatsa Mphamvu
Njira yachikhalidweyi imapanga SiC yokhala ndi mabowo kudzera mu kutentha kwambiri pakati pa zinthu zomwe zili ndi silicon ndi magwero a kaboni. Imalola kupangidwa kwa mafelemu a SiC oyera kwambiri okhala ndi kutentha kolimba kwambiri.
Kupopera Madzi kwa Gawo la Madzi
Kupopera madzi pogwiritsa ntchito madzi kumagwiritsa ntchito zowonjezera kuti ziwongolere kugwirizana kwa tinthu ndi kukhuthala kwa tinthu. Mwa kusintha kutentha kwa popera madzi ndi mankhwala owonjezera, opanga amatha kupeza mphamvu yabwino ya makina ndi kugawa kwa ma pore.
Kulowa kwa Nthunzi ya Mankhwala (CVI)
CVI imayambitsa zinthu zoyambira mpweya m'mapangidwe okhala ndi mabowo, pomwe SiC imayikidwa pamwamba pa mkati. Njirayi imawonjezera mphamvu ya kapangidwe kake, chiyero chake, komanso kulimba kwa kutentha kwambiri.
Njira Zopangira Thovu ndi Ma Template
Ukadaulo wogwiritsa ntchito thovu ndi ma template umapanga mapangidwe a ma pore okhazikika mwa kuwongolera zinthu zopangira ma pore kapena ma template odzipereka. Njirazi zimapereka njira zabwino kwambiri zolowera komanso mapangidwe a ma pore okonzedwa mwamakonda.
Ⅳ. Kugwiritsa Ntchito mu Kupanga Semiconductor
Chifukwa cha kuphatikiza kwake kwapadera kwa kutentha, mankhwala, ndi kapangidwe kake, ma ceramics a SiC okhala ndi pobowola amagwiritsidwa ntchito kwambiri mu njira za semiconductor.
Zigawo Zogawa Gasi
Mu machitidwe a CVD, PECVD, ndi ALD, SiC yokhala ndi mapokoso imatha kugwira ntchito ngati zotulutsira mpweya ndi mbale zogawa kuti ikwaniritse kuyenda kwa mpweya kofanana komanso kukonza kukhazikika kwa mawonekedwe a filimu.
Zipangizo Zokonzera Madzi a M'magazi
Mu makina oyeretsera ndi kupukuta a plasma, zigawo za SiC zokhala ndi mabowo zimapereka kukana kwakukulu ku malo owononga a plasma, kuchepetsa kuipitsidwa kwa tinthu tating'onoting'ono ndikuwonjezera kudalirika kwa zida.
Machitidwe a SiC ndi GaN Epitaxy
Pakupanga ma semiconductor a m'badwo wachitatu, SiC yokhala ndi porous imathandizira kukonza kayendetsedwe ka kutentha ndi kukhazikika kwa njira m'malo okulirapo a epitaxial kutentha kwambiri.
Zigawo Zogwirira Ntchito Zophikidwa Pang'onopang'ono
Ma chuck a SiC vacuum okhala ndi porousndizothandizira za waferimapereka kulondola kwambiri, kuipitsidwa kochepa, komanso kukana mankhwala bwino kwambiri poyang'anira ma wafer, lithography, ndi kutentha.
Ⅴ. Mapeto
Zoumba za Silicon Carbide Zopanda Porouszikuyimira kusintha kwaZipangizo za SiCKuchokera ku zoumba zachikhalidwe kupita ku zigawo zogwira ntchito za semiconductor. Kudzera mu ukadaulo wapamwamba wokonza zinthu komanso kuwongolera bwino kapangidwe ka ma pore, SiC yokhala ndi ma pore imapeza mgwirizano wabwino pakati pa mphamvu, kulola kuti zinthu zilowerere, kutentha, komanso kukhazikika kwa mankhwala.
Pamene kupanga zinthu za semiconductor kukupitilira kupita patsogolo ku kutentha kwakukulu komanso kuwongolera kwambiri kuipitsidwa, zoumba za SiC zokhala ndi mabowo zidzachita gawo lofunika kwambiri paMakina a CVD, zida zopangira plasma, kugwiritsa ntchito wafer, ndi ukadaulo wopangira semiconductor wa m'badwo wotsatira.
Nthawi yotumizira: Julayi-31-2026