ڇو SiC-ڪوٽيڊ گريفائيٽ ڪروسيبل مستحڪم وڏي پيماني تي پيداوار جو تعين ڪن ٿا؟

SiC ڪرسٽل جي واڌ جي پيداوار واري لائنن ۾، ڪيترائي انجنيئر گرم زون ڊيزائن، گرمي پد ڪنٽرول وکر، ۽ پائوڊر فارموليشن تي ڌيان ڏين ٿا. تڏهن به جڏهن پيداوار ۾ اتار چڙهاؤ پيدا ٿئي ٿو، ته بنيادي سبب اڪثر ساڳئي جزو ڏانهن واپس وڃي ٿو - ڪروسيبل. اهو روشني خارج نٿو ڪري، نه گھمندو آهي، ۽ ڊرائنگ ۾ "بنيادي پيرا ميٽر" طور ظاهر نٿو ٿئي. پر جيڪڏهن هڪ پرت مٿاڇري کان ڇڪي ٿي، هڪ ڪرسٽل غلط جاءِ تي ٺهي ٿو، يا ٿورو گهڻو ڪاربن ڪنڊ مان ٻاهر نڪري ٿو، ته سڄي بول ۾ نتيجي ۾ خرابيون هڪ ڳالهه واضح ڪن ٿيون: هي جزو هڪ مددگار ڪردار کان پري آهي.

جي وڌندڙ موجودگيسي سي ڪوٽيڊ گريفائيٽ ڪروسيبلزسيمي ڪنڊڪٽر ڪرسٽل گروٿ فرنس ۾ هڪ سادي وضاحت آهي: واڌ واري علائقي ۾ گرمي پد، ماحول، ۽ مادي ٽرانسپورٽ جي شدت مادي ڪارڪردگي جي حدن کي وڌائي رهي آهي. گريفائيٽ حرارتي مزاحمت، مشيني صلاحيت، ۽ گرمي جي منتقلي جي لحاظ کان بهترين آهي - پر اهو پنهنجي مزاج سان گڏ اچي ٿو: اتار چڙهڻ، پارگميتا, بخارات جي قسمن يا نجاست سان ڪيميائي رد عمل، ۽ پائوڊرنگ ۽ ذرات جي پيداوار جا ناگزير خطرا. SiC ڪوٽنگ بلڪل انهن دردناڪ نقطن جي خلاف هڪ سخت رڪاوٽ طور ڪم ڪري ٿي.

گريفائيٽ ڪروسيبلز تي SiC ڪوٽنگ ڇو استعمال ڪجي؟

ٽي مکيه سبب:

1. ڪاربن جي اتار چڙهڻ ۽ رد عمل کي گھٽايو

گريفائيٽ بلند درجه حرارت تي، غير فعال گئس جي هيٺان به، ذيلي ٿيڻ شروع ڪري ٿو. جاري ڪيل ڪاربان PVT واڌ دوران بخار جي مرحلي جي ڪيمسٽري کي تبديل ڪري ٿو، جمع ٿيندڙ ڪينيٽڪس ۾ مداخلت ڪري ٿو ۽ خرابي جي ٺهڻ يا غير مستحڪم واڌ جي رخ کي فروغ ڏئي ٿو.

2. آلودگي جي ذريعن کي محدود ڪريو

جيتوڻيڪ آئسوسٽيٽيڪل طور تي دٻايو ويو اعليٰ پاڪائي وارو گريفائيٽ ۾ مائڪرو پورس هوندا آهن ۽ بخار جي اڳڪٿي، ضمني پيداوار، يا نمي جهڙن قسمن کي جذب ڪرڻ جو هڪ فطري رجحان هوندو آهي. اهي بعد ۾ تيز گرمي پد جي ڊوڙ دوران آزاد ٿي سگهن ٿا، ڪرسٽل جي پاڪائي کي نقصان پهچائيندا آهن. هڪ SiC ڪوٽنگ سوراخن کي سيل ڪري ٿي ۽ ماحولياتي صفائي کي وڌائي ٿي.

3. عمر وڌايو ۽ ڦڦڙن کي دٻايو

گھڻن رنن کان پوءِ، گريفائيٽ مٿاڇريون تباهي جو شڪار ٿين ٿيون: پائوڊرنگ، ڇلڻ، مائڪرو ڪريڪنگ، ۽ مواد لٽڪڻ. اهي ذرات جي آلودگي ۽ گهٽ پيداوار جو سبب بڻجن ٿا. هڪ مضبوط SiC ڪوٽنگ اهڙي ناڪامي جي ميڪانيزم کي خاص طور تي دير ڪري سگهي ٿي، مٿاڇري جي سالميت ۽ اعتبار کي برقرار رکندي.

ڪوٽنگ پروسيس ڪنٽرول ڪروسيبل اعتبار جو تعين ڪري ٿو

مکيه وهڪرو ڪوٽنگ جو طريقو آهي سي وي ڊي(ڪيميائي وانپ جمع) پولي ڪرسٽل لائن SiC جو. اهو پختو ۽ حرارتي طور تي مستحڪم آهي. جڏهن ته، ڪوٽنگ هجڻ ڪافي ناهي - فيلڊ جي ڪارڪردگي ۾ اصل فرق نفيس تفصيلن تي منحصر آهي جهڙوڪ:

● ڪوٽنگ جي ٿولهه جي هڪجهڙائي

پيچيده ڪروسيبل جاميٽري - قدم، گرووز، فليٽس - ڇانوَ وارا يا گهٽ جمع ٿيندڙ علائقا ٺاهيندا آهن جتي ڪوٽنگ جي ٿلهي وضاحت کان گهٽ ٿي سگهي ٿي. اهي پتلي زون حرارتي دٻاءُ هيٺ سڀ کان پهريان خراب ٿي ويندا آهن.

حل:ڪوٽنگ فراهم ڪندڙ وٽ لازمي طور تي صحيح 3D فلو-فيلڊ ڪنٽرول ۽ متحرڪ گردش سسٽم هجڻ گهرجن ته جيئن پيچيده حصن تي به هڪجهڙائي ڪوريج کي يقيني بڻائي سگهجي.

● ڪوٽنگ جي کثافت ۽ پن هول جو خاتمو

جيڪڏهن CVD پيرا ميٽرز (درجه حرارت جي درجي بندي، گئس جي تناسب، رهائش جو وقت) کي سختي سان ڪنٽرول نه ڪيو وڃي، ته خوردبيني پن هول ٺهي سگهن ٿا. اهي ناڪامي جي شروعات جا نقطا بڻجي ويندا آهن جيئن ڪاربان فرار ٿئي ٿو ۽ مقامي سنکنرن ٿئي ٿو.

ڳولا:بنيادي ٿولهه ۽ بصري معائنو ڪافي نه آهي. لڪيل پورسيٽي کي ڳولڻ لاءِ ڪيترن ئي حرارتي چڪرن ۾ هيليم ليڪ ٽيسٽ يا بقايا وزن گھٽائڻ جي ٽيسٽ استعمال ڪريو.

● آسنجن جي طاقت ۽ حرارتي دٻاءُ جي مزاحمت

SiC ۽ گريفائٽ ۾ حرارتي توسيع جا مختلف ڪوئفيشينٽس آهن. جيڪڏهن ڪوٽنگ ۾ باقي دٻاءُ گهٽ نه ڪيو ويو آهي، يا مٿاڇري کي رَفنگ/پري-ٽريٽمينٽ نا مناسب آهي، ته پوءِ حرارتي سائيڪلنگ دوران ڊيليمينيشن ٿي سگهي ٿي.

بهترين طريقا:ڪوٽنگ کان اڳ گرٽ-بلاسٽ ۽ الٽراسونڪ صفائي جي تصديق ڪريو، ۽ حقيقي فرنس سائيڪلنگ سان حرارتي دٻاءُ جي برداشت جي تصديق ڪريو.

عام ناڪامي جا طريقا ۽ انهن جو ڪرسٽل اثر

پيداوار ۾، هڪ ڀيرو ڪروسيبل ناڪام ٿئي ٿو، نتيجي ۾ اثر اڪثر ڪري صرف ڪجهه پي پي ايم نه هوندو آهي، پر مڪمل بيچ نقصان ۽ ڪيترن ئي هفتن جي گنجائش ۾ خلل هوندو آهي. هي صرف هڪ مادي مسئلو ناهي - اهو هڪ سسٽم جي استحڪام جو مسئلو آهي.