SiC-belagd grafitsusceptor är en nyckelkomponent som används i olika halvledartillverkningsprocesser. Vi använder vår patenterade teknik för att tillverka susceptorn med extremt hög renhet, god beläggningsjämnhet och utmärkt livslängd, samt hög kemisk resistens och termisk stabilitet.
Funktioner hos våra produkter:
1. Hög temperatur oxidationsbeständighet upp till 1700 ℃.
2. Hög renhet och termisk enhetlighet
3. Utmärkt korrosionsbeständighet: syra, alkali, salt och organiska reagenser.
4. Hög hårdhet, kompakt yta, fina partiklar.
5. Längre livslängd och mer hållbar
| CVD SiC薄膜基本物理性能 Grundläggande fysikaliska egenskaper hos CVD SiCbeläggning | |
| 性质 / Fastighet | 典型数值 / Typiskt värde |
| 晶体结构 / Kristallstruktur | FCC β-fas多晶，主要为（111）取向 |
| 密度 / Densitet | 3,21 g/cm³ |
| 硬度 / Hårdhet | 2500 维氏硬度（500g last） |
| 晶粒大小 / Kornstorlek | 2~10 μm |
| 纯度 / Kemisk renhet | 99,99995 % |
| 热容 / Värmekapacitet | 640 J·kg-1·K-1 |
| 升华温度 / Sublimeringstemperatur | 2700 ℃ |
| 抗弯强度 / Böjhållfasthet | 415 MPa RT 4-punkts |
| 杨氏模量 / Youngs modul | 430 Gpa 4pt böjning, 1300 ℃ |
| 导热系数 / TermajagLedningsförmåga | 300W·m-1·K-1 |
| 热膨胀系数 / Termisk expansion (CTE) | 4,5×10-6K-1 |
VET Energy är den verkliga tillverkaren av kundanpassade grafit- och kiselkarbidprodukter med olika beläggningar som SiC-beläggning, TaC-beläggning, glasartad kolbeläggning, pyrolytisk kolbeläggning etc., och kan leverera en mängd olika kundanpassade delar för halvledar- och solcellsindustrin.
Vårt tekniska team kommer från topprankade inhemska forskningsinstitutioner och kan erbjuda dig mer professionella materiallösningar.
Vi utvecklar kontinuerligt avancerade processer för att tillhandahålla mer avancerade material och har utarbetat en exklusiv patenterad teknik som kan göra bindningen mellan beläggningen och underlaget tätare och mindre benägen att lossna.
Varmt välkommen att besöka vår fabrik, låt oss diskutera det vidare!
