ตัวรับเคลือบแทนทาลัมคาร์ไบด์สำหรับเวเฟอร์

คำอธิบายสั้น ๆ :

สารรับเคลือบคาร์ไบด์แทนทาลัม VET Energy สำหรับเวเฟอร์เป็นผลิตภัณฑ์ประสิทธิภาพสูงที่ออกแบบมาเพื่อมอบประสิทธิภาพที่สม่ำเสมอและเชื่อถือได้ตลอดระยะเวลาที่ยาวนาน มีคุณสมบัติทนความร้อนและความสม่ำเสมอของความร้อนได้ดีเยี่ยม มีความบริสุทธิ์สูง ทนต่อการสึกกร่อน ทำให้เป็นโซลูชันที่สมบูรณ์แบบสำหรับการใช้งานในการประมวลผลเวเฟอร์


รายละเอียดสินค้า

แท็กสินค้า

การเคลือบ TaC คือการเคลือบแทนทาลัมคาร์ไบด์ (TaC) ชนิดหนึ่งที่เตรียมโดยใช้เทคโนโลยีการสะสมไอทางกายภาพ ซึ่งมีลักษณะดังต่อไปนี้:

1. ความแข็งสูง: ความแข็งของการเคลือบ TaC สูง โดยทั่วไปสามารถไปถึง 2500-3000HV ถือเป็นการเคลือบแข็งที่ยอดเยี่ยม

2. ทนทานต่อการสึกหรอ: การเคลือบ TaC ทนทานต่อการสึกหรอสูงมาก ซึ่งสามารถลดการสึกหรอและความเสียหายของชิ้นส่วนเครื่องจักรระหว่างการใช้งานได้อย่างมีประสิทธิภาพ

3. ทนทานต่ออุณหภูมิสูงได้ดี: การเคลือบ TaC ยังคงประสิทธิภาพที่ยอดเยี่ยมภายใต้สภาพแวดล้อมอุณหภูมิสูงได้อีกด้วย

4. มีความเสถียรทางเคมีที่ดี: สารเคลือบ TaC มีความเสถียรทางเคมีที่ดีและสามารถทนต่อปฏิกิริยาทางเคมีต่างๆ มากมาย เช่น กรดและเบส

6 (3)
แทนทาลัมคาร์ไบด์ CVD เคลือบ EPI Susceptor_Semicera (1)

碳化钽涂层物理特性物理特性

คุณสมบัติทางกายภาพของ แทซี การเคลือบ

密度/ ความหนาแน่น

14.3 (ก./ซม.)

比辐射率 / ค่าการแผ่รังสีจำเพาะ

0.3

热膨胀系数 / ค่าสัมประสิทธิ์การขยายตัวเนื่องจากความร้อน

6.3 10-6/K

努氏硬度/ ความแข็ง (HK)

2000 ฮ่องกง

电阻 / ความต้านทาน

1×10-5 โอห์ม*ซม.

热稳定性 / ความเสถียรทางความร้อน

<2500℃

石墨尺寸变化 / การเปลี่ยนแปลงขนาดกราไฟท์

-10~-20ไมโครเมตร

涂层厚度 / ความหนาของการเคลือบ

ค่าทั่วไป ≥20um (35um±10um)

 

บริษัท Ningbo VET Energy Technology Co., Ltd เป็นองค์กรด้านเทคโนโลยีขั้นสูงที่เน้นการผลิตและการขายวัสดุขั้นสูงระดับไฮเอนด์ วัสดุและเทคโนโลยีครอบคลุมถึงกราไฟท์ ซิลิกอนคาร์ไบด์ เซรามิก การเคลือบพื้นผิว และอื่นๆ ผลิตภัณฑ์เหล่านี้ใช้กันอย่างแพร่หลายในโซลาร์เซลล์ เซมิคอนดักเตอร์ พลังงานใหม่ โลหะวิทยา เป็นต้น

ทีมเทคนิคของเรามาจากสถาบันวิจัยในประเทศชั้นนำ และสามารถมอบโซลูชันวัสดุระดับมืออาชีพให้กับคุณได้

ยินดีต้อนรับคุณเข้าเยี่ยมชมโรงงานของเรา มาพูดคุยกันต่อดีกว่า!

研发团队

生产设备

公司客户

 


  • ก่อนหน้า:
  • ต่อไป:

  • แชทออนไลน์ผ่าน WhatsApp!