คุณสมบัติผลิตภัณฑ์
· ยอดเยี่ยม อุณหภูมิสูง ผลงาน
สารเคลือบ PyC มีโครงสร้างหนาแน่น ทนความร้อนได้ดี นำความร้อนได้ดี และทนต่อการสึกหรอ เนื่องจากทั้งสององค์ประกอบเป็นธาตุคาร์บอน จึงสามารถยึดเกาะกับกราไฟต์ได้ดี และสามารถปิดผนึกสารระเหยที่เหลือไว้ภายในกราไฟต์เพื่อป้องกันการปนเปื้อนจากอนุภาคคาร์บอน
· ควบคุมได้ ความบริสุทธิ์
ความบริสุทธิ์ของสารเคลือบ PyC สามารถไปถึงระดับ 5ppm ซึ่งตรงตามข้อกำหนดความบริสุทธิ์ของการใช้งานที่มีความบริสุทธิ์สูง
· ขยายเวลา บริการ ชีวิต และ ปรับปรุงแล้ว ผลิตภัณฑ์ qคุณภาพ
การเคลือบ PyC ช่วยยืดอายุการใช้งานของส่วนประกอบกราไฟต์และปรับปรุงคุณภาพของผลิตภัณฑ์ได้อย่างมีประสิทธิภาพ จึงช่วยลดต้นทุนการผลิตของลูกค้าได้อย่างมีประสิทธิภาพ
·กว้าง พิสัย of แอปพลิเคชั่น
การเคลือบ PyC ส่วนใหญ่ใช้ในงานที่มีอุณหภูมิสูง เช่น การเจริญเติบโตของผลึกเซมิคอนดักเตอร์ Si/SiC การฝังไอออน การถลุงโลหะสำหรับเซมิคอนดักเตอร์ และการวิเคราะห์เครื่องมือ
ผลิตภัณฑ์ ข้อมูลจำเพาะ
| ประสิทธิภาพการทำงานโดยทั่วไป | หน่วย | ข้อมูลจำเพาะ |
| โครงสร้างผลึก | หกเหลี่ยม | |
| การจัดตำแหน่ง | การวางแนวหรือการวางแนวตามทิศทาง 0001 | |
| ความหนาแน่นเป็นกลุ่ม | กรัม/ซม³ | -2.24 |
| โครงสร้างจุลภาค | โพลีคริสตัลลีน/กราฟีนหลายชั้น | |
| ความแข็ง | เกรดเฉลี่ย | 1.1 |
| โมดูลัสยืดหยุ่น | เกรดเฉลี่ย | 10 |
| ความหนาโดยทั่วไป | ไมโครเมตร | 30-100 |
| ความหยาบของพื้นผิว | ไมโครเมตร | 1.5 |
| ความบริสุทธิ์ของผลิตภัณฑ์ | หน่วยต่อนาที | ≤5ppm |







