የሲሲ-የተሸፈኑ ግራፋይት ክሩሲብልስ የተረጋጋ የጅምላ ምርትን የሚወስኑት ለምንድን ነው?

በሲሲ ክሪስታል እድገት ማምረቻ መስመሮች ውስጥ፣ ብዙ መሐንዲሶች በሙቅ-ዞን ዲዛይን፣ የሙቀት መቆጣጠሪያ ኩርባዎች እና የዱቄት ፎርሙላ ላይ ያተኩራሉ። ሆኖም የምርት መለዋወጥ ሲከሰት፣ የስር መንስኤው ብዙውን ጊዜ ወደ ተመሳሳይ አካል ይመለሳል - ክሩሲብል። ብርሃን አያመነጭም፣ አይሽከረከርም እና በስዕሎች ውስጥ እንደ “ዋና መለኪያ” አይታይም። ነገር ግን አንድ ንብርብር ከላዩ ላይ ከተላጠ፣ ክሪስታል በተሳሳተ ቦታ ከተፈጠረ ወይም ከማዕዘን ትንሽ ከመጠን በላይ ካርቦን ከፈሰሰ፣ በመላው ቦውል ላይ ያሉት ጉድለቶች አንድ ነገር ግልፅ ያደርጉታል፡ ይህ አካል ከድጋፍ ሚና የራቀ ነው።

እየጨመረ የመጣው መገኘትበሲሲ የተሸፈኑ ግራፋይት ክሩሽሎችበሴሚኮንዳክተር ክሪስታል የእድገት ምድጃዎች ውስጥ ቀላል ማብራሪያ አለው፡ በእድገት ቀጠና ውስጥ ያለው የሙቀት መጠን፣ ከባቢ አየር እና የቁሳቁስ ትራንስፖርት ጥንካሬ የቁሳቁስ አፈፃፀም ገደብን እየገፉ ነው። ግራፋይት በሙቀት መቋቋም፣ በማሽን አቅም እና በሙቀት ማስተላለፍ ረገድ በጣም ጥሩ ነው - ነገር ግን የራሱ የሆነ ባህሪ አለው፡- ተለዋዋጭነት፣ ፐርሜትሪዜሽን, የእንፋሎት ዝርያዎችን ወይም ቆሻሻዎችን የሚያመጣ የኬሚካል ምላሽ፣ እና የዱቄት እና የቅንጣት መፈጠር የማይቀሩ አደጋዎች። የSiC ሽፋን በትክክል ከእነዚህ የህመም ነጥቦች ጋር እንደ ጠንካራ መከላከያ ሆኖ ያገለግላል።

በግራፋይት ክሩሲብልስ ላይ የሲሲ ሽፋን ለምን መጠቀም አለብዎት?

ሶስት ዋና ዋና ምክንያቶች፡

1. የካርቦን መለዋወጥን እና ምላሽ ሰጪነትን ይቀንሱ

ግራፋይት በከፍተኛ የሙቀት መጠን፣ በማይንቀሳቀስ ጋዝ ውስጥም ቢሆን፣ ንፁህ መሆን ይጀምራል። የሚለቀቀው ካርቦን በPVT እድገት ወቅት የእንፋሎት ደረጃ ኬሚስትሪ ይለውጣል፣ ይህም የማጠራቀሚያ ኪነቲክስን ጣልቃ በመግባት የጉድለት መፈጠርን ወይም ያልተረጋጋ የእድገት አቅጣጫዎችን ያበረታታል።

2. የብክለት ምንጮችን ይገድቡ

በገለልተኛነት የተጫኑ ከፍተኛ ንፁህነት ያላቸው ግራፋይቶች እንኳን ጥቃቅን ቀዳዳዎች እና እንደ የእንፋሎት ቅድመ-ቅጦች፣ ተረፈ ምርቶች ወይም እርጥበት ያሉ ዝርያዎችን የመምጠጥ ዝንባሌ አላቸው። እነዚህ በኋላ ላይ በከፍተኛ ሙቀት በሚፈሱበት ጊዜ ሊለቀቁ ይችላሉ፣ ይህም የክሪስታል ንፅህናን ያበላሻል። የSiC ሽፋን ቀዳዳዎችን ይዘጋል እና የአካባቢ ንፅህናን ያሻሽላል።

3. የህይወት ዘመንን ማራዘም እና የመርጨት ስሜትን መግታት

ከበርካታ ሩጫዎች በኋላ፣ የግራፋይት ገጽታዎች ለመበስበስ የተጋለጡ ናቸው፡ ዱቄት፣ መላላጥ፣ ማይክሮ ክራክሽን እና የቁሳቁስ መቆራረጥ። እነዚህም ወደ ቅንጣት ብክለት እና ዝቅተኛ ምርት ያስከትላሉ። ጠንካራ የሲሲ ሽፋን እንደዚህ ያሉ የውድቀት ዘዴዎችን በከፍተኛ ሁኔታ ሊያዘገይ ይችላል፣ የገጽታ ታማኝነትን እና አስተማማኝነትን ይጠብቃል።

የሽፋን ሂደት ቁጥጥር የክሩሲብል አስተማማኝነትን ይወስናል

ዋናው የሽፋን ዘዴ እንደሚከተለው ነው ሲቪዲየፖሊክሪስታሊን ሲሲ (የኬሚካል ትነት ዲፖዚሽን)። የበሰለ እና በሙቀት የተረጋጋ ነው። ሆኖም፣ ሽፋን መኖሩ በቂ አይደለም - በመስክ አፈጻጸም ላይ ያለው ትክክለኛ ልዩነት በሚከተሉት ጥቃቅን ዝርዝሮች ላይ የተመሰረተ ነው፡

● የሽፋን ውፍረት ወጥነት

ውስብስብ የክሩሲብል ጂኦሜትሪዎች - ደረጃዎች፣ ጎድጓዶች፣ ፊሌቶች - የሽፋን ውፍረት ከዝርዝር በታች ሊወድቅ የሚችልባቸው ጥላ ወይም ዝቅተኛ ቦታ ያላቸው ቦታዎችን ይፈጥራሉ። እነዚህ ቀጭን ዞኖች በሙቀት ውጥረት ምክንያት የሚበላሹት የመጀመሪያዎቹ ይሆናሉ።

መፍትሄ፡የሽፋን አቅራቢው ውስብስብ በሆኑ ክፍሎች ላይ እንኳን ወጥ የሆነ ሽፋን ለማረጋገጥ ትክክለኛ የ3-ልኬት ፍሰት-መስክ ቁጥጥር እና ተለዋዋጭ የማዞሪያ ስርዓቶች ሊኖሩት ይገባል።

● የሽፋን ጥግግት እና የፒንሆል ማስወገድ

የሲቪዲ መለኪያዎች (የሙቀት ቅልመት፣ የጋዝ ሬሾዎች፣ የመኖሪያ ጊዜ) በጥብቅ ቁጥጥር ካልተደረገባቸው፣ ጥቃቅን የፒንሆሎች ሊፈጠሩ ይችላሉ። እነዚህ የካርቦን ማምለጫ እና የአካባቢ ዝገት ሲከሰት የውድቀት መነሻ ነጥቦች ይሆናሉ።

መለየት፦መሰረታዊ ውፍረት እና የእይታ ምርመራ በቂ አይደሉም። የተደበቀ ቀዳዳ ለመለየት የሂሊየም መፍሰስ ሙከራዎችን ወይም የቀረውን የክብደት መቀነስ ሙከራን በበርካታ የሙቀት ዑደቶች ይጠቀሙ።

● የማጣበቅ ጥንካሬ እና የሙቀት ውጥረት መቋቋም

ሲሲ እና ግራፋይት የተለያዩ የሙቀት መስፋፋት ኮፊሸንቶች አሏቸው። በሽፋኑ ውስጥ ያለው የቀረው ውጥረት ካልተቀነሰ ወይም የወለል ሻካራነት/ቅድመ-ህክምና በቂ ካልሆነ፣ በሙቀት ዑደት ወቅት ሻካራነት ሊከሰት ይችላል።

ምርጥ ልምዶች፡ከመቀባቱ በፊት የግሪት-ፍንዳታ እና የአልትራሳውንድ ጽዳት ያረጋግጡ፣ እና በእውነተኛው የምድጃ ዑደት የሙቀት ውጥረትን የመቋቋም አቅም ያረጋግጡ።

የተለመዱ የውድቀት ሁነታዎች እና የክሪስታል ተጽእኖቸው

በምርት ሂደት ውስጥ፣ ክሩሲብል አንዴ ከተበላሸ፣ የሚፈጠረው ተጽእኖ ብዙውን ጊዜ ጥቂት ppm ብቻ ሳይሆን፣ ሙሉ በሙሉ የሚጠፋ እና ለብዙ ሳምንታት የሚቆይ የአቅም መቆራረጥ ነው። ይህ ቁሳዊ ጉዳይ ብቻ አይደለም - የስርዓት መረጋጋት ችግር ነው።