වේෆර් සඳහා ටැන්ටලම් කාබයිඩ් ආලේපිත susceptor

කෙටි විස්තරය:

වේෆර් සඳහා VET බලශක්ති ටැන්ටලම් කාබයිඩ් ආලේපිත සසෙප්ටරය යනු දීර්ඝ කාලයක් පුරා ස්ථාවර සහ විශ්වාසදායක කාර්ය සාධනයක් සැපයීම සඳහා නිර්මාණය කර ඇති ඉහළ කාර්යසාධනයක් සහිත නිෂ්පාදනයකි. එයට සුපිරි හොඳ තාප ප්‍රතිරෝධයක් සහ තාප ඒකාකාරිත්වයක්, ඉහළ සංශුද්ධතාවයක්, ඛාදන ප්‍රතිරෝධයක් ඇති අතර, එය වේෆර් සැකසුම් යෙදුම් සඳහා පරිපූර්ණ විසඳුම බවට පත් කරයි.


නිෂ්පාදන විස්තර

නිෂ්පාදන ටැග්

TaC ආලේපනය යනු භෞතික වාෂ්ප තැන්පත් කිරීමේ තාක්ෂණය භාවිතයෙන් සකස් කරන ලද ටැන්ටලම් කාබයිඩ් (TaC) ආලේපන වර්ගයකි, එයට පහත ලක්ෂණ ඇත:

1. ඉහළ දෘඪතාව: TaC ආලේපන දෘඪතාව ඉහළයි, සාමාන්‍යයෙන් 2500-3000HV දක්වා ළඟා විය හැකිය, එය විශිෂ්ට දෘඪ ආලේපනයකි.

2. ඇඳුම් ප්‍රතිරෝධය: TaC ආලේපනය ඉතා ඇඳුම්-ප්‍රතිරෝධී වන අතර, එමඟින් භාවිතයේදී යාන්ත්‍රික කොටස්වල ඇඳීම් සහ හානි ඵලදායී ලෙස අඩු කළ හැකිය.

3. හොඳ ඉහළ උෂ්ණත්ව ප්‍රතිරෝධයක්: TaC ආලේපනයට ඉහළ උෂ්ණත්ව පරිසරයක් යටතේ එහි විශිෂ්ට ක්‍රියාකාරිත්වය පවත්වා ගත හැකිය.

4. හොඳ රසායනික ස්ථායිතාව: TaC ආලේපනය හොඳ රසායනික ස්ථායිතාවයක් ඇති අතර අම්ල සහ භෂ්ම වැනි බොහෝ රසායනික ප්‍රතික්‍රියා වලට ප්‍රතිරෝධය දැක්විය හැකිය.

6 (3)
ටැන්ටලම් කාබයිඩ් CVD ආලේපන EPI Susceptor_Semicera (1)

碳化钽涂层物理特性物理特性

භෞතික ගුණාංග ටැක් ආලේපනය

密度/ ඝනත්වය

14.3 (ග්‍රෑම්/සෙ.මී.³)

比辐射率 / නිශ්චිත විමෝචනය

0.3

热膨胀系数 / තාප ප්‍රසාරණ සංගුණකය

6.3 10-6/K

努氏硬度/ දෘඪතාව (HK)

හොංකොං 2000

电阻 / ප්‍රතිරෝධය

1 × 10 1 × 10-5 ඕම්*සෙමී

热稳定性 / තාප ස්ථායිතාව

<2500℃

石墨尺寸变化 / මිනිරන් ප්‍රමාණයේ වෙනස්කම්

-10~-20මි

涂层厚度 / ආලේපන ඝණකම

≥20um සාමාන්‍ය අගය (35um±10um)

 

Ningbo VET Energy Technology Co., Ltd යනු උසස් තත්ත්වයේ උසස් ද්‍රව්‍ය නිෂ්පාදනය සහ අලෙවිය, ග්‍රැෆයිට්, සිලිකන් කාබයිඩ්, පිඟන් මැටි, මතුපිට ප්‍රතිකාර යනාදිය ආවරණය කරන ද්‍රව්‍ය සහ තාක්ෂණය කෙරෙහි අවධානය යොමු කරන අධි තාක්‍ෂණික ව්‍යවසායයකි.නිෂ්පාදන ප්‍රකාශ වෝල්ටීයතා, අර්ධ සන්නායක, නව ශක්තිය, ලෝහ විද්‍යාව ආදියෙහි බහුලව භාවිතා වේ.

අපගේ තාක්ෂණික කණ්ඩායම ඉහළම දේශීය පර්යේෂණ ආයතනවලින් පැමිණෙන අතර, ඔබට වඩාත් වෘත්තීය ද්‍රව්‍යමය විසඳුම් ලබා දිය හැකිය.

අපගේ කර්මාන්ත ශාලාව නැරඹීමට ඔබව සාදරයෙන් පිළිගනිමු, අපි තවදුරටත් සාකච්ඡා කරමු!

研发团队

生产设备

公司客户

 


  • පෙර:
  • ඊළඟ:

  • WhatsApp මාර්ගගත කතාබස්!