Kí ló dé tí àwọn ọkọ̀ ojú omi onígun mẹ́ta tí a fi SiC bo ṣe ń pinnu iṣẹ́ ìṣẹ̀dá ibi tí ó dúró ṣinṣin?

Nínú àwọn ìlà ìṣẹ̀dá ìdàgbàsókè kírísítà SiC, ọ̀pọ̀ àwọn onímọ̀ ẹ̀rọ máa ń fojú sí àwòrán agbègbè gbígbóná, àwọn ìlà ìṣàkóṣo ìgbóná, àti ìṣètò lulú. Síbẹ̀ nígbà tí ìyípadà ìyọrísí bá dìde, okùnfà gbòǹgbò sábà máa ń padà sí ohun kan náà—èyí tí a fi ń so mọ́lẹ̀. Kò máa ń yọ ìmọ́lẹ̀ jáde, kò máa ń yípo, kò sì ní farahàn gẹ́gẹ́ bí “pàrámítà pàtàkì” nínú àwọn àwòrán. Ṣùgbọ́n tí ìpele kan bá bọ́ sílẹ̀ lórí ojú ilẹ̀, tí kírísítà kan bá ṣẹ̀dá ní ibi tí kò tọ́, tàbí tí èéfín bá pọ̀ jù láti igun kan, àwọn àbùkù tí ó yọrí sí gbogbo boule náà mú kí ohun kan ṣe kedere: ohun yìí kò ṣe ipa ìtìlẹ́yìn rárá.

Wiwa ti n pọ siÀwọn ọkọ̀ ojú omi graphite tí a fi SiC boNínú àwọn ilé ìgbóná ìdàgbàsókè kírísítà semiconductor, ó ní àlàyé tó rọrùn: ìwọ̀n otútù, afẹ́fẹ́, àti agbára ìrìnnà ohun èlò ní agbègbè ìdàgbàsókè ń tẹ̀síwájú àwọn ààlà iṣẹ́ ohun èlò. Graphite dára ní ti agbára ìdènà ooru, agbára ẹ̀rọ, àti ìyípadà ooru—ṣùgbọ́n ó wá pẹ̀lú ìwà tirẹ̀: ìyípadà, ìyípadà agbára, Ìṣiṣẹ́ kẹ́míkà pẹ̀lú àwọn ẹ̀yà afẹ́fẹ́ tàbí àwọn ohun àìmọ́, àti àwọn ewu tí a kò lè yẹ̀ sílẹ̀ ti ìṣẹ̀dá ìyẹ̀fun àti ìṣẹ̀dá pàtákì. Ìbòrí SiC náà ń ṣiṣẹ́ gẹ́gẹ́ bí ìdènà líle lòdì sí àwọn ibi ìrora wọ̀nyí gan-an.

Kí ló dé tí a fi ń lo àwọ̀ SiC lórí àwọn gíráfítì Crucibles?

Awọn idi pataki mẹta:

1. Dín ìyípadà erogba ati ìṣiṣẹ́ rẹ̀ kù

Graphite bẹ̀rẹ̀ sí í yọ́ ní ojú ọjọ́ tí ó ga, kódà lábẹ́ gáàsì aláìṣiṣẹ́. Erogba tí a tú sílẹ̀ yìí máa ń yí ìpele ìpele afẹ́fẹ́ padà nígbà tí PVT bá ń dàgbà, ó máa ń dí ìdènà àwọn ìdènà ìdúró àti láti mú kí àbùkù tàbí ìtọ́sọ́nà ìdàgbàsókè tí kò dúró ṣinṣin wáyé.

2. Dín àwọn orísun ìbàjẹ́ kù

Àní graphite tí a tẹ̀ ní ọ̀nà tí ó ní ìpìlẹ̀ gíga ní àwọn ihò kékeré àti ìtẹ̀sí láti fa àwọn irú bíi àwọn ohun tí ń fa omi, àwọn ohun tí ó jáde láti inú rẹ̀, tàbí ọrinrin. Àwọn wọ̀nyí lè jáde nígbà tí ó bá yá nígbà tí ó bá ń ṣiṣẹ́ ní iwọ̀n otútù gíga, èyí tí yóò ba ìwẹ̀nùmọ́ kirisita jẹ́. Aṣọ SiC kan ń dí àwọn ihò náà mú kí ó sì mú kí ìwẹ̀nùmọ́ àyíká pọ̀ sí i.

3. Fa igbesi aye rẹ si i ki o si dẹkun fifa omi kuro

Lẹ́yìn ọ̀pọ̀ ìṣiṣẹ́, àwọn ojú ilẹ̀ graphite máa ń bàjẹ́: ìfọ́, fífọ́, fífọ́ microcrack, àti dídúró ohun èlò. Àwọn wọ̀nyí máa ń fa ìbàjẹ́ pàtákì àti ìyọrísí tó dínkù. Ìbòrí SiC tó lágbára lè dá irú àwọn ọ̀nà ìkùnà bẹ́ẹ̀ dúró ní pàtàkì, kí ó máa pa ojú ilẹ̀ mọ́ dáadáa àti ìgbẹ́kẹ̀lé.

Iṣakoso Ilana Aṣọ Pinnu Igbẹkẹle Crucible

Ọna ti a fi awọ bo ṣe pataki julọ ni CVD(Ìfipamọ́ afẹ́fẹ́ kẹ́míkà) ti polycrystalline SiC. Ó ti dàgbà, ó sì dúró ṣinṣin ní ooru. Síbẹ̀síbẹ̀, níní àwọ̀ kò tó—ìyàtọ̀ gidi nínú iṣẹ́ pápá sinmi lórí àwọn kúlẹ̀kúlẹ̀ díẹ̀ bíi:

● Ìwọ̀n ìbòrí tó nípọn tó sì dọ́gba

Àwọn ibi tí a lè fi omi bò tí ó díjú—àwọn àtẹ̀gùn, àwọn ihò, àwọn fílétì—ń ṣẹ̀dá àwọn agbègbè tí ó ní òjìji tàbí tí ó ní ìpele kékeré níbi tí ìfúnpọ̀ ìbòrí lè rì sí ìsàlẹ̀ àpèjúwe. Àwọn agbègbè tín-ín-rín wọ̀nyí ni ó máa ń jẹ́ àkọ́kọ́ tí yóò bàjẹ́ lábẹ́ ìdààmú ooru.

Ojutu:Olùpèsè ìbòrí gbọ́dọ̀ ní ìṣàkóso 3D tí ó péye lórí ìṣàn-òkun àti àwọn ètò ìyípo oníyípadà láti rí i dájú pé ó ní ìbòrí tó dọ́gba, kódà lórí àwọn ẹ̀yà ara tó díjú.

● Ìwọ̀n ìbòrí àti ìyọkúrò ihò pinhole

Tí a kò bá ṣàkóso àwọn pàrámítà CVD (ìwọ̀n ìgbóná, ìpíndọ́gba gáàsì, àkókò gbígbé) dáadáa, àwọn ihò kéékèèké lè ṣẹ̀dá. Àwọn wọ̀nyí yóò di ibi ìbẹ̀rẹ̀ ìkùnà bí erogba ṣe ń sá lọ àti ìbàjẹ́ agbègbè.

Ṣíṣàwárí:Ìwọ̀n ìwúwo àti àyẹ̀wò ojú kò tó. Lo àwọn ìdánwò ìtújáde helium tàbí ìdánwò ìpàdánù ìwúwo tó kù ní oríṣiríṣi ìgbà ooru láti ṣàwárí àwọn ihò tí a fi pamọ́.

● Agbára ìfàmọ́ra àti ìdènà ìdààmú ooru

SiC àti graphite ní onírúurú ìwọ̀n ìfàsẹ́yìn ooru. Tí a kò bá dín ìdààmú tó kù nínú ìbòrí náà kù, tàbí tí a kò bá dín ìdàrúdàpọ̀ ojú ilẹ̀/ìtọ́jú ṣáájú kí a tó ṣe é, ìdàrúdàpọ̀ lè wáyé nígbà tí a bá ń yípo ooru.

Àwọn ìlànà tó dára jùlọ:Ṣàyẹ̀wò ìfọmọ́ grit-blast àti ultrasonic kí o tó fi bo, kí o sì jẹ́rìí sí ìfaradà ooru pẹ̀lú lílo ìgbóná gidi.

Àwọn Ọ̀nà Ìkùnà Tó Wọ́pọ̀ àti Ìpa Kírísítà Wọn

Nígbà tí a bá ń ṣe é, nígbà tí ẹ̀rọ ìṣiṣẹ́ náà bá kùnà, ipa tí ó máa ń yọrí sí kìí ṣe ppm díẹ̀ nìkan, ṣùgbọ́n pípadánù gbogbo ìpele àti ìdènà agbára fún ọ̀sẹ̀ púpọ̀. Èyí kìí ṣe ọ̀ràn gidi lásán—ó jẹ́ ìṣòro ìdúróṣinṣin ètò.