DeKvartsugnsrörär centrala förbrukningsvaror inom halvledartillverkning, solcellsindustrin, materialvärmebehandling och laboratorieforskning. De är tillverkade av högren smält kiseldioxid (SiO2) med utmärkt termisk stabilitet, kemisk inertitet och optisk transparens. Denna produkt är konstruerad för högtemperaturprocesser (såsom diffusion, oxidation, CVD, glödgning etc.) och kan anpassas till en mängd olika rörugnar och PECVD-utrustning, som används i stor utsträckning inom waferbearbetning, beläggning av solceller, epitaxiell LED-tillväxt och andra högprecisionsområden.
De viktigaste fördelarna med VET Energy kvartsrör:
-Material med ultrahög renhet
Användning av 99,99 % eller mer kvartsand med hög renhet, föroreningshalt (Na, K, Fe, etc.) <10 ppm, för att undvika kontaminering av känslig processmiljö.
Ytfinish Ra≤0,8 μm, vilket minskar partikelvidhäftning och garanterar beläggningens jämnhet.
-Utmärkt temperaturbeständighet
Långvarig arbetstemperatur: 1200 ℃ (kontinuerlig användning); kortvarig temperaturtopp: 1450 ℃ (≤2 timmar).
Låg värmeutvidgningskoefficient (5,5x10-7/℃), utmärkt termisk chockbeständighet, tål snabba temperaturökningar och -fall (≤10 ℃/min).
-Exakt storlekskontroll
Tolerans för innerdiameter ±0,5 mm, rakhetsfel <1 mm/m, för att säkerställa en god anpassning till ugnskroppen.
Stöd för icke-standardiserad anpassning, innerdiameterintervall 20 mm-500 mm, längd 100 mm-3000 mm.
-Kemisk inertitet och korrosionsbeständighet
Resistent mot starka syror (förutom HF), starka alkalier och de flesta organiska lösningsmedel, vilket förlänger livslängden.
Utmärkt gastäthet, läckagehastighet <<1x10-9Pa.m3/s, lämplig för vakuum- eller skyddande gasmiljö.
-Anpassad service
Stödöppningar, flänsar, flerkanaler, formade strukturer och andra konstruktioner för att uppfylla speciella processkrav.
Kan förbehandlas med kiselkarbid (SiC) för att förbättra kristallisationsmotståndet.
Ningbo VET Energy Technology Co., Ltd är ett högteknologiskt företag som fokuserar på utveckling och produktion av avancerade material av högsta kvalitet. Materialen och tekniken inkluderar grafit, kiselkarbid, keramik, ytbehandling som SiC-beläggning, TaC-beläggning, glasartad kolbeläggning, pyrolytisk kolbeläggning etc. Dessa produkter används ofta inom solceller, halvledare, ny energi, metallurgi etc.
Vårt tekniska team kommer från ledande inhemska forskningsinstitutioner och har utvecklat flera patenterade tekniker för att säkerställa produktens prestanda och kvalitet, och kan också förse kunderna med professionella materiallösningar.
