Plateau et couvercle en graphite avec revêtement en carbure de silicium

VET ÉnergiePlateau en graphite avec revêtement en carbure de silicium, Plate, and Cover est conçu pour offrir des performances de premier ordre, assurant un fonctionnement fiable et constant sur une utilisation prolongée, ce qui en fait un choix essentiel pour les applications de traitement de plaquettes dans l'industrie des semi-conducteurs. Ce système haute performancePlaque de graphite avec revêtement en carbure de siliciumIl présente une résistance thermique exceptionnelle, une uniformité thermique supérieure et une stabilité chimique remarquable, notamment à haute température. Sa construction d'une grande pureté, associée à une résistance avancée à l'érosion, le rend indispensable pour les environnements exigeants tels queSuscepteurs MOCVD.

Principales caractéristiques du plateau, de la plaque et du couvercle en graphite avec revêtement en carbure de silicium

1. Résistance à l'oxydation à haute température :Résiste à des températures allant jusqu'à 1700℃, ce qui lui permet de fonctionner de manière fiable dans des conditions extrêmes.

2. Haute pureté et uniformité thermique :Une pureté élevée et constante et une répartition uniforme de la chaleur sont essentielles pour les applications MOCVD.

3. Résistance exceptionnelle à la corrosion :Résistant aux acides, aux alcalis, aux sels et à divers réactifs organiques, assurant une stabilité à long terme dans divers environnements.

4. Dureté élevée et surface compacte :Présente une surface dense avec des particules fines, améliorant la durabilité globale et la résistance à l'usure.

5. Durée de vie prolongée :Conçu pour la longévité, surpassant les produits conventionnelssuscepteurs en graphite revêtus de carbure de siliciumdans des environnements de traitement de semi-conducteurs difficiles.

L'expertise de VET Energy en solutions personnalisées en graphite et en carbure de silicium

Fabricant de confiance, VET Energy est spécialisé dans les suscepteurs en graphite sur mesure et les solutions de revêtement en carbure de silicium. Nous proposons une gamme de produits adaptés aux industries des semi-conducteurs et du photovoltaïque, notammentComposants en graphite revêtus de SiCcomme des plateaux, des assiettes et des couvercles. Notre gamme de produits comprend également diverses options de revêtement, telles queRevêtement SiC pour MOCVD, revêtement TaC, revêtement en carbone vitreux, et un revêtement en carbone pyrolytique, garantissant que nous répondons aux différentes demandes des industries de haute technologie.

Notre équipe technique expérimentée, composée d'experts issus des meilleurs instituts de recherche nationaux, propose à nos clients des solutions complètes en matière de matériaux. Nous perfectionnons continuellement nos procédés de pointe, notamment une technologie brevetée exclusive qui améliore l'adhérence entre le revêtement en carbure de silicium et le substrat en graphite, réduisant ainsi le risque de décollement et prolongeant la durée de vie du produit.

Applications et avantages dans la fabrication de semi-conducteurs

LeRevêtement en carbure de silicium pour MOCVDCes suscepteurs en graphite sont particulièrement efficaces dans les environnements corrosifs à haute température. Qu'ils soient utilisés comme supports de plaquettes en graphite ou comme composants MOCVD, ces suscepteurs revêtus de carbure de silicium offrent une durabilité et des performances supérieures. Ils sont destinés à ceux qui recherchent des solutions fiables dans le domaineSuscepteur en graphite revêtu de SiCSur le marché, le plateau, la plaque et le couvercle en graphite revêtu de carbure de silicium de VET Energy offrent une option robuste et polyvalente qui répond aux exigences rigoureuses de l'industrie des semi-conducteurs.

En se concentrant sur la science des matériaux de pointe, VET Energy s'engage à fournir des solutions de graphite revêtu de SiC hautes performances qui stimulent l'innovation dans le traitement des semi-conducteurs et garantissent des performances fiables dans toutes les applications liées au MOCVD.

VET Energy est le véritable fabricant de produits personnalisés en graphite et en carbure de silicium avec différents revêtements tels que le revêtement SiC, le revêtement TaC, le revêtement en carbone vitreux, le revêtement en carbone pyrolytique, etc., peut fournir diverses pièces personnalisées pour l'industrie des semi-conducteurs et du photovoltaïque.

Notre équipe technique est issue des meilleures institutions de recherche nationales et peut vous fournir des solutions matérielles plus professionnelles.

Nous développons continuellement des procédés avancés pour fournir des matériaux plus avancés et avons mis au point une technologie brevetée exclusive, qui peut rendre la liaison entre le revêtement et le substrat plus étroite et moins sujette au détachement.

Nous vous invitons chaleureusement à visiter notre usine, discutons-en davantage !