ເປັນຫຍັງໝໍ້ຫຸງຕົ້ມກຣາໄຟດທີ່ເຄືອບດ້ວຍ SiC ຈຶ່ງກຳນົດການຜະລິດຈຳນວນຫຼວງຫຼາຍທີ່ໝັ້ນຄົງ?

ໃນສາຍການຜະລິດຜລຶກ SiC, ວິສະວະກອນຫຼາຍຄົນສຸມໃສ່ການອອກແບບເຂດຮ້ອນ, ເສັ້ນໂຄ້ງການຄວບຄຸມອຸນຫະພູມ, ແລະ ສູດຜົງ. ແຕ່ເມື່ອມີຄວາມຜັນຜວນຂອງຜົນຜະລິດເກີດຂຶ້ນ, ສາເຫດຕົ້ນຕໍມັກຈະຕິດຕາມກັບໄປຫາອົງປະກອບດຽວກັນ - ເຕົາອົບ. ມັນບໍ່ປ່ອຍແສງ, ບໍ່ໝຸນ, ແລະບໍ່ສະແດງເປັນ "ຕົວກໍານົດຫຼັກ" ໃນຮູບແຕ້ມ. ແຕ່ຖ້າຊັ້ນໜຶ່ງລອກອອກຈາກໜ້າດິນ, ຜລຶກຈະເກີດຂຶ້ນໃນບ່ອນທີ່ບໍ່ຖືກຕ້ອງ, ຫຼື ມີຄາບອນຫຼາຍເກີນໄປໄຫຼອອກມາຈາກມຸມ, ຂໍ້ບົກຜ່ອງທີ່ເກີດຂຶ້ນໃນທົ່ວລູກບານທັງໝົດເຮັດໃຫ້ສິ່ງໜຶ່ງຊັດເຈນ: ອົງປະກອບນີ້ບໍ່ແມ່ນບົດບາດສະໜັບສະໜູນ.

ການມີໜ້າຂອງຖ້ວຍແກ້ວແກຣໄຟທ໌ເຄືອບ SiCໃນເຕົາເຜົາຜລຶກ semiconductor ມີຄຳອະທິບາຍງ່າຍໆຄື: ອຸນຫະພູມ, ບັນຍາກາດ, ແລະ ຄວາມເຂັ້ມຂອງການຂົນສົ່ງວັດສະດຸໃນເຂດການເຕີບໂຕກຳລັງຊຸກຍູ້ຂີດຈຳກັດຂອງປະສິດທິພາບຂອງວັດສະດຸ. Graphite ແມ່ນດີເລີດໃນດ້ານຄວາມຕ້ານທານຄວາມຮ້ອນ, ຄວາມສາມາດໃນການປຸງແຕ່ງ, ແລະ ການຖ່າຍໂອນຄວາມຮ້ອນ - ແຕ່ມັນມາພ້ອມກັບລັກສະນະຂອງມັນເອງ: ການລະເຫີຍ, ການຊຶມຜ່ານ., ປະຕິກິລິຍາທາງເຄມີກັບຊະນິດໄອນ້ຳ ຫຼື ສິ່ງເຈືອປົນ, ແລະ ຄວາມສ່ຽງທີ່ຫຼີກລ່ຽງບໍ່ໄດ້ຂອງຜົງ ແລະ ການສ້າງອະນຸພາກ. ການເຄືອບ SiC ເຮັດໜ້າທີ່ເປັນກຳແພງແຂງຕໍ່ກັບຈຸດເຈັບປວດເຫຼົ່ານີ້.

ເປັນຫຍັງຈຶ່ງຕ້ອງໃຊ້ການເຄືອບ SiC ໃນໝໍ້ຫຸງຕົ້ມກຣາໄຟດ?

ສາມເຫດຜົນຫຼັກ:

1. ຫຼຸດຜ່ອນການລະເຫີຍຂອງຄາບອນ ແລະ ປະຕິກິລິຍາ

ກຣາໄຟດເລີ່ມລະເຫີຍໃນອຸນຫະພູມສູງ, ເຖິງແມ່ນວ່າຢູ່ພາຍໃຕ້ອາຍແກັສທີ່ບໍ່ມີປະຕິກິລິຍາ. ຄາບອນທີ່ປ່ອຍອອກມາຈະປ່ຽນແປງເຄມີຂອງໄລຍະໄອໃນລະຫວ່າງການເຕີບໃຫຍ່ຂອງ PVT, ລົບກວນການເຄື່ອນໄຫວຂອງການຕົກຕະກອນ ແລະ ສົ່ງເສີມການສ້າງຂໍ້ບົກພ່ອງ ຫຼື ທິດທາງການເຕີບໂຕທີ່ບໍ່ໝັ້ນຄົງ.

2. ຈຳກັດແຫຼ່ງການປົນເປື້ອນ

ເຖິງແມ່ນວ່າແກຣໄຟທ໌ທີ່ມີຄວາມບໍລິສຸດສູງທີ່ຖືກກົດດັນດ້ວຍລະບົບໄອໂຊສະແຕຕິກກໍມີຮູຂຸມຂົນຂະໜາດນ້ອຍ ແລະ ມີແນວໂນ້ມທີ່ຈະດູດຊຶມຊະນິດຕ່າງໆເຊັ່ນ: ສານຕັ້ງຕົ້ນຂອງໄອນ້ຳ, ຜະລິດຕະພັນຂ້າງຄຽງ, ຫຼື ຄວາມຊຸ່ມຊື່ນ. ສິ່ງເຫຼົ່ານີ້ສາມາດປ່ອຍອອກມາໃນພາຍຫຼັງໃນລະຫວ່າງການແລ່ນທີ່ມີອຸນຫະພູມສູງ, ເຊິ່ງເຮັດໃຫ້ຄວາມບໍລິສຸດຂອງຜລຶກຫຼຸດລົງ. ການເຄືອບ SiC ປິດຮູຂຸມຂົນ ແລະ ເສີມຂະຫຍາຍຄວາມສະອາດຂອງສິ່ງແວດລ້ອມ.

3. ຍືດອາຍຸການໃຊ້ງານ ແລະ ສະກັດກັ້ນການແຕກຂອງຮອຍແຕກ

ຫຼັງຈາກການເຮັດວຽກຫຼາຍຄັ້ງ, ໜ້າດິນແກຣໄຟມັກຈະເສື່ອມສະພາບ: ເປັນຜົງ, ປອກເປືອກ, ແຕກຂະໜາດນ້ອຍ, ແລະ ວັດສະດຸຕິດຄ້າງ. ສິ່ງເຫຼົ່ານີ້ນຳໄປສູ່ການປົນເປື້ອນຂອງອະນຸພາກ ແລະ ຜົນຜະລິດຕໍ່າ. ການເຄືອບ SiC ທີ່ແຂງແຮງສາມາດເຮັດໃຫ້ກົນໄກການລົ້ມເຫຼວດັ່ງກ່າວໄດ້ຊັກຊ້າຢ່າງຫຼວງຫຼາຍ, ຮັກສາຄວາມສົມບູນຂອງໜ້າດິນ ແລະ ຄວາມໜ້າເຊື່ອຖື.

ການຄວບຄຸມຂະບວນການເຄືອບກຳນົດຄວາມໜ້າເຊື່ອຖືຂອງ Crucible

ວິທີການເຄືອບຫຼັກແມ່ນ ພະຍາດຫົວໃຈແລະຫຼອດເລືອດ(ການຕົກຕະກອນໄອນ້ຳທາງເຄມີ) ຂອງ SiC ທີ່ມີຫຼາຍຜລຶກ. ມັນສຸກແລ້ວ ແລະ ມີຄວາມໝັ້ນຄົງທາງຄວາມຮ້ອນ. ຢ່າງໃດກໍຕາມ, ການມີຊັ້ນເຄືອບນັ້ນບໍ່ພຽງພໍ - ຄວາມແຕກຕ່າງຕົວຈິງໃນປະສິດທິພາບພາກສະໜາມແມ່ນຂຶ້ນກັບລາຍລະອຽດທີ່ລະອຽດເຊັ່ນ:

● ຄວາມໜາຂອງເຄືອບທີ່ສະໝໍ່າສະເໝີ

ຮູບຮ່າງເລຂາຄະນິດທີ່ສັບສົນເຊັ່ນ: ຂັ້ນໄດ, ຮ່ອງ, ເສັ້ນລວດລາຍ, ສ້າງພື້ນທີ່ທີ່ມີເງົາ ຫຼື ມີການຕົກตะกอนຕ່ຳ ບ່ອນທີ່ຄວາມໜາຂອງຊັ້ນເຄືອບສາມາດຕໍ່າກວ່າມາດຕະຖານ. ເຂດບາງໆເຫຼົ່ານີ້ກາຍເປັນພື້ນທີ່ທຳອິດທີ່ເສື່ອມສະພາບພາຍໃຕ້ຄວາມກົດດັນທາງຄວາມຮ້ອນ.

ວິທີແກ້ໄຂ:ຜູ້ສະໜອງການເຄືອບຕ້ອງມີລະບົບການຄວບຄຸມສະໜາມໄຫຼ 3D ແລະ ລະບົບໝູນວຽນແບບໄດນາມິກທີ່ຊັດເຈນເພື່ອຮັບປະກັນການຄຸ້ມຄອງທີ່ເປັນເອກະພາບເຖິງແມ່ນວ່າຢູ່ໃນຊິ້ນສ່ວນທີ່ສັບສົນ.

● ຄວາມໜາແໜ້ນຂອງຊັ້ນເຄືອບ ແລະ ການກຳຈັດຮູເຂັມ

ຖ້າຕົວກໍານົດການ CVD (ການປ່ຽນແປງຂອງອຸນຫະພູມ, ອັດຕາສ່ວນອາຍແກັສ, ເວລາທີ່ຢູ່ອາໄສ) ບໍ່ໄດ້ຮັບການຄວບຄຸມຢ່າງເຂັ້ມງວດ, ຮູນ້ອຍໆອາດຈະເກີດຂຶ້ນ. ຈຸດເຫຼົ່ານີ້ຈະກາຍເປັນຈຸດເລີ່ມຕົ້ນຂອງຄວາມລົ້ມເຫຼວຍ້ອນວ່າຄາບອນຮົ່ວໄຫຼອອກມາ ແລະ ການກັດກ່ອນໃນທ້ອງຖິ່ນເກີດຂຶ້ນ.

ການກວດພົບ:ຄວາມໜາພື້ນຖານ ແລະ ການກວດກາດ້ວຍສາຍຕາບໍ່ພຽງພໍ. ໃຊ້ການທົດສອບການຮົ່ວໄຫຼຂອງຮີລຽມ ຫຼື ການທົດສອບການສູນເສຍນ້ຳໜັກທີ່ເຫຼືອຢູ່ໃນຫຼາຍໆຮອບວຽນຄວາມຮ້ອນເພື່ອກວດຫາຄວາມพรຸນທີ່ເຊື່ອງໄວ້.

● ຄວາມແຂງແຮງຂອງການຍຶດຕິດ ແລະ ຄວາມຕ້ານທານຄວາມກົດດັນທາງຄວາມຮ້ອນ

SiC ແລະ graphite ມີສຳປະສິດການຂະຫຍາຍຕົວທາງຄວາມຮ້ອນທີ່ແຕກຕ່າງກັນ. ຖ້າຄວາມກົດດັນທີ່ເຫຼືອຢູ່ໃນຊັ້ນເຄືອບບໍ່ໄດ້ຖືກຫຼຸດຜ່ອນໃຫ້ໜ້ອຍທີ່ສຸດ, ຫຼື ການຫຍາບຂອງໜ້າດິນ/ການປຸງແຕ່ງກ່ອນບໍ່ພຽງພໍ, ການແຕກອອກອາດຈະເກີດຂຶ້ນໃນລະຫວ່າງວົງຈອນຄວາມຮ້ອນ.

ວິທີປະຕິບັດທີ່ດີທີ່ສຸດ:ກວດສອບການພົ່ນດິນຊາຍ ແລະ ການທຳຄວາມສະອາດດ້ວຍຄື້ນສຽງຄວາມຖີ່ສູງກ່ອນການເຄືອບ, ແລະ ກວດສອບຄວາມທົນທານຕໍ່ຄວາມກົດດັນທາງຄວາມຮ້ອນດ້ວຍວົງຈອນເຕົາອົບຕົວຈິງ.

ຮູບແບບຄວາມລົ້ມເຫຼວທົ່ວໄປ ແລະ ຜົນກະທົບຂອງຜລຶກຂອງມັນ

ໃນການຜະລິດ, ເມື່ອໝໍ້ຕົ້ມລົ້ມເຫຼວ, ຜົນກະທົບທີ່ເກີດຂຶ້ນມັກຈະບໍ່ພຽງແຕ່ສອງສາມ ppm ເທົ່ານັ້ນ, ແຕ່ຍັງມີການສູນເສຍແບບ batch ທັງໝົດ ແລະ ການລົບກວນຄວາມອາດສາມາດຫຼາຍອາທິດ. ນີ້ບໍ່ແມ່ນພຽງແຕ່ບັນຫາທີ່ສຳຄັນເທົ່ານັ້ນ - ມັນເປັນບັນຫາຄວາມໝັ້ນຄົງຂອງລະບົບ.