قایق ویفر کوارتزیک ابزار حامل کلیدی در تولید نیمههادیها، تولید سلولهای فتوولتائیک و تحقیق و توسعه مواد پیشرفته است که برای انتقال و موقعیتیابی پایدار ویفر در فرآیندهای دمای بالا طراحی شده است. این محصول از سیلیس ذوبشده با خلوص بسیار بالا (SiO2) ساخته شده است که دارای مقاومت دمایی عالی، پایداری شیمیایی و ویژگیهای آلودگی فلزی بسیار کم است و برای کورههای انتشار، کورههای اکسیداسیون، PECVD/LPCVD و سایر تجهیزات مناسب است و به طور گسترده در پوشش ویفر، کاشت یون، آنیل دمای بالا و سایر فرآیندهای هسته استفاده میشود.
مزایای اصلی قایق کوارتز VET Energy:
- مواد با خلوص فوق العاده بالا
خلوص ≥99.99%: محتوای ناخالصی (سدیم، پتاسیم، آهن و غیره) کمتر از 5ppm، جلوگیری از آلودگی ویفر و تضمین بازده تراشه.
بارش و جذب کم: سطح آن به شدت صیقل داده شده (Ra≤0.4μm) تا چسبندگی ذرات و باقی مانده گاز کاهش یابد. - پایداری دمای بالا
محدودیت دما: دمای کار طولانی مدت 1100 درجه سانتیگراد، حداکثر دمای کوتاه مدت 1300 درجه سانتیگراد، بدون تغییر شکل، بدون رسوب کریستال.
ضریب انبساط حرارتی پایین (5.5x10-7/℃)، مقاومت عالی در برابر شوک حرارتی، سازگار با فرآیندهای افزایش و کاهش سریع دما (مانند آنیل سریع RTP). - طراحی دقیق سازه
دقت شیار ±0.1 میلیمتر: تطبیق ویفرهای 2 تا 12 اینچی، خطای یکنواختی فاصلهگذاری <0.05 میلیمتر، اطمینان از عدم انحراف ویفرها.
ظرفیت بار بالا: حداکثر بار ۵۰ ویفر (بر حسب ویفرهای ۱۲ اینچی) در یک قایق، که از انتقال پایدار ویفرهای نازک (≥۱۰۰um) پشتیبانی میکند. - بیاثری شیمیایی
مقاومت در برابر خوردگی: مقاوم در برابر خوردگی اسید (به جز HF)، قلیا و حلالهای آلی، سازگار با فرآیند تمیزکاری CMP.
گازبندی عالی: میزان نشتی کمتر از 5x10-10 Pa.m3/s، مناسب برای محیطهای خلاء و گازهای محافظ. - عمر طولانی و قابلیت نگهداری
طول عمر ≥ ۵۰۰۰ چرخه (شرایط کاری عادی)، سطح را میتوان بارها و بارها تمیز و استفاده کرد و هزینه کلی را کاهش داد.
طراحی ماژولار: از تعویض جزئی (مثلاً دندانه قایقی تکی) پشتیبانی میکند و زمان از کارافتادگی را کاهش میدهد.
ما سطوح شفاف و مات را مطابق با نیاز مشتری ارائه میدهیم:
شرکت فناوری انرژی Ningbo VET، یک شرکت فناوری پیشرفته است که بر تولید و فروش مواد پیشرفته با کیفیت بالا تمرکز دارد. این مواد و فناوری شامل گرافیت، کاربید سیلیکون، سرامیک، عملیات سطحی مانند پوشش SiC، پوشش TaC، پوشش کربن شیشهای، پوشش کربن پیرولیتیک و غیره میشود. این محصولات به طور گسترده در فتوولتائیک، نیمههادیها، انرژیهای نو، متالورژی و غیره استفاده میشوند.
تیم فنی ما از برترین موسسات تحقیقاتی داخلی تشکیل شده و فناوریهای ثبت اختراع متعددی را برای تضمین عملکرد و کیفیت محصول توسعه دادهاند، همچنین میتوانند راهحلهای حرفهای در زمینه مواد اولیه را در اختیار مشتریان قرار دهند.
