Kvartswaferbåtär ett viktigt bärarverktyg inom halvledartillverkning, produktion av solceller och avancerad materialforskning och utveckling, utformad för stabil waferöverföring och positionering i högtemperaturprocesser. Denna produkt är tillverkad av ultrahög renhet smält kiseldioxid (SiO2), med utmärkt temperaturbeständighet, kemisk stabilitet och ultralåga metallföroreningsegenskaper, lämplig för diffusionsugnar, oxidationsugnar, PECVD/LPCVD och annan utrustning, och används ofta inom waferbeläggning, jonimplantation, högtemperaturglödgning och andra kärnprocesser.
Kärnfördelarna med VET Energys kvartsbåt:
- Material med ultrahög renhet
Renhet ≥99,99 %: Föroreningshalt (Na, K, Fe, etc.) <5 ppm, vilket undviker waferkontaminering och garanterar chiputbyte.
Låg utfällning och adsorption: ytan är superpolerad (Ra≤0,4 μm) för att minska partikelvidhäftning och gasrester. - Hög temperaturstabilitet
Temperaturgräns: Långvarig arbetstemperatur på 1100 ℃, kortvarig topp på 1300 ℃, ingen deformation, ingen kristallutfällning.
Låg värmeutvidgningskoefficient (5,5x10⁻⁶/℃), utmärkt motståndskraft mot termisk chock, anpassningsbar till snabba temperaturökningar och -fall (t.ex. RTP-snabbglödgning). - Noggrann strukturell design
Spårprecision ±0,1 mm: matchande wafers på 2” till 12” (2” till 12”, avståndslikformighetsfel <0,05 mm, vilket säkerställer att wafers inte har någon förskjutning.
Hög lastkapacitet: Maximal belastning på 50 wafers (i termer av 12-tums wafers) i en enda båt, vilket stöder stabil överföring av tunna wafers (≥100µm). - Kemisk inertitet
Korrosionsbeständighet: Beständig mot syra- (förutom HF-), alkali- och organiska lösningsmedelskorrosion, kompatibel med CMP-rengöringsprocessen.
Utmärkt gastäthet: Läckage <5x10-10 Pa.m3/s, lämplig för vakuum- och skyddande gasmiljöer. - Lång livslängd och underhållbarhet
Livslängd ≥ 5000 cykler (normala arbetsförhållanden), ytan kan rengöras och användas upprepade gånger, vilket minskar den totala kostnaden.
Modulär design: stöder delvis utbyte (t.ex. en enda båttand), vilket minskar stilleståndstiden.
Vi erbjuder både transparenta och frostade ytor enligt kundens krav:
Ningbo VET Energy Technology Co., Ltd är ett högteknologiskt företag som fokuserar på produktion och försäljning av avancerade material av högsta kvalitet. Materialen och tekniken inkluderar grafit, kiselkarbid, keramik, ytbehandling som SiC-beläggning, TaC-beläggning, glasartad kolbeläggning, pyrolytisk kolbeläggning etc. Dessa produkter används ofta inom solceller, halvledare, ny energi, metallurgi etc.
Vårt tekniska team kommer från ledande inhemska forskningsinstitutioner och har utvecklat flera patenterade tekniker för att säkerställa produktens prestanda och kvalitet, och kan också förse kunderna med professionella materiallösningar.
