Caractéristiques du produit
· Excellent haute température performance
Le revêtement PyC présente une structure dense, une excellente résistance à la chaleur, une bonne conductivité thermique et une résistance à l'usure. Composé de carbone, il adhère fortement au graphite et peut emprisonner les composés volatils résiduels à l'intérieur de celui-ci, empêchant ainsi toute contamination par des particules de carbone.
· Contrôlable pureté
La pureté du revêtement PyC peut atteindre un niveau de 5 ppm, répondant aux exigences de pureté des applications de haute pureté.
· Étendu service vie et amélioré produit qqualité
Le revêtement PyC permet d'allonger efficacement la durée de vie des composants en graphite et d'améliorer la qualité des produits, réduisant ainsi efficacement les coûts de production des clients.
·Large gamme of applications
Le revêtement PyC est principalement utilisé dans des domaines à haute température tels que la croissance de cristaux semi-conducteurs Si/SiC, l'implantation ionique, la fusion de métaux pour les semi-conducteurs et l'analyse instrumentale.
Produit Caractéristiques
| Performances typiques | Unité | Spécification |
| Structure cristalline | Hexagonal | |
| Alignement | Orienté ou non orienté selon la direction 0001 | |
| Masse volumique apparente | g/cm³ | -2,24 |
| Microstructure | Graphène polycristallin/multicouche | |
| Dureté | GPa | 1.1 |
| Module d'élasticité | GPa | 10 |
| Épaisseur typique | μm | 30-100 |
| Rugosité de surface | μm | 1.5 |
| Pureté du produit | ppm | ≤5 ppm |
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