Caractéristiques du produit
· Excellent haute température performance
Le revêtement PyC se caractérise par une structure dense, une excellente résistance à la chaleur, une bonne conductivité thermique et une résistance à l'usure. Étant tous deux des éléments carbonés, il offre une forte adhérence au graphite et peut sceller les résidus volatils à l'intérieur du graphite afin d'éviter toute contamination par les particules de carbone.
· Contrôlable pureté
La pureté du revêtement PyC peut atteindre un niveau de 5 ppm, répondant aux exigences de pureté des applications de haute pureté.
· Étendu service vie et amélioré produit qqualité
Le revêtement PyC peut prolonger efficacement la durée de vie des composants en graphite et améliorer la qualité du produit, réduisant ainsi efficacement les coûts de production des clients.
·Large gamme of applications
Le revêtement PyC est principalement utilisé dans les domaines à haute température tels que la croissance de cristaux semi-conducteurs Si/SiC, l'implantation ionique, la fusion de métaux pour semi-conducteurs et l'analyse instrumentale.
Produit Caractéristiques
| Performances typiques | Unité | Spécification |
| Structure cristalline | Hexagonal | |
| Alignement | Orienté ou non orienté selon la direction 0001 | |
| Densité apparente | g/cm³ | -2,24 |
| Microstructure | graphène polycristallin/multicouche | |
| Dureté | moyenne générale | 1.1 |
| Module d'élasticité | moyenne générale | 10 |
| Épaisseur typique | μm | 30-100 |
| Rugosité de surface | μm | 1,5 |
| Pureté du produit | ppm | ≤ 5 ppm |
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