製品の特徴
· 素晴らしい 高温 パフォーマンス
PyCコーティングは、緻密な構造、優れた耐熱性、良好な熱伝導性、耐摩耗性といった特徴を備えています。いずれも炭素元素であるため、グラファイトとの密着性が強く、残留揮発分をグラファイト内部に封じ込めることで、炭素粒子による汚染を防ぎます。
· 制御可能 純度
PyC コーティングの純度は 5ppm のレベルに達し、高純度用途の純度要件を満たします。
· 拡張 サービス 人生 そして 改善された 製品 q品質
PyC コーティングは、グラファイト部品の耐用年数を効果的に延ばし、製品の品質を向上させ、それによって顧客の生産コストを効果的に削減します。
·広い 範囲 of アプリケーション
PyCコーティングは、主にSi/SiC半導体結晶成長、イオン注入、半導体用金属精錬、機器分析などの高温分野で使用されます。
製品 仕様
| 標準的なパフォーマンス | ユニット | 仕様 |
| 結晶構造 | 六角 | |
| アライメント | 0001方向に沿って配向または非配向 | |
| 嵩密度 | g/cm³ | -2.24 |
| 微細構造 | 多結晶/多層グラフェン | |
| 硬度 | GPa | 1.1 |
| 弾性係数 | GPa | 10 |
| 標準厚さ | μm | 30~100 |
| 表面粗さ | μm | 1.5 |
| 製品の純度 | ppm | ≤5ppm |







