Substrat en graphite revêtu de carbure de silicium pour semi-conducteur, suscepteur MOCVD

Brève description :

Le suscepteur revêtu de SiC VET Energy est un produit hautes performances conçu pour offrir des performances constantes et fiables sur une longue période. Il présente une excellente résistance à la chaleur et une excellente uniformité thermique, une grande pureté et une résistance à l'érosion, ce qui en fait la solution idéale pour les applications de traitement de plaquettes.

Lieu d'origine :Zhejiang, Chine (continentale)

Composition chimique :graphite revêtu de SiC

Résistance à la flexion :470 Mpa

Conductivité thermique :300 W/mK

Qualité:Parfait

Fonction:CVD-SiC

Application:Semi-conducteur / Photovoltaïque

Densité:3,21 g/cc

Dilatation thermique :4 10-6/K

Cendre: <5 ppm

Échantillon:Disponible

Code SH :6903100000

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Détails du produit

Étiquettes de produit

Suscepteur à revêtement SiC VET Energyest une solution haute performance soigneusement conçue pour offrir des performances fiables et constantes sur une longue durée de vie, répondant ainsi aux exigences rigoureuses de la fabrication de semi-conducteurs. Doté d'une résistance thermique exceptionnelle, d'une uniformité thermique supérieure et d'une grande pureté, ce produit est idéal pour les supports de plaquettes MOCVD et autres applications de traitement de plaquettes exigeant stabilité et précision. Sa grande résistance à l'érosion en fait un choix de premier ordre pour les environnements où durabilité et résistance chimique sont essentielles.

NotreSuscepteur en graphite revêtu de SiCCe composant est un élément essentiel du processus de fabrication des semi-conducteurs. Il s'appuie sur la technologie brevetée exclusive de VET Energy pour atteindre une pureté extrêmement élevée, une uniformité de revêtement supérieure et une stabilité thermique remarquable. Ce revêtement améliore la résistance chimique du substrat en graphite et prolonge considérablement sa durée de vie. L'engagement de VET Energy en matière de qualité a permis de créer un suscepteur revêtu de SiC qui répond aux besoins évolutifs du marché des supports de plaquettes en graphite, établissant ainsi une norme élevée pour les suscepteurs en graphite revêtus de SiC utilisés dans les applications de fabrication de semi-conducteurs.Processus MOCVD.

Principales caractéristiques des suscepteurs revêtus de SiC :

1. Résistance à l'oxydation à haute température :Résiste à des températures allant jusqu'à 1700℃, ce qui le rend adapté aux conditions de traitement extrêmes.

2. Haute pureté et uniformité thermique :Assure des résultats cohérents, essentiels pourSuscepteurs MOCVDet d'autres applications de précision.

3. Excellente résistance à la corrosion :Résistant aux acides, aux alcalis, aux sels et à divers réactifs organiques.

4. Dureté de surface améliorée :Surface compacte avec des particules fines qui offrent une durabilité et une longévité supérieures.

5. Durée de vie prolongée :Conçu pour des performances durables, surpassant les suscepteurs revêtus de carbure de silicium standard dans les environnements de traitement difficiles.

En tant que fabricant leader, VET Energy se spécialise dans le graphite personnalisé etproduits en carbure de siliciumavec diverses options de revêtement, y comprisrevêtement SiC, revêtement TaC, revêtement en carbone vitreuxet revêtement en carbone pyrolytique. Nous sommes fiers de servir les industries des semi-conducteurs et du photovoltaïque en fournissant des suscepteurs en graphite revêtus de carbure de silicium qui répondent à des exigences opérationnelles spécifiques.

Notre équipe technique, forte de l'expérience acquise auprès des meilleurs instituts de recherche nationaux, se consacre à l'avancement de solutions matérielles répondant aux besoins évolutifs de l'industrie.Suscepteur en graphite revêtu de SiCmarché. Grâce à notre procédé breveté, VET Energy a développé une technologie unique qui améliore considérablement la force de liaison entre le revêtement en carbure de silicium et le substrat, réduisant ainsi le risque de détachement et améliorant la fiabilité à long terme.

Applications et avantages dans le traitement des semi-conducteurs

LeRevêtement SiC pour MOCVDpermetsuscepteur en graphitecomposants pour maintenir l'intégrité dans des environnements à haute température et corrosifs, ce qui est essentiel pour la production de semi-conducteurs de précision. Ces composants en graphite revêtus de SiC sont particulièrement appréciés dans les procédés nécessitant des suscepteurs revêtus de carbure de silicium poursupports de plaquettes en graphite, qui exigent une stabilité thermique élevée, une pureté et une résistance à l'érosion chimique.

Grâce à nos techniques avancées de revêtement en carbure de silicium, VET Energy continue de soutenir le marché des supports de plaquettes en graphite en fournissant des solutions personnalisées et performantes.Suscepteurs en graphite revêtus de SiCqui répondent aux défis spécifiques à l'industrie, des processus MOCVD aux applications de haute pureté dans le domaine des semi-conducteurs.