זונ פאָטאָוואָלטאַיק מאַכט דזשענעריישאַן איז געוואָרן די וועלט 'ס מערסט פּראַמאַסינג נייַ ענערגיע אינדוסטריע. קאַמפּערד מיט פּאָליסיליקאָן און אַמאָרפֿאַס סיליקאָן זונ סעלז, מאָנאָקריסטאַלינע סיליקאָן, ווי אַ פאָטאָוואָלטאַיק מאַכט דזשענעריישאַן מאַטעריאַל, האט אַ הויך פאָטאָעלעקטריק קאַנווערזשאַן עפעקטיווקייַט און בוילעט געשעפט אַדוואַנידזשיז, און איז געוואָרן דער הויפּטשטראָם פון זונ פאָטאָוואָלטאַיק מאַכט דזשענעריישאַן. טשראָלסקי (CZ) איז איינער פון די הויפּט מעטהאָדס צו צוגרייטן מאָנאָקריסטאַלינע סיליקאָן. די זאַץ פון טשראָלסקי מאָנאָקריסטאַלינע אויוון כולל אויוון סיסטעם, וואַקוום סיסטעם, גאַז סיסטעם, טערמיש פעלד סיסטעם און עלעקטרישע קאָנטראָל סיסטעם. די טערמיש פעלד סיסטעם איז איינער פון די מערסט וויכטיק באדינגונגען פֿאַר די וווּקס פון מאָנאָקריסטאַלינע סיליקאָן, און די קוואַליטעט פון מאָנאָקריסטאַלינע סיליקאָן איז גלייַך אַפעקטאַד דורך די טעמפּעראַטור גראַדיענט פאַרשפּרייטונג פון די טערמיש פעלד.
די טערמישע פעלד קאמפאנענטן זענען מערסטנס צוזאמענגעשטעלט פון קוילן מאַטעריאַלן (גראַפיט מאַטעריאַלן און קוילן/קוילן קאָמפּאָזיט מאַטעריאַלן), וואָס זענען צעטיילט אין שטיצ טיילן, פונקציאָנעלע טיילן, הייצונג עלעמענטן, פּראַטעקטיוו טיילן, טערמישע איזאָלאַציע מאַטעריאַלן, אאז"וו, לויט זייערע פונקציעס, ווי געוויזן אין פיגור 1. ווי די גרייס פון מאָנאָקריסטאַלינע סיליקאָן ווייטער צו וואַקסן, די גרייס באדערפענישן פֿאַר טערמישע פעלד קאמפאנענטן אויך וואַקסן. קוילן/קוילן קאָמפּאָזיט מאַטעריאַלן ווערן די ערשטע ברירה פֿאַר טערמישע פעלד מאַטעריאַלן פֿאַר מאָנאָקריסטאַלינע סיליקאָן צוליב זייער דימענשאַנאַל פעסטקייט און ויסגעצייכנטע מעכאַנישע אייגנשאַפטן.
אין דעם פּראָצעס פון טשאָקראַלישאַן מאָנאָקריסטאַלינע סיליקאָן, וועט די צעשמעלצונג פון סיליקאָן מאַטעריאַל פּראָדוצירן סיליקאָן פארע און געשמאָלצן סיליקאָן שפּריץ, וואָס רעזולטירט אין דער סיליסיפיקאַציע עראָוזיע פון טשאַד/טשאַד טערמאַל פעלד מאַטעריאַלן, און די מעכאַנישע אייגנשאַפטן און סערוויס לעבן פון טשאַד/טשאַד טערמאַל פעלד מאַטעריאַלן ווערן ערנסט אַפעקטירט. דעריבער, ווי צו רעדוצירן די סיליסיפיקאַציע עראָוזיע פון טשאַד/טשאַד טערמאַל פעלד מאַטעריאַלן און פֿאַרבעסערן זייער סערוויס לעבן איז געוואָרן איינע פון די געוויינטלעכע זאָרגן פון מאָנאָקריסטאַלינע סיליקאָן פאַבריקאַנטן און טשאַד/טשאַד טערמאַל פעלד מאַטעריאַל פאַבריקאַנטן.סיליקאָן קאַרבייד קאָוטינגאיז געוואָרן די ערשטע ברירה פֿאַר ייבערפלאַך קאָוטינג שוץ פון טשאַד/טשאַד טערמאַל פעלד מאַטעריאַלס רעכט צו זיין ויסגעצייכנט טערמאַל קלאַפּ קעגנשטעל און טראָגן קעגנשטעל.
אין דעם פאפיר, אנהייבנדיג פון קוילן/קוילן טערמישע פעלד מאטעריאלן גענוצט אין מאנאקריסטאלינע סיליקאן פראדוקציע, ווערן די הויפט צוגרייטונג מעטאדן, מעלות און חסרונות פון סיליקאן קארבייד באדעקונג איינגעפירט. אויף דעם באזיס, ווערט איבערגעקוקט די אנווענדונג און פארשונג פארשריט פון סיליקאן קארבייד באדעקונג אין קוילן/קוילן טערמישע פעלד מאטעריאלן לויט די אייגנשאפטן פון קוילן/קוילן טערמישע פעלד מאטעריאלן, און פֿאָרשלאָגן און אַנטוויקלונג אינסטרוקציעס פֿאַר ייבערפלאַך באדעקונג שוץ פון קוילן/קוילן טערמישע פעלד מאטעריאלן ווערן פֿאָרגעשטעלט.
1 צוגרייטונג טעכנאָלאָגיע פוןסיליקאָן קאַרבייד קאָוטינג
1.1 איינבעטונג מעטאָדע
די איינבעטונג מעטאָדע ווערט אָפט גענוצט צו צוגרייטן די אינעווייניקסטע באַדעקונג פון סיליקאָן קאַרבייד אין C/C-סיק קאָמפּאָזיט מאַטעריאַל סיסטעם. די מעטאָדע ניצט ערשט געמישט פּודער צו איינוויקלען דעם טשאַד/טשאַד קאָמפּאָזיט מאַטעריאַל, און דערנאָך פירט אויס היץ באַהאַנדלונג ביי אַ געוויסער טעמפּעראַטור. אַ סעריע פון קאָמפּלעקסע פיזיקאָ-כעמישע רעאַקציעס פּאַסירן צווישן דעם געמישטן פּודער און דער ייבערפלאַך פון דער מוסטער צו פאָרמירן די באַדעקונג. איר מייַלע איז אַז דער פּראָצעס איז פּשוט, בלויז אַן איינציקער פּראָצעס קען צוגרייטן געדיכטע, ריס-פֿרייע מאַטריץ קאָמפּאָזיט מאַטעריאַלן; קליינע גרייס ענדערונג פון פּרעפאָרם צו לעצט פּראָדוקט; פּאַסיק פֿאַר יעדער פיברע ריינפאָרסט סטרוקטור; אַ געוויסער קאָמפּאָזיציע גראַדיענט קען ווערן געפאָרמט צווישן דער באַדעקונג און דעם סאַבסטראַט, וואָס איז גוט קאַמביינד מיט דעם סאַבסטראַט. אָבער, עס זענען אויך חסרונות, אַזאַ ווי די כעמישע רעאַקציע ביי הויך טעמפּעראַטור, וואָס קען שעדיקן די פיברע, און די מעכאַנישע אייגנשאַפֿטן פון טשאַד/טשאַד מאַטריץ פאַלן. די יוניפאָרמאַטי פון דער באַדעקונג איז שווער צו קאָנטראָלירן, רעכט צו סיבות אַזאַ ווי גראַוויטאַציע, וואָס מאכט די באַדעקונג אומגלייך.
1.2 סלערי קאָוטינג מעטאָד
די סלערי קאָוטינג מעטאָדע איז צו מישן דעם קאָוטינג מאַטעריאַל און בינדער אין אַ געמיש, גלייך באַרשט אויף דער ייבערפלאַך פון דער מאַטריץ, נאָך טריקענען אין אַן ינערט אַטמאָספער, די קאָוטאַד ספּעסאַמאַן איז סינטערד ביי הויך טעמפּעראַטור, און די פארלאנגט קאָוטינג קען זיין באקומען. די אַדוואַנידזשיז זענען אַז דער פּראָצעס איז פּשוט און גרינג צו אַרבעטן, און די קאָוטינג גרעב איז גרינג צו קאָנטראָלירן; דער חסרון איז אַז עס איז שלעכט באַנדינג שטאַרקייַט צווישן די קאָוטינג און די סאַבסטראַט, און די טערמאַל שאָק קעגנשטעל פון די קאָוטינג איז שלעכט, און די יוניפאָרמאַטי פון די קאָוטינג איז נידעריק.
1.3 כעמישע פארע רעאקציע מעטאד
כעמישע פארע רעאקציע (CVR) מעטאד איז א פראצעס מעטאד וואס פארדאַמפּט פעסט סיליקאָן מאַטעריאַל אין סיליקאָן פארע ביי א געוויסער טעמפּעראַטור, און דערנאָך דיפיוזירט דער סיליקאָן פארע אין די אינעווייניקסטע און ייבערפלאַך פון דער מאַטריץ, און רעאַגירט אין סיטו מיט טשאַד אין דער מאַטריץ צו פּראָדוצירן סיליקאָן קאַרבייד. זיינע מעלות אַרייַננעמען די גלייכמעסיקע אַטמאָספער אין די אויוון, קאָנסיסטענט רעאַקציע קורס און דעפּאַזישאַן גרעב פון באדעקט מאַטעריאַל אומעטום; דער פּראָצעס איז פּשוט און גרינג צו אַרבעטן, און די קאָוטינג גרעב קען זיין קאַנטראָולד דורך טשאַנגינג די סיליקאָן פארע דרוק, דעפּאַזישאַן צייט און אנדערע פּאַראַמעטערס. דער חסרון איז אַז די מוסטער איז שטאַרק אַפעקטאַד דורך די שטעלע אין די אויוון, און דער סיליקאָן פארע דרוק אין די אויוון קען נישט דערגרייכן די טעאָרעטישע גלייכמעסיקייט, ריזאַלטינג אין אומגלייכע קאָוטינג גרעב.
1.4 כעמישע פארע דעפאזיציע מעטאד
כעמישע פארע דעפאזיציע (CVD) איז א פראצעס אין וועלכן כיידראקארבאנן ווערן גענוצט אלס גאז מקור און הויך ריינקייט N2/Ar אלס טרעגער גאז צו אריינפירן געמישטע גאזן אין א כעמישן פארע רעאקטאר, און די כיידראקארבאנן ווערן דעקאמפאזירט, סינטעזירט, דיפיוזד, אדסארבירט און אויפגעלייזט אונטער א געוויסע טעמפעראטור און דרוק צו פארמירן הארטע פילמען אויף דער ייבערפלאך פון קוילן/קוילן קאמפאזיט מאטעריאלן. איר מעלה איז אז די געדיכטקייט און ריינקייט פון דער באַדעקונג קען קאנטראלירט ווערן; עס איז אויך פאסיג פאר ארבעטס-שטיק מיט א מער קאמפליצירטע פארעם; די קריסטאל סטרוקטור און ייבערפלאך מארפאלאגיע פון דעם פראדוקט קען קאנטראלירט ווערן דורך צופאסן די דעפאזיציע פאראמעטערס. די חסרונות זענען אז די דעפאזיציע ראטע איז צו נידעריג, דער פראצעס איז קאמפליצירט, די פראדוקציע קאסטן זענען הויך, און עס קענען זיין באַדעקונג חסרונות, ווי ריסן, מעש חסרונות און ייבערפלאך חסרונות.
אין קורצן, די איינבעטונג מעטאָדע איז באַגרענעצט צו אירע טעכנאָלאָגישע כאַראַקטעריסטיקס, וואָס איז פּאַסיק פֿאַר דער אַנטוויקלונג און פּראָדוקציע פון לאַבאָראַטאָריע און קליינע מאַטעריאַלן; די קאָוטינג מעטאָדע איז נישט פּאַסיק פֿאַר מאַסע פּראָדוקציע צוליב איר שלעכטער קאָנסיסטענץ. די CVR מעטאָדע קען מקיים זיין די מאַסע פּראָדוקציע פון גרויסע פּראָדוקטן, אָבער עס האט העכערע באדערפענישן פֿאַר ויסריכט און טעכנאָלאָגיע. די CVD מעטאָדע איז אַן אידעאַלער מעטאָדע פֿאַר צוגרייטן.סיק קאָוטינג, אבער איר קאסט איז העכער ווי די CVR מעטאד צוליב איר שוועריקייט אין פראצעס קאנטראל.
פּאָסט צייט: 22סטן פעברואַר 2024