يۇقىرى ساپلىقتىكى گرافىت سېپتورلىرىغا ئائىت ئومۇميۈزلۈك قوللانما

زامانىۋى يېرىم ئۆتكۈزگۈچ ئۈسكۈنىلەرنى ياساش ۋە ئۈچىنچى ئەۋلاد بىرىكمە يېرىم ئۆتكۈزگۈچ ئىشلەپچىقىرىشتا (مەسىلەن، كرېمنىي كاربىد [SiC] ۋە گاللىي نىترىد [GaN])، كەسىپ مۇنازىرىلىرى كۆپىنچە ئۇلترا ئىلغار EUV لىتوگرافىيە ماشىنىلىرى، پلازما ئويۇش ماشىنىلىرى ياكى ئالدىنقى گاز ساپلىقى ئەتراپىدا بولىدۇ. قانداقلا بولمىسۇن، رېئاكسىيە كامېراسىنىڭ ئۇلترا پاكىز، يۇقىرى دەرىجىدە چىرىشچان ۋە يۇقىرى تېمپېراتۇرىلىق مۇھىتى ئىچىدە مۇھىم بىر نامسىز قەھرىمان بار: گرافىت تۇتقۇچ.

1. گرافىك سۈمۈرگۈچ دېگەن نېمە؟

A گرافىت سۇسسېپتورىيۇقىرى ساپلىقتىكى ئىزو قېلىپلانغان ياكى سىقىپ چىقىرىلغان گرافىتتىن ياسالغان، ئېنىقلىق بىلەن لايىھەلەنگەن ئىقتىدارلىق توشۇغۇچى زاپچاس بولۇپ، كۆپىنچە دىسكا شەكلىدىكى، جىبىلىك ياكى خاسلاشتۇرۇلغان شەكىلدە بولىدۇ.ئۈچ ئۆلچەملىك گېئومېتىرىيەلەر مەلۇم رېئاكسىيە كامېرالىرىغا ماس كېلىدۇ.

خىمىيىلىك پارغا چۆكمە قىلىش (CVD)، مېتال-ئورگانىك خىمىيىلىك پارغا چۆكمە قىلىش (MOCVD) ۋە تېز ئىسسىقلىق بىر تەرەپ قىلىش (RTP) رېئاكتورى قاتارلىق ئۈسكۈنىلەردە، توشۇغۇچى سۇپىنىڭ ئاساسلىق رولى يېرىم ئۆتكۈزگۈچ ۋافېرلارنى بىخەتەر تۇتۇپ، ئاساسلىق ئىسسىقلىق ئالماشتۇرغۇچ رولىنى ئوينايدۇ. گرافىت سۇپتېر ئىندۇكسىيەلىك قىزىتىش مېخانىزمىدىن پايدىلىنىپ، بۇ تەركىب رادىئو چاستوتا (RF) ياكى مىكرو دولقۇنلۇق ئېلېكترو ماگنىت ئېنېرگىيەسىنى تېز سۈمۈرۈۋېلىپ، ئۇنى بىردەك ئىسسىقلىق ئېنېرگىيەسىگە ئايلاندۇرۇپ، ۋافېر يۈزىدە مىللىسېكۇند دەرىجىلىك ئېنىقلىقتىكى ئىسسىقلىق كونترول قىلىشنى ئاسانلاشتۇرىدۇ.

2. ماتېرىيال تەركىبى ۋە مىكرو قۇرۇلما: نېمە ئۈچۈن ئىزوستاتىك گرافىت + CVD SiC قاپلىمىسىنى ئىشلىتىش كېرەك؟

قاپلانمىغان خام گرافىت يېرىم ئۆتكۈزگۈچ ئىشلەپچىقىرىشتىكى ئاكتىپ خىمىيىلىك ئاتموسفېرا ۋە قاتتىق پاكىزلىق تەلىپىگە بەرداشلىق بېرەلمەيدۇ. زامانىۋى يۇقىرى ئىقتىدارلىق گرافىت توسۇش ئۈسكۈنىلىرى ئالاھىدە قوش قەۋەتلىك بىرىكمە سىستېمىنى ئىشلىتىدۇ:

(1) يۇقىرى ساپلىقتىكى ئىزوستاتىك گرافىت ئاساسى

يادرولۇق ئاساسىي قەۋەت ئىزوستاتىك سىقىلغان گرافىت ئارقىلىق ئىشلەپچىقىرىلىدۇ. گرافىت مىكرو كرىستاللىق ماسلىشىشنى ئەلالاشتۇرۇش ئارقىلىق، ئۇ ئىزوتروپ فىزىكىلىق خۇسۇسىيەت، تۆۋەن تۆشۈكلۈك ۋە يۇقىرى مېخانىكىلىق ئېگىلىش كۈچىگە ئېرىشىپ، مۇرەككەپ ۋافېر جىبى گېئومېتىرىيەسىنى مىكرو ئىشلەش ئۈچۈن ئەڭ ياخشى ئاساس بىلەن تەمىنلەيدۇ.

(2) CVD كرېمنىي كاربىد (SiC) قوغداش قەۋىتى

خىمىيىلىك پارغا چۆكۈش ئۇسۇلى ئارقىلىق، گرافىت ئاساسىنىڭ ئۈستىگە يۇقىرى زىچلىقتىكى كۆپ كرىستاللىق B-SiC قەۋىتى (ئادەتتە قېلىنلىقى 10 دىن 100 um غىچە، ساپلىقى %99.999) ئۆستۈرۈلىدۇ. بۇ قەۋەت گرافىت يۈزىدىكى مىكرو تۆشۈكلەرنى تولۇق پېچەتلەيدۇ، زەررىچىلەرنىڭ تۆكۈلۈشىنىڭ ئالدىنى ئالىدۇ ھەمدە HCI، NH3 ۋە فتورلۇق بىرىكمىلەر قاتارلىق چىرىش گازلىرىغا قارشى ئۆتمەس توساق بىلەن تەمىنلەيدۇ.

3. ئاساسلىق فىزىكىلىق خۇسۇسىيەتلەر ۋە ماتېرىيال ئۆلچەملىرى

قاتتىق تەجرىبىخانا سىنىقى ۋە جەزملەشتۈرۈلگەن كەسىپ ئۆلچەملىرىگە ئاساسلانغاندا، يۇقىرى ساپلىق بىلەن قاپلانغان گرافىت سېپتورلىرى تۆۋەندىكى مۇھىم فىزىكىلىق پارامېتىرلارنى نامايان قىلىدۇ:

ئاساسلىق ئىنژېنېرلىق ئەۋزەللىكلىرى:

1. يۇقىرى دەرىجىلىك ئىسسىقلىق سوقۇلۇشقا قارشى تۇرۇش: يېرىلىش ياكى قېپىنىڭ يېرىلىشىغا يول قويماي، ئۈزلۈكسىز تېز قىزىتىش ۋە سوۋۇتۇش دەۋرىيلىكىگە (1500 سېلسىيە گرادۇستىن يۇقىرى) بەرداشلىق بېرەلەيدۇ.

2. خىمىيىلىك ئىنېرتلىقH2، NH3، سىلان گازلىرى ۋە قاتتىق خىمىيىلىك تازىلاش دورىلىرىنىڭ پارچىلىنىشىغا تولۇق چىداملىق.

3. ئىسسىقلىق كېڭىيىش كوئېففىتسېنتى (CTE) ماسلىشىشىVET Energy شىركىتىنىڭ ئۆزىگە خاس SiC چۆكمە جەريانى SiC قاپلىمىسىنىڭ ئىسسىقلىق كېڭىيىش خاراكتېرىنى گرافىت يادروسى بىلەن ماسلاشتۇرۇپ، يۇقىرى تېمپېراتۇرىدا قاپلامنىڭ سۇنۇپ كېتىشىنىڭ ئالدىنى ئالىدۇ.

4. يېرىم ئۆتكۈزگۈچ پىششىقلاپ ئىشلەشتىكى رولى ۋە قوللىنىشچانلىقى

يۇقىرى ئىشەنچلىك گرافىت توسۇش سېپتورلىرى بىر قانچە مۇھىم يېرىم ئۆتكۈزگۈچ ئىشلەپچىقىرىش باسقۇچلىرىدا ئاساسىي ئىقتىدارلاشتۇرغۇچى زاپچاسلار رولىنى ئوينايدۇ:

(1) يۈرەك-قان تومۇر كېسەللىكلىرى ۋە MOCVD ئېپىتاكسىيال ئۆسۈش (Epi)

GaN LED ئىشلەپچىقىرىش، SiC توك ئۈسكۈنىسى ئېپىتاكسىيەسى ۋە كرېمنىي ۋافېر ئېپى ئۆسۈشىدە، پەردە قېلىنلىقى ۋە قوشۇلما بىردەكلىكى ئىسسىقلىق مەيدانىنىڭ بىردەكلىكىگە زور دەرىجىدە باغلىق. گرافىت سېپتورلىرى ئايلىنىش جەريانىدا ئىسسىقلىقنى يەككە ياكى كۆپ ۋافېر سەپلىمىسىگە تەكشى تارقىتىپ، ئىسسىقلىق بېسىمى كەلتۈرۈپ چىقارغان ۋافېرنىڭ ئېگىلىپ كېتىشى ياكى سىيرىلىپ چۈشۈش سىزىقلىرىنى باستۇرىدۇ.

(2) يەككە كىرىستال ئۆستۈرۈش (PVT ئۇسۇلى)

كرېمنىي كاربىد (SiC) ۋە ياقۇت كىرىستاللىرىنىڭ فىزىكىلىق پار توشۇش (PVT) ئارقىلىق ئۆسۈشى جەريانىدا، سۇسسېپتور ئىسسىقلىق رايونى گرادىيېنتىنى بەلگىلەپ، يەككە كىرىستاللىق قۇيما شەكىللىنىشىگە بىۋاسىتە يېتەكچىلىك قىلىدۇ ۋە چىقىش زىچلىقىنى تۆۋەنلىتىدۇ.

(3) تېز ئىسسىقلىق بىر تەرەپ قىلىش (RTP) ۋە قىزىتىش

بۇ سۇپا ئۈنۈملۈك گرافىت سۇسسېپتور ئىندۇكسىيەلىك قىزىتىش ئۇسۇلىدىن پايدىلىنىپ، ئىمپىلانتاتسىيەدىن كېيىنكى تورنى قىزىتىش ۋە تۇتاشتۇرۇش ھاسىل قىلىش ئۈچۈن زۆرۈر بولغان ئىنتايىن تېز ئىسسىقلىق ئىنكاس ۋاقتىنى تەمىنلەيدۇ.

5. نېمە ئۈچۈن VET ئېنېرگىيە شىركىتىنى تاللايسىز؟

تەمىنلەش زەنجىرىنىڭ چىدامچانلىقى، ئىنتايىن ساپلىقى ۋە ئۇزۇن مۇددەتلىك خىزمەت مۇددىتى قاتارلىق قاتتىق تەلەپلەر بىلەن،VET ئېنېرگىيەسىئىشەنچلىك دۇنياۋى قۇرۇلۇش ھەمراھى سۈپىتىدە كۆزگە كۆرۈنەرلىك:

1. ئېنىق مىكرو پىششىقلاشكۆپ ئوقلۇق CNC پىششىقلاپ ئىشلەش مەركەزلىرى مىكرومېتىر دەرىجىسىگىچە بولغان چىدامچانلىق بىلەن مۇرەككەپ ۋافېر خالتىلىرى، مىكرو ئويۇقلار ۋە خاسلاشتۇرۇلغان ئايرودىنامىك گاز قاناللىرىنى قۇرۇشقا شارائىت ھازىرلايدۇ.

2. ئىلغار زىچ CVD SiC چۆكمىسىبىزنىڭ خاس CVD جەريانىمىز يۇقىرى زىچلىقتىكى، ئەينەككە ئوخشاش پارقىراق SiC قاپلىمىلىرىنى ھاسىل قىلىپ، ئىسسىقلىق دەۋرىيلىكىنىڭ ئىشلىتىش ئۆمرىنى %30 تىن ئارتۇق ئۇزارتىدۇ.

3. ئىنتايىن پاكىز بىر تەرەپ قىلىش مۇھىتىتولۇق تازىلاش ۋە پاكىز ئۆيدە بىر تەرەپ قىلىش ئومۇمىي كۈل مىقدارىنىڭ 5 ppm دىن تۆۋەن بولۇشىغا كاپالەتلىك قىلىدۇ، بۇ قاتتىق OEM يېرىم ئۆتكۈزگۈچنى قاندۇرىدۇ.Fab ئۆلچەملىرى.

4. ئىگىدارچىلىقنىڭ ئەڭ ياخشى تەننەرخى (CoO)VET Energy شىركىتى رىقابەت كۈچىگە ئىگە باھا-ئىقتىدار نىسبىتى بىلەن بىرگە، تېز سۈرئەتتە يېتىشتۈرۈش ۋاقتىنى تەمىنلەيدۇ، بۇ چىپ ئىشلەپچىقارغۇچىلارنىڭ ئىستېمال چىقىمىنى ئازايتىشىغا ياردەم بېرىدۇ.