Bateau PECVD en graphite de haute pureté pour panneau solaire
Description
1). Adopté pour éliminer la technologie des « lentilles colorées », pour garantir l'absence de « lentilles colorées » pendant le processus à long terme.
2). Fabriqué à partir de graphite importé SGL de haute pureté, à faible teneur en impuretés et à haute résistance.
3). Utilisation de la céramique à 99,9 % pour l'assemblage en céramique avec de fortes performances de résistance à la corrosion et à l'éclatement.
4). Utilisation d'équipements de traitement de précision pour garantir la précision de chaque pièce.
Spécification
| Article | Taper | Numéro de support de plaquette |
| Bateau en graphite PECVD — La série 156 | Bateau en graphite 156-13 | 144 |
| Bateau en graphite 156-19 | 216 | |
| Bateau en graphite 156-21 | 240 | |
| Bateau en graphite 156-23 | 308 | |
| Bateau en graphite PECVD — La série 125 | Bateau en graphite 125-15 | 196 |
| Bateau en graphite 125-19 | 252 | |
| Bateau en graphite 125-21 | 280 |




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