Ⅰ. Nhanganyaya
Zvidimbu zveSilikoni Carbide (Zvidimbu zveSiC)zvinhu zvemhando yepamusoro zveceramic zvinosanganisa hunhu hwakanaka hwesilicon carbide nechimiro chakagadzirwa zvakanaka chine maburi. Kusiyana neSiC ceramics dzakasimba, SiC ine maburi inounza maburi akabatana anopa mamwe mabasa, anosanganisira kuvhurika kwemvura, dhizaini yakareruka, kuputira kupisa, uye kugona kutakura mvura.
Nekugadzikana kwakanaka kwekupisa, kuramba makemikari, uye kuvimbika kwemakanika, zvigadziko zveSiC zvine maburi zvave zvichikosha zvakanyanya mumaindasitiri anodziya zvakanyanya, kunyanya kugadzira zvinhu zve semiconductor, uko nzvimbo dzekushanda dzinoda kuchena kwakanyanya, kuramba ngura, uye kugadzikana kwekushanda kwenguva refu.
Ⅱ. Hunhu hwezvinhu zveSeramiki yeSilicon Carbide ine Porous
1. Kugadzikana Kwekupisa Kwakakwirira
Silicon carbide inozivikanwa nekushanda kwayo kwakanaka kwazvo pasi pekupisa kwakanyanya nekuda kwekubatana kwayo kwakasimba kweSi-C covalent. SiC ine tumaburi inochengetedza chimiro chayo munzvimbo dzinopisa zvakanyanya, zvichiita kuti ive yakakodzera kushandiswa kwe semiconductor thermal processing, epitaxy systems, uye furnace components.
Kuwanda kwayo kwekuwedzera kwekupisa kushoma uye kuramba kwayo kupisa kwakanyanya kunobatsira kuderedza kuchinja kwekushanduka uye kuvandudza kugadzikana kwemaitiro.
2. Kuramba Kwepamusoro Kwemakemikari nePlasma
Kugadzirwa kwemasemiconductor kunosanganisira magasi ane hukasha nenzvimbo dzeplasma, zvinosanganisira magasi ane chlorine, fluorine plasma, uye mhepo dzinoshanda pakupisa kwakanyanya.
Zvidimbu zveSiC zvemaseramiki zvinopa:
- Kudzivirira kwakanaka kwe oxidation
- Kugadzikana kwakanyanya kwemakemikari
- Kudzivirira kukuru kwekuputika kweplasma
- Hunhu hwakaderera hwekusvibiswa
Mabhenefiti aya anobatsira kuderedza kugadzirwa kwezvikamu uye kuwedzera hupenyu hwezvikamu mumidziyo ye semiconductor.
3. Kudzora Kuyerera Kwemvura uye Kupinda Kwemhepo Mugasi
Chinhu chikuru chinobatsira cheSiC ine maburi madiki ndiko kugadzirisika kwemaburi ayo. Nekudzora saizi yemaburi, kupararira kwawo, uye kubatana kwawo, vagadziri vanogona kugadzirisa kuenzana pakati pesimba remakanika uye kupindira kwemvura.
Chinhu ichi chakasiyana chinoita kuti SiC ine maburi ishande se:
- Zvinhu zvekupararira kwegasi
- Zvivako zvekusefa
- Zvikamu zvekutarisira kupisa
Ⅲ. Matekinoroji Ekugadzirisa eSeramiki yeSilicon Carbide ine Porous
Kushanda kweSiC ceramics dzine maburi kunonyanya kuenderana nenzira dzekugadzira uye dhizaini ye microstructure.
Kuderedza Makabhohaidhiretsi
Maitiro aya echinyakare anogadzira SiC ine maburi kuburikidza nekuita kwekupisa kwakanyanya pakati pezvinhu zvine silicon uye masosi ecarbon. Izvi zvinogonesa kuumbwa kwemafuremu eSiC akachena zvakanyanya ane kugadzikana kwakanaka kwekupisa.
Kupisa Kwechikamu Chemvura
Kupisa kwemvura muchikamu chemvura kunoshandisa zvinowedzerwa kuti zvivandudze kubatana kwezvikamu uye kusimba kwezvikamu. Nekugadzirisa tembiricha yekupisa uye kemikari yekuwedzera, vagadziri vanogona kuwana simba remakanika uye kupararira kwemaburi kwakanyatsogadzirwa.
Kupinda kweUtsi hweMakemikari (CVI)
CVI inounza magasi anogadzira zvinhu zvine maburi, uko SiC inosara pamusoro pezvinhu zviri mukati. Nzira iyi inovandudza kusimba kwechivako, kuchena, uye kugara kwenguva refu kwekupisa.
Nzira dzeKufuro uye dzeTemplate
Tekinoroji dzinoshandisa furo uye matemplate dzinogadzira maumbirwo emapango emudumbu nekudzora zvinhu zvinogadzira mapango kana matemplate ezvibayiro. Nzira idzi dzinopa mukana wakanaka wekupenya uye magadzirirwo emapango emudumbu akagadzirwa.
Ⅳ. Mashandisirwo muSemiconductor Manufacturing
Nekuda kwekusanganiswa kwayo kwakasiyana kwehunhu hwekupisa, makemikari, uye chimiro, SiC ceramics dzine maburi dziri kushandiswa zvakanyanya mumabasa e semiconductor.
Zvikamu zvekugovera gasi
Mumasystem eCVD, PECVD, uye ALD, SiC ine maburi inogona kushanda semagasi anoparadzanisa uye maplate ekugovera kuti iwane kuyerera kwegasi kwakafanana uye kuvandudza kugadzikana kwekuisa firimu.
Midziyo Yokugadzirisa Plasma
Mumasystem ekucheka nekuchenesa eplasma, zvikamu zveSiC zvine maburi zvinodzivirira zvakanyanya nharaunda dzeplasma dzinoparadza, zvichideredza kusvibiswa kwezvikamu uye zvinovandudza kuvimbika kwemidziyo.
SiC neGaN Epitaxy Systems
Pakugadzirwa kwema semiconductor echizvarwa chechitatu, SiC ine maburi inobatsira mukuvandudza manejimendi ekupisa uye kugadzikana kwemaitiro munzvimbo dzinokura epitaxial dzinopisa zvakanyanya.
Zvikamu zveKubata Wafer
Machuki eSiC anobuda nepaburiuyezvitsigiso zvewaferinopa kunyatsojeka kwakanyanya, kusvibiswa kwakaderera, uye kuramba makemikari kwakanaka pakuongorora wafer, lithography, uye thermal processing.
Ⅴ. Mhedziso
Zvidimbu zveSilicon Carbide zvine Porouszvinomiririra kushanduka kweZvinhu zveSiCkubva kuzvinhu zvechinyakare zveceramics kuenda kuzvinhu zvinoshanda zve semiconductor. Kuburikidza netekinoroji yepamusoro yekugadzirisa uye kutonga kwakarurama kwechimiro chepore, SiC ine pore inowana chiyero chakanaka pakati pesimba, kupenya, kushanda kwekupisa, uye kugadzikana kwemakemikari.
Sezvo kugadzirwa kwemidziyo yemagetsi (semiconductor) kuri kuramba kuchifambira mberi kusvika pakupisa kwakanyanya uye kudzora kusvibiswa kwakasimba, SiC ceramics dzine maburi dzichaita basa rakakosha mukuwedzera kweMasisitimu eCVD, michina yekugadzirisa plasma, kubata wafer, uye matekinoroji ekugadzira semiconductor echizvarwa chinotevera.
Nguva yekutumira: Chikunguru-31-2026