Tantalkarbidbelagd susceptor för wafer

Kort beskrivning:

VET Energy Tantalkarbidbelagd susceptor för wafer är en högpresterande produkt utformad för att ge konsekvent och pålitlig prestanda över en längre period. Den har supergod värmebeständighet och termisk likformighet, hög renhet och erosionsbeständighet, vilket gör den till den perfekta lösningen för waferbearbetningsapplikationer.


Produktinformation

Produktetiketter

TaC-beläggning är en typ av tantalkarbid (TaC) beläggning framställd genom fysisk ångavsättningsteknik, den har följande egenskaper:

1. Hög hårdhet: TaC-beläggningens hårdhet är hög, kan vanligtvis nå 2500-3000HV, vilket är en utmärkt hård beläggning.

2. Slitstyrka: TaC-beläggningen är mycket slitstark, vilket effektivt kan minska slitage och skador på mekaniska delar under användning.

3. God högtemperaturbeständighet: TaC-beläggningen kan också bibehålla sin utmärkta prestanda i högtemperaturmiljöer.

4. God kemisk stabilitet: TaC-beläggning har god kemisk stabilitet och kan motstå många kemiska reaktioner, såsom syror och baser.

6 (3)
Tantalkarbid CVD-beläggning EPI Susceptor_Semicera (1)

碳化钽涂层物理特性物理特性

Fysiska egenskaper hos TaC beläggning

密度/ Densitet

14,3 (g/cm³)

比辐射率 / Specifik emissivitet

0,3

热膨胀系数 / Termisk expansionskoefficient

6.3 10-6/K

努氏硬度/ Hårdhet (HK)

2000 Hongkong

电阻 / Motstånd

1×10-5 Ohm*cm

热稳定性 / Termisk stabilitet

<2500 ℃

石墨尺寸变化 / Förändringar i grafitstorlek

-10~-20um

涂层厚度 / Beläggningstjocklek

≥20µm typiskt värde (35µm±10µm)

 

Ningbo VET Energy Technology Co., Ltd är ett högteknologiskt företag som fokuserar på produktion och försäljning av avancerade material av högsta kvalitet, material och teknologi som omfattar grafit, kiselkarbid, keramik, ytbehandling och så vidare. Produkterna används i stor utsträckning inom solceller, halvledare, ny energi, metallurgi etc.

Vårt tekniska team kommer från topprankade inhemska forskningsinstitutioner och kan erbjuda dig mer professionella materiallösningar.

Varmt välkommen att besöka vår fabrik, låt oss diskutera det vidare!

研发团队

生产设备

公司客户

 


  • Tidigare:
  • Nästa:

  • WhatsApp onlinechatt!