SiC ස්ඵටික වර්ධන නිෂ්පාදන රේඛාවලදී, බොහෝ ඉංජිනේරුවන් උණුසුම් කලාප නිර්මාණය, උෂ්ණත්ව පාලන වක්ර සහ කුඩු සකස් කිරීම කෙරෙහි අවධානය යොමු කරයි. එහෙත් අස්වැන්න උච්චාවචනයන් ඇති වූ විට, මූල හේතුව බොහෝ විට එකම සංරචකයට - කබොල්ලට ආපසු යයි. එය ආලෝකය විමෝචනය නොකරයි, භ්රමණය නොවේ, සහ චිත්රවල "මූලික පරාමිතියක්" ලෙස නොපෙන්වයි. නමුත් ස්ථරයක් මතුපිටින් ගැලවී ගියහොත්, වැරදි ස්ථානයක ස්ඵටිකයක් සෑදුනහොත්, හෝ කොනකින් තරමක් වැඩිපුර කාබන් කාන්දු වුවහොත්, සම්පූර්ණ බෝලය පුරා ඇති වන දෝෂ එක් දෙයක් පැහැදිලි කරයි: මෙම සංරචකය සහායක භූමිකාවකට වඩා බොහෝ දුරස් ය.
වැඩිවන පැවැත්මSiC ආලේපිත මිනිරන් කබොලඅර්ධ සන්නායක ස්ඵටික වර්ධන ඌෂ්මකවල සරල පැහැදිලි කිරීමක් ඇත: වර්ධන කලාපයේ උෂ්ණත්වය, වායුගෝලය සහ ද්රව්ය ප්රවාහන තීව්රතාවය ද්රව්ය ක්රියාකාරිත්වයේ සීමාවන් තල්ලු කරයි. ග්රැෆයිට් තාප ප්රතිරෝධය, යන්ත්රෝපකරණ හැකියාව සහ තාප හුවමාරුව අනුව විශිෂ්ටයි - නමුත් එය තමන්ගේම ස්වභාවයක් සමඟ පැමිණේ: වාෂ්පීකරණය, පාරගම්යතාව, වාෂ්ප විශේෂ හෝ අපද්රව්ය සමඟ රසායනික ප්රතික්රියාශීලීත්වය සහ කුඩු කිරීමේ සහ අංශු උත්පාදනයේ නොවැළැක්විය හැකි අවදානම්. SiC ආලේපනය හරියටම මෙම වේදනා ලක්ෂ්යයන්ට එරෙහිව දෘඩ බාධකයක් ලෙස ක්රියා කරයි.
ග්රැෆයිට් කෲසබල් සඳහා SiC ආලේපනයක් භාවිතා කරන්නේ ඇයි?
ප්රධාන හේතු තුනක්:
1. කාබන් වාෂ්පීකරණය සහ ප්රතික්රියාශීලීත්වය අඩු කිරීම
ග්රැෆයිට් ඉහළ උෂ්ණත්වවලදී, නිෂ්ක්රීය වායුව යටතේ වුවද, උත්ප්රේරක වීමට පටන් ගනී. මුදා හරින ලද කාබන් PVT වර්ධනය අතරතුර වාෂ්ප අවධි රසායන විද්යාව වෙනස් කරයි, තැන්පත් වීමේ චාලකයට බාධා කරයි සහ දෝෂ සෑදීම හෝ අස්ථායී වර්ධන දිශානතිය ප්රවර්ධනය කරයි.
2. දූෂණ ප්රභවයන් සීමා කරන්න
සමස්ථානිකව තද කරන ලද අධි-පිරිසිදු මිනිරන් පවා ක්ෂුද්ර සිදුරු ඇති අතර වාෂ්ප පූර්වගාමීන්, අතුරු නිෂ්පාදන හෝ තෙතමනය වැනි විශේෂ අවශෝෂණය කර ගැනීමේ ආවේණික ප්රවණතාවක් ඇත. මේවා පසුව ඉහළ උෂ්ණත්ව ධාවනයන්හිදී මුදා හැරිය හැකි අතර, ස්ඵටික සංශුද්ධතාවයට හානි කරයි. SiC ආලේපනයක් සිදුරු මුද්රා තබා පාරිසරික පිරිසිදුකම වැඩි දියුණු කරයි.
3. ආයු කාලය දීර්ඝ කර ඉරිතැලීම් මර්දනය කරන්න
බහුවිධ ධාවනයෙන් පසු, මිනිරන් මතුපිට හායනයට ලක් වේ: කුඩු කිරීම, පීල් කිරීම, ක්ෂුද්ර ඉරිතැලීම් සහ ද්රව්ය එල්ලීම. මේවා අංශු දූෂණයට සහ අඩු අස්වැන්නකට හේතු වේ. ශක්තිමත් SiC ආලේපනයක් එවැනි අසාර්ථක යාන්ත්රණයන් සැලකිය යුතු ලෙස ප්රමාද කළ හැකි අතර, මතුපිට අඛණ්ඩතාව සහ විශ්වසනීයත්වය පවත්වා ගනී.
ආලේපන ක්රියාවලි පාලනය කෲසිබල් විශ්වසනීයත්වය තීරණය කරයි
ප්රධාන ධාරාවේ ආලේපන ක්රමය වන්නේ සීවීඩීබහු ස්ඵටික SiC හි (රසායනික වාෂ්ප තැන්පත් කිරීම). එය පරිණත හා තාප ස්ථායී වේ. කෙසේ වෙතත්, ආලේපනයක් තිබීම ප්රමාණවත් නොවේ - ක්ෂේත්ර ක්රියාකාරිත්වයේ සැබෑ වෙනස රඳා පවතින්නේ සියුම් විස්තර මත ය:
● ආලේපන ඝණකම ඒකාකාරිත්වය
සංකීර්ණ කබොල ජ්යාමිතීන් - පියවර, කට්ට, පිරවුම් - ආලේපන ඝණකම පිරිවිතරයට වඩා අඩු විය හැකි සෙවනැලි හෝ අඩු තැන්පත් ප්රදේශ නිර්මාණය කරයි. මෙම තුනී කලාප තාප ආතතිය යටතේ දිරාපත් වන පළමු කලාප බවට පත්වේ.
විසඳුමක්:සංකීර්ණ කොටස්වල පවා ඒකාකාර ආවරණයක් සහතික කිරීම සඳහා ආලේපන සැපයුම්කරුට නිරවද්ය ත්රිමාණ ප්රවාහ-ක්ෂේත්ර පාලනයක් සහ ගතික භ්රමණ පද්ධති තිබිය යුතුය.
● ආලේපන ඝනත්වය සහ සිදුරු ඉවත් කිරීම
CVD පරාමිතීන් (උෂ්ණත්ව අනුක්රමණ, වායු අනුපාත, පදිංචි කාලය) තදින් පාලනය නොකළහොත්, අන්වීක්ෂීය අල්ෙපෙනති සිදුරු සෑදිය හැක. කාබන් ගැලවී යාම සහ දේශීය විඛාදනය සිදුවන විට මේවා අසාර්ථක ආරම්භක ස්ථාන බවට පත්වේ.
හඳුනාගැනීම:මූලික ඝණකම සහ දෘශ්ය පරීක්ෂාව ප්රමාණවත් නොවේ. සැඟවුණු සිදුරු හඳුනා ගැනීම සඳහා බහු තාප චක්ර හරහා හීලියම් කාන්දු පරීක්ෂණ හෝ අවශේෂ බර අඩු කිරීමේ පරීක්ෂණ භාවිතා කරන්න.
● ඇලවුම් ශක්තිය සහ තාප පීඩන ප්රතිරෝධය
SiC සහ ග්රැෆයිට් තාප ප්රසාරණයේ විවිධ සංගුණක ඇත. ආලේපනයේ අවශේෂ ආතතිය අවම නොකළහොත් හෝ මතුපිට රළු කිරීම/පූර්ව ප්රතිකාර ප්රමාණවත් නොවන්නේ නම්, තාප චක්රය අතරතුර විරූපණය සිදුවිය හැක.
හොඳම පිළිවෙත්:ආලේප කිරීමට පෙර ග්රිට්-බ්ලාස්ට් සහ අතිධ්වනික පිරිසිදු කිරීම සත්යාපනය කරන්න, සහ සැබෑ උදුන චක්රීකරණය සමඟ තාප ආතති විඳදරාගැනීම තහවුරු කරන්න.
පොදු අසාර්ථක ක්රම සහ ඒවායේ ස්ඵටික බලපෑම
| කෲසිබල් අසාර්ථකත්ව මාදිලිය | විය හැකි ප්රතිවිපාක |
|---|---|
| පින්හෝල් → දේශීය කාබන් ගැලවීම | පාලනය නොකළ තැන්පත් වීම → ඉහළ දෝෂ ඝනත්වයන් |
| ආලේපන ඉවත් කිරීම | SiC පියලි දූෂණය → අංශු දෝෂ, පරපෝෂිත න්යෂ්ටිකකරණය |
| අභ්යන්තර බිත්ති තැන්පත් වීම | තාප ආතති සමුච්චය → දේශීය ඉරිතැලීම්, දාර අස්ථි බිඳීම් |
| මතුපිට දුර්වර්ණ වීම / දුඹුරු පැහැ වීම | අතුරු නිෂ්පාදන සමුච්චය → අපිරිසිදු ද්රව්ය ඇතුළත් කිරීම, වර්ණ විචලනය |
නිෂ්පාදනයේදී, කෲසිබල් එක අසමත් වූ පසු, එහි ප්රතිඵලයක් ලෙස ඇතිවන බලපෑම බොහෝ විට ppm කිහිපයක් පමණක් නොව, සම්පූර්ණ කාණ්ඩ අලාභය සහ සති කිහිපයක ධාරිතාව කඩාකප්පල් වීමකි. මෙය ද්රව්යමය ගැටළුවක් පමණක් නොවේ - එය පද්ධති ස්ථායිතා ගැටළුවකි.
පළ කිරීමේ කාලය: ජනවාරි-21-2026