Produktegenskaper
· Excellent hög temperatur prestanda
PyC-beläggning har egenskaper som tät struktur, utmärkt värmebeständighet, god värmeledningsförmåga och slitstyrka. Eftersom båda är kolelement har den stark vidhäftning med grafit och kan täta kvarvarande flyktiga ämnen inuti grafiten för att förhindra kontaminering från kolpartiklar.
· Kontrollerbar renhet
Renheten hos PyC-beläggningen kan nå en nivå på 5 ppm, vilket uppfyller renhetskraven för applikationer med hög renhet.
· Utökad service liv och förbättrad produkt qkvalitet
PyC-beläggning kan effektivt förlänga livslängden för grafitkomponenter och förbättra produktkvaliteten, vilket effektivt minskar kundernas produktionskostnader.
·Bred räckvidd of applikationer
PyC-beläggning används huvudsakligen inom högtemperaturområden såsom Si/SiC-halvledarkristalltillväxt, jonimplantation, metallsmältning för halvledare och instrumentanalys.
Produkt Specifikationer
| Typisk prestanda | Enhet | Specifikation |
| Kristallstruktur | Hexagonal | |
| Inriktning | Orienterad eller icke-orienterad längs 0001-riktningen | |
| Skrymdensitet | g/cm³ | -2,24 |
| Mikrostruktur | Polykristallin/flerskiktsgrafen | |
| Hårdhet | GPa | 1.1 |
| Elasticitetsmodul | GPa | 10 |
| Typisk tjocklek | μm | 30-100 |
| Ytjämnhet | μm | 1,5 |
| Produktens renhet | ppm | ≤5 ppm |







