انرژی VET از خلوص فوق العاده بالا استفاده میکندکاربید سیلیکون (SiC)تشکیل شده توسط رسوب بخار شیمیایی(بیماریهای قلبی عروقی)به عنوان ماده اولیه برای رشدبلورهای SiCتوسط انتقال فیزیکی بخار (PVT). در PVT، ماده اولیه در یک ... بارگذاری میشود.بوتهو بر روی یک کریستال دانهای تصعید شد.
برای تولید با کیفیت بالا، به یک منبع با خلوص بالا نیاز است.بلورهای SiC.
شرکت VET Energy در زمینه تأمین SiC با ذرات بزرگ برای PVT تخصص دارد، زیرا این ماده چگالی بالاتری نسبت به ماده با ذرات کوچک دارد که از احتراق خود به خودی گازهای حاوی Si و C تشکیل میشود. برخلاف تفجوشی فاز جامد یا واکنش Si و C، این ماده نیازی به کوره تفجوشی اختصاصی یا مرحله تفجوشی زمانبر در کوره رشد ندارد. این ماده با ذرات بزرگ، نرخ تبخیر تقریباً ثابتی دارد که یکنواختی فرآیند را بهبود میبخشد.
مقدمه:
۱. تهیه منبع بلوکی CVD-SiC: ابتدا، باید یک منبع بلوکی CVD-SiC با کیفیت بالا تهیه کنید که معمولاً خلوص و چگالی بالایی دارد. این منبع را میتوان با روش رسوب بخار شیمیایی (CVD) تحت شرایط واکنش مناسب تهیه کرد.
۲. آمادهسازی زیرلایه: یک زیرلایه مناسب را به عنوان زیرلایه برای رشد تک بلور SiC انتخاب کنید. مواد زیرلایه رایج شامل کاربید سیلیکون، نیترید سیلیکون و غیره هستند که تطابق خوبی با تک بلور SiC در حال رشد دارند.
۳. گرمایش و تصعید: منبع بلوک CVD-SiC و زیرلایه را در یک کوره با دمای بالا قرار دهید و شرایط تصعید مناسب را فراهم کنید. تصعید به این معنی است که در دمای بالا، منبع بلوک مستقیماً از حالت جامد به بخار تغییر میکند و سپس دوباره روی سطح زیرلایه متراکم میشود تا یک کریستال واحد تشکیل دهد.
۴. کنترل دما: در طول فرآیند تصعید، گرادیان دما و توزیع دما باید به طور دقیق کنترل شوند تا تصعید منبع بلوک و رشد تک بلورها را ارتقا دهند. کنترل دمای مناسب میتواند به کیفیت و سرعت رشد ایدهآل بلورها دست یابد.
۵. کنترل اتمسفر: در طول فرآیند تصعید، اتمسفر واکنش نیز نیاز به کنترل دارد. معمولاً از گاز بیاثر با خلوص بالا (مانند آرگون) به عنوان گاز حامل برای حفظ فشار و خلوص مناسب و جلوگیری از آلودگی توسط ناخالصیها استفاده میشود.
۶. رشد تک بلور: منبع بلوک CVD-SiC در طول فرآیند تصعید، دچار گذار فاز بخار شده و روی سطح زیرلایه دوباره متراکم میشود تا یک ساختار تک بلوری تشکیل دهد. رشد سریع تک بلورهای SiC را میتوان از طریق شرایط تصعید مناسب و کنترل گرادیان دما به دست آورد.
با گرمی از شما برای بازدید از کارخانه ما استقبال میکنیم، بیایید بحث بیشتری داشته باشیم!
-
لوله کاربید تانتالیوم با کیفیت بالا برای قطعات کرای...
-
کربن شیشهای با کیفیت بالا و مقاوم در برابر خوردگی ...
-
پوشش کاربید تانتالیوم: مقاوم در برابر سایش، مقاومت بالا...
-
ویفر سیلیکون کاربید تبلور مجدد یافته با اندازه بزرگ
-
بخاری گرافیتی با روکش SiC با خلوص بالا سفارشی
-
متخلخل با پوشش کاربید تانتالیوم با کارایی بالا ...