SiC-belagd

VET ENERGY, ledande tillverkare av CVD SIC-beläggningar i Kina

Material förändrar framtiden

Kiselkarbid (SiC) är ett nytt sammansatt halvledarmaterial. Kiselkarbid har ett stort bandgap (cirka 3 gånger kisel), hög kritisk fältstyrka (cirka 10 gånger kisel) och hög värmeledningsförmåga (cirka 3 gånger kisel). Det är ett viktigt nästa generations halvledarmaterial. SiC-beläggningar används ofta inom halvledarindustrin och solceller. I synnerhet susceptorer som används vid epitaxial tillväxt av lysdioder och Si-enkristallepitaxi kräver användning av SiC-beläggning. På grund av den starka uppåtgående trenden för lysdioder inom belysnings- och displayindustrin och den kraftiga utvecklingen av halvledarindustrin,SiC-beläggningsproduktutsikterna är mycket goda.

ANVÄNDNINGSOMRÅDE

Produktapplikation och prestanda Produktapplikationer och användningsområden

Si-enkristallindustrin, GaN, AlN, safir och andra MOCVD-piedestaler. - Grafitbasbeläggning för epitaxial tillväxt av enkristallkisel

Huvudprestanda: hög renhet, erosionsbeständighet, hög värmeledningsförmåga, - MOCVD-process, grafitbasbeläggning för epitaxiell tillväxt av GaN

hög temperaturbeständighet, låg värmeutvidgningskoefficient.

MOCVD-mottagare

Monokristallina kisel epitaxiella susceptorer

Plasmaetsningsskiva

Solceller

Halvledarindustrin

Solceller

Värmeledningsförmåga	250 W/m² °K	Laserblixtmetod, RT
Termisk expansion (CTE)	4,5 x 10^-6°K	Rumstemperatur till 950 °C, kiseldioxiddilatometer
Egendom	Värde	Metod
Densitet	3,21 g/cc	Sänk-float och dimension
Specifik värme	0,66 J/g °K	Pulserad laserblixt
Böjhållfasthet	450 MPa 560 MPa	4-punktsböj, RT4-punktsböj, 1300°
Brottstyrka	2,94 MPa m³	Mikrointryckning
Hårdhet	2800	Vickers, 500 g belastning
Elasticitetsmodul Youngs modul	450 GPa430 GPa	4-punktsböj, RT4-punktsböj, 1300 °C
Kornstorlek	2–10 µm	SEM

Renhet, SEM-struktur, tjockleksanalys avSiC-beläggning

Renheten hos SiC-beläggningar på grafit med CVD är så hög som 99,9995 %. Dess struktur är fcc. SiC-filmerna belagda på grafit är (111)-orienterade som visas i XRD-data (Fig. 1), vilket indikerar dess höga kristallina kvalitet. Tjockleken på SiC-filmen är mycket jämn, vilket visas i Fig. 2.

SEM-data för CVD SiC-tunnfilm, kristallstorleken är 2~1 Opm

Fig. 2: Tjockleksjämnhet för SiC-filmer

Kristallstrukturen hos CVD SiC-filmen är en ytcentrerad kubisk struktur, och filmens tillväxtorientering är nära 100 %

SEM och XRD av beta-SiC-film på grafit

ENKRISTALLKISEL EPITAXIAL BAS

Produktprestanda och tillämpningsutsikter.

Kiselkarbid (SiC) belagdBasen är den bästa basen för enkristallkisel och GaN-epitaxi, vilket är kärnkomponenten i epitaxiugnen. Basen är ett viktigt produktionstillbehör för monokristallint kisel för stora integrerade kretsar. Den har hög renhet, hög temperaturbeständighet, korrosionsbeständighet, god lufttäthet och andra utmärkta materialegenskaper.

Produktapplikation och användning

Grafitbasbeläggning för epitaxiell tillväxt av enkristallkisel. Lämplig för Aixtron-maskiner etc. Beläggningstjocklek: 90~150 µm. Waferkraterns diameter är 55 mm.

SOLFOTOVOLTAISK

GAupidpelitcubaetiaonnd

grafitdegelbeläggningför enkristallkisel med rakdragningsmetod

industriell produktion av enkristallkisel med straight-pull-metoden,trebladig degelsom högtemperaturlager och enhetliga värmeledningsdelar, flödesrör som avgascirkulationskanalvärmeledningsdelar, flödesrör som avgascirkulationskanal

VÄRMARE, GRAFITPLATTA, GRAFITCYLINDER, GRAFITPLATT OCHANDRA FORMADE DELAR

Produktegenskaper

Hög temperaturbeständighet, korrosionsbeständighet, lång livslängd, kan förbättra waferns kvalitet och utdata. Med mycket låg värmeutvidgningskoefficient, hög temperaturbeständighet, hög slitstyrka, god isolering, god kemisk stabilitet, nästan lila (röd) penetration av synligt ljus utifrån.

Varför välja oss

Professionell utrustning och team

Dammfri verkstad i klass 1000

*mer än 3000 kvadratmeter dammfri verkstad i 1000-klass

*Kooperativt FoU-team från Kinesiska vetenskapsakademin

*Specialiserad produktions- och precisionstestutrustning

*Tillräcklig och högkvalitativ produktionskapacitet

Snabb service

För beställningstider kan vårt professionella säljteam svara på din förfrågan inom 50–100 minuter under arbetstid och inom 12 timmar under stängningstid. Snabba och professionella svar hjälper dig att vinna din kund med det perfekta alternativet till hög effektivitet.

Under orderhanteringsfasen tar vårt professionella serviceteam bilder var 3:e till 5:e dag för att ge dig uppdateringar om produktionen och tillhandahåller dokument inom 36 timmar för att uppdatera leveransförloppet. Vi lägger stor vikt vid service efter köpet.

I eftermarknadsfasen har vårt serviceteam alltid nära kontakt med dig och står alltid till din tjänst. Vår professionella eftermarknadsservice inkluderar till och med att våra tekniker skickas ut för att hjälpa dig att lösa problem på plats. Vår garanti gäller i 12 månader efter leverans.

Förpackningsdetaljer

Ningbo VET Energy Technology Co., Ltd är en professionell tillverkare av grafitdelar, särskilt inom utveckling av nya halvledarmaterial och med fokus på forskning och utveckling av SiC-beläggningar. Företagets huvudprodukter är SiC-belagda susceptorer för LED-industrin och monokristallin kiselindustrin. SiC-filmen som används för LED-industrin och monokristallin kiselindustrin är kubisk, vilket har samma gitterstruktur som diamant, och dess hårdhet är bara så bra som diamant. Kiselkarbid är det mest mogna halvledarmaterialet med brett bandgap och har breda tillämpningsmöjligheter inom halvledarindustrin. Dessutom har kiselkarbid hög värmeledningsförmåga, en liten värmeutvidgningskoefficient, hög temperaturbeständighet (cirka 2700 grader Celsius) och utmärkt korrosionsbeständighet. Företagets kiselkarbidbeläggningsprodukter används också i stor utsträckning inom flyg- och rymdindustrin, solcellsindustrin, kärnkraft, höghastighetståg, fordonsindustrin och andra industrier.

Vanliga frågor

Har ni en minsta orderkvantitet?

Ja, vi kräver att alla internationella beställningar har en löpande minsta orderkvantitet.

Kan du tillhandahålla relevant dokumentation?

Ja, vi kan tillhandahålla det mesta av dokumentationen, inklusive analys-/överensstämmelseintyg, försäkring, ursprung och andra exportdokument där så krävs.

Vad är den genomsnittliga ledtiden?

För prover är ledtiden cirka 7 dagar. För massproduktion är ledtiden 15–25 dagar efter att vi mottagit handpenningen. Ledtiderna träder i kraft när vi har mottagit din handpenning och vi har ditt slutgiltiga godkännande för dina produkter. I samtliga fall kommer vi att försöka tillgodose dina behov. I de flesta fall kan vi göra det.

Vilka typer av betalningsmetoder accepterar ni?

Du kan göra betalningen till vårt bankkonto, Western Union eller PayPal:
30% deposition i förskott, 70% balans före leverans eller mot kopia av B/L.

Vad är produktgarantin?

Vi garanterar våra material och utförande. Vårt engagemang är att du ska vara nöjd med våra produkter. Oavsett om det gäller garanti eller inte, är det vår företagskultur att ta itu med och lösa alla kundproblem till allas belåtenhet.

Garanterar ni säker och trygg leverans av produkter?

Ja, vi använder alltid exportförpackningar av hög kvalitet. Vi använder även specialiserade riskförpackningar för farligt gods och validerade kylförvaringsleverantörer för temperaturkänsliga varor. Specialförpackningar och icke-standardiserade förpackningskrav kan medföra en extra kostnad.

Hur är det med fraktkostnaderna?

Fraktkostnaden beror på vilket sätt du väljer att få varorna. Expressfrakt är normalt det snabbaste men också det dyraste sättet. Sjöfrakt är den bästa lösningen för stora mängder. Exakta fraktpriser kan vi bara ge dig om vi känner till detaljerna om mängd, vikt och fraktsätt. Kontakta oss för mer information.