Ike mmepụta ike anyanwụ na-agbanwe agbanwe aghọwo ụlọ ọrụ ike ọhụrụ kachasị mma n'ụwa. Ma e jiri ya tụnyere polysilicon na mkpụrụ ndụ anyanwụ silicon amorphous, monocrystalline silicon, dị ka ihe eji emepụta ike fotovoltaic, nwere arụmọrụ mgbanwe fotoelectric dị elu na uru azụmahịa pụrụ iche, ọ ghọwokwa isi ihe na-eme ka ike anyanwụ na-agbanwe ike fotovoltaic. Czochralski (CZ) bụ otu n'ime ụzọ isi kwadebe silicon monocrystalline. Ihe mejupụtara Czochralski monocrystalline furnace gụnyere sistemụ ọkụ, sistemụ vacuum, sistemu gas, sistemu ọkụ na sistemu njikwa eletriki. Sistemu ọkụ bụ otu n'ime ọnọdụ kachasị mkpa maka uto nke silicon monocrystalline, na ịdị mma nke silicon monocrystalline na-emetụta ozugbo site na nkesa okpomọkụ nke ubi okpomọkụ.
Ihe mejupụtara ihe ndị dị n'ime ... a bụ ihe e ji carbon (ihe ndị e ji graphite mee na ihe ndị e ji carbon/carbon mee), nke kewara n'ime akụkụ nkwado, akụkụ ọrụ, ihe ndị na-ekpo ọkụ, akụkụ nchebe, ihe ndị e ji ekpuchi okpomọkụ, wdg, dịka ọrụ ha si dị, dịka egosiri na Foto 1. Ka nha nke ihe ndị dị n'ime ihe ndị dị n'ime ihe ndị dị n'ime ihe ndị dị n'ime ihe ndị dị n'ime ihe ndị dị n'ime ihe ndị dị n'ime ihe ndị dị
N'ime usoro nke czochralcian monocrystalline silicon, agbaze nke ihe silicon ga-emepụta uzuoku silicon na mmiri silikọn agbaze, nke na-ebute mmebi silicification nke ihe carbon/carbon thermal field, na njirimara igwe na ndụ ọrụ nke ihe carbon/carbon thermal field field na-emetụta nke ukwuu. Ya mere, otu esi ebelata mmebi silicification nke ihe carbon/carbon thermal field ma melite ndụ ọrụ ha abụrụla otu n'ime nchegbu ndị na-emepụta silicon monocrystalline na ndị na-emepụta ihe carbon/carbon thermal field.Mkpuchi silicon carbideaghọọla nhọrọ mbụ maka nchekwa mkpuchi elu nke ihe ndị dị n'ime ikuku carbon/carbon n'ihi oke iguzogide oke okpomọkụ na iguzogide iyi.
N'akwụkwọ a, site na ihe ndị e ji eme ka carbon/carbon thermal field field eji eme ihe na mmepụta silikoni monocrystalline, a na-ewebata ụzọ nkwadebe, uru na ọghọm nke mkpuchi silikoni carbide. N'ihi nke a, a na-enyocha ngwa na ọganihu nyocha nke mkpuchi silikoni carbide na ihe ndị e ji eme ka carbon/carbon thermal field field dịka njirimara nke ihe ndị e ji eme ka carbon/carbon thermal field si dị, a na-etinyekwa aro na ntuziaka mmepe maka nchedo mkpuchi elu nke ihe ndị e ji eme ka carbon/carbon thermal field field.
1 Teknụzụ nkwadebe nkemkpuchi silicon carbide
1.1 Usoro itinye
A na-ejikarị usoro itinye ihe eme ihe iji kwadebe mkpuchi ime nke silicon carbide na sistemụ ihe mejupụtara C/C-sic. Usoro a na-ebu ụzọ jiri ntụ ntụ agwakọtara agwakọta kechie ihe mejupụtara carbon/carbon, wee mee ọgwụgwọ okpomọkụ na okpomọkụ ụfọdụ. Usoro mmeghachi omume physico-chemical dị mgbagwoju anya na-eme n'etiti ntụ ntụ agwakọtara na elu nke ihe nlele ahụ iji mepụta mkpuchi ahụ. Uru ya bụ na usoro ahụ dị mfe, naanị otu usoro nwere ike ịkwadebe ihe mejupụtara matrix dị oke, nke na-enweghị mgbawa; Mgbanwe obere nha site na preform ruo na ngwaahịa ikpeazụ; Dabara adaba maka usoro eriri ọ bụla agbakwunyere; Enwere ike ịmepụta gradient nhazi ụfọdụ n'etiti mkpuchi ahụ na substrate, nke ejikọtara ya nke ọma na substrate ahụ. Agbanyeghị, enwerekwa ọghọm, dị ka mmeghachi omume kemịkalụ na okpomọkụ dị elu, nke nwere ike imebi eriri ahụ, na njirimara mechanical nke carbon/carbon matrix na-ebelata. Nha nha nke mkpuchi ahụ siri ike ijikwa, n'ihi ihe ndị dị ka ike ndọda, nke na-eme ka mkpuchi ahụ ghara ịdị nhata.
1.2 Usoro mkpuchi slurry
Usoro mkpuchi slurry bụ ịgwakọta ihe mkpuchi na ihe njikọta n'ime ngwakọta, jiri aka hichaa ya nke ọma n'elu matrix ahụ, mgbe ọ kpọnwụrụ n'ime ikuku na-adịghị arụ ọrụ, a na-ete ihe nlele mkpuchi ahụ n'ọkụ dị elu, a pụkwara inweta mkpuchi achọrọ. Uru ya bụ na usoro ahụ dị mfe ma dị mfe ịrụ ọrụ, ọkpụrụkpụ mkpuchi ahụ dịkwa mfe ijikwa; ọghọm ya bụ na enwere ike njikọ dị ala n'etiti mkpuchi ahụ na substrate, na iguzogide okpomọkụ nke mkpuchi ahụ adịghị mma, na nha nha nke mkpuchi ahụ dị ala.
1.3 Usoro mmeghachi omume uzuoku kemịkalụ
Usoro mmeghachi omume ikuku kemịkalụ (CVR) bụ usoro usoro nke na-ekupụ ihe siri ike na silicon ka ọ bụrụ uzuoku silicon n'otu okpomọkụ, wee silịkọn ahụ gbasaa n'ime na elu nke matrix ahụ, ma na-emeghachi omume na in situ na carbon dị na matrix iji mepụta silicon carbide. Uru ya gụnyere ikuku dị n'otu na ọkụ, ọnụego mmeghachi omume na-agbanwe agbanwe na ọkpụrụkpụ nke ihe mkpuchi ebe niile; Usoro a dị mfe ma dị mfe ịrụ ọrụ, enwere ike ijikwa ọkpụrụkpụ mkpuchi ahụ site na ịgbanwe nrụgide uzuoku silicon, oge nkwụnye na paramita ndị ọzọ. Ihe na-adịghị mma bụ na ọnọdụ dị na ọkụ ahụ na-emetụta ihe nlele ahụ nke ukwuu, nrụgide uzuoku silicon dị na ọkụ ahụ enweghịkwa ike iru otu echiche, na-ebute ọkpụrụkpụ mkpuchi na-adịghị mma.
1.4 Usoro itinye uzuoku kemịkalụ
Ndobe anwụrụ kemịkalụ (CVD) bụ usoro eji hydrocarbons dị ka isi iyi gas na ịdị ọcha dị elu N2/Ar dị ka gas ebu iji webata gas agwakọtara n'ime ihe nrụpụta anwụrụ kemịkalụ, a na-agbazekwa hydrocarbons, na-emepụta, gbasaa, na-etinye ha n'ime mmiri ma dozie ha n'okpuru okpomọkụ na nrụgide ụfọdụ iji mepụta ihe nkiri siri ike n'elu ihe mejupụtara carbon/carbon. Uru ya bụ na enwere ike ijikwa njupụta na ịdị ọcha nke mkpuchi ahụ; Ọ dịkwa mma maka ọrụ nwere ọdịdị dị mgbagwoju anya karị; Enwere ike ijikwa nhazi kristal na ọdịdị elu nke ngwaahịa ahụ site na ịgbanwe paramita nkwụnye. Ihe ọghọm ndị dị na ya bụ na ọnụego nkwụnye dị oke ala, usoro ahụ dị mgbagwoju anya, ọnụ ahịa mmepụta dị elu, enwere ike ịnwe ntụpọ mkpuchi, dị ka mgbawa, ntụpọ mesh na ntụpọ elu.
Na nchịkọta, usoro itinye ihe dị naanị na njirimara teknụzụ ya, nke dabara adaba maka mmepe na mmepụta nke ụlọ nyocha na obere ihe; Usoro mkpuchi adịghị mma maka mmepụta oke n'ihi enweghị nguzozi ya. Usoro CVR nwere ike izute mmepụta oke nke ngwaahịa buru ibu, mana o nwere ihe achọrọ dị elu maka akụrụngwa na teknụzụ. Usoro CVD bụ ụzọ kacha mma maka ịkwadebeMkpuchi SIC, mana ọnụ ahịa ya dị elu karịa usoro CVR n'ihi na ọ na-esiri ike n'ịchịkwa usoro.
Oge ozi: Febụwarị-22-2024