-
چرا پارویی کانتیلور SiC برای پردازش کوره LPCVD مدرن حیاتی است؟
همزمان با تکامل تولید نیمههادیها به سمت هندسههای کوچکتر دستگاه، توان عملیاتی بالاتر ویفر و استانداردهای کنترل آلودگی که به طور فزایندهای سختگیرانه میشوند، تجهیزات پردازش حرارتی با چالشهای مهندسی بیسابقهای روبرو هستند. فرآیندهایی مانند LPCVD، اکسیداسیون حرارتی، انتشار ناخالصی، ...ادامه مطلب -
لوله نفوذ SiC چیست؟ عملکردها، مواد و کاربردهای فرآیند نیمههادی
در تولید نیمههادیها، پردازش حرارتی در دمای بالا برای مراحل ساخت ویفر مانند اکسیداسیون، انتشار، آنیل و رسوبگذاری LPCVD ضروری است. این فرآیندها معمولاً در داخل سیستمهای کوره نیمههادی که بین ۸۰۰ تا ۱۲۰۰ درجه سانتیگراد کار میکنند، انجام میشوند، جایی که عملیات حرارتی...ادامه مطلب -
گرافیت متخلخل چیست؟ خواص، کاربردها و مزایای نیمههادی
مقدمه: چرا گرافیت متخلخل در تولید نیمههادی اهمیت دارد؟ با حرکت تولید نیمههادی به سمت گرههای پیشرفته و نیمههادیهای مرکب (مانند SiC)، الزامات مربوط به مواد به طور فزایندهای سختگیرانهتر شده است. پایداری در دمای بالا، خلوص فوقالعاده بالا و گازدهی دقیق...ادامه مطلب -
کاربردهای نمد گرافیت در فرآیندهای نیمه هادی چیست؟
تولید نیمههادیها در تقاطع دقت بسیار بالا و محیطهای بسیار سخت انجام میشود. فرآیندهایی مانند اپیتاکسی، رشد کریستال و آنیل در دمای بالا معمولاً از 1000 درجه سانتیگراد فراتر میروند، جایی که حتی نوسانات حرارتی جزئی میتوانند به تغییرات قابل اندازهگیری در ضخامت فیلم تبدیل شوند...ادامه مطلب -
صفحات دوقطبی گرافیتی در پیلهای سوختی چگونه کار میکنند؟
I. نقش محوری صفحات دوقطبی گرافیتی در رونق صنعت در پس زمینه اهداف "کربن دوگانه" و توسعه سریع اقتصاد هیدروژنی، پیلهای سوختی (به ویژه پیلهای سوختی PEM) در حال گذار از مرحله نمایش به کاربرد در مقیاس بزرگ هستند. از خودروهای مسافربری...ادامه مطلب -
کاربردهای نمد گرافیتی در فناوری پیل سوختی چیست؟
در سیستمهای انرژی الکتروشیمیایی که دائماً در حال تکامل هستند، نمد گرافیتی به عنوان یک ماده کربنی همهکاره با خواص ساختاری، الکتریکی و شیمیایی منحصر به فرد، برجسته است. در حالی که همه معماریهای پیل سوختی به طور جهانی از نمد گرافیتی استفاده نمیکنند، نقش آن - به ویژه در پیل سوختی پیشرفته ...ادامه مطلب -
فیکسچرهای گرافیتی نیمههادی: اجزای فرآیند حیاتی در تولید نیمههادی
در فرآیند تولید نیمههادیها، بسیاری از مواد و اجزای کلیدی، پایداری فرآیند و بازده محصول را تعیین میکنند. اگرچه قطعات گرافیتی نیمههادی به اندازه ویفرها یا تارگتها مورد توجه قرار نمیگیرند، اما به طور مداوم نقش حیاتی در پردازش دمای بالا، اپیتاکسی... ایفا میکنند.ادامه مطلب -
چرا حلقه فوکوس پوشش CVD برای اچینگ نیمههادی با دقت بالا حیاتی است؟
حلقههای کانونی پوشش CVD با تثبیت مرزهای پلاسما و تضمین توزیع یکنواخت یون در سراسر ویفر، نقش مهمی در حکاکی نیمههادی مدرن ایفا میکنند. این مقاله توضیح میدهد که چرا آنها برای گرههای پیشرفته ضروری هستند و تأثیر آنها را بر یکنواختی حکاکی، کنترل CD، آلودگی... برجسته میکند.ادامه مطلب -
هسته کوره رشد تک کریستال: پرده برداری از اسرار میدان های حرارتی گرافیت با خلوص بالا
هسته کوره رشد تک کریستال، تجهیزات کلیدی در تولید کریستال است و طراحی میدان حرارتی آن مستقیماً بر خلوص و کیفیت کریستال تأثیر میگذارد. به عنوان جزء اصلی کوره، میدان حرارتی گرافیت با خلوص بالا، رسانایی حرارتی عالی، ...ادامه مطلب
- English
- French
- German
- Portuguese
- Spanish
- Russian
- Japanese
- Korean
- Arabic
- Irish
- Greek
- Turkish
- Italian
- Danish
- Romanian
- Indonesian
- Czech
- Afrikaans
- Swedish
- Polish
- Basque
- Catalan
- Esperanto
- Hindi
- Lao
- Albanian
- Amharic
- Armenian
- Azerbaijani
- Belarusian
- Bengali
- Bosnian
- Bulgarian
- Cebuano
- Chichewa
- Corsican
- Croatian
- Dutch
- Estonian
- Filipino
- Finnish
- Frisian
- Galician
- Georgian
- Gujarati
- Haitian
- Hausa
- Hawaiian
- Hebrew
- Hmong
- Hungarian
- Icelandic
- Igbo
- Javanese
- Kannada
- Kazakh
- Khmer
- Kurdish
- Kyrgyz
- Latin
- Latvian
- Lithuanian
- Luxembou..
- Macedonian
- Malagasy
- Malay
- Malayalam
- Maltese
- Maori
- Marathi
- Mongolian
- Burmese
- Nepali
- Norwegian
- Pashto
- Persian
- Punjabi
- Serbian
- Sesotho
- Sinhala
- Slovak
- Slovenian
- Somali
- Samoan
- Scots Gaelic
- Shona
- Sindhi
- Sundanese
- Swahili
- Tajik
- Tamil
- Telugu
- Thai
- Ukrainian
- Urdu
- Uzbek
- Vietnamese
- Welsh
- Xhosa
- Yiddish
- Yoruba
- Zulu
- Kinyarwanda
- Tatar
- Oriya
- Turkmen
- Uyghur