太陽電池パネル用高純度グラファイトPECVDボート

簡単な説明：

1) 「カラーレンズ」技術を排除し、長期プロセス中に「カラーレンズ」が発生しないようにする技術を採用しました。
2) 高純度、低不純物含有量、高強度のSGL輸入黒鉛材料を使用。
3) 耐食性と耐破裂性に優れた99.9%セラミックをセラミックアセンブリに使用する。
4) 精密加工装置を使用して、各部品の精度を確保する。

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製品詳細

商品タグ

太陽電池パネル用高純度グラファイトPECVDボート

説明
1) 「カラーレンズ」技術を排除し、長期プロセス中に「カラーレンズ」が発生しないようにする技術を採用しました。
2) 高純度、低不純物含有量、高強度のSGL輸入黒鉛材料を使用。
3) 耐食性と耐破裂性に優れた99.9%セラミックをセラミックアセンブリに使用する。
4) 精密加工装置を使用して、各部品の精度を確保する。

仕様

アイテム	タイプ	番号ウェハーキャリア
PECVDグラファイトボート — 156シリーズ	156-13 グラファイトボート	144
	156-19 グラファイトボート	216
	156-21 グラファイトボート	240
	156-23 グラファイトボート	308
PECVDグラファイトボート — 125シリーズ	125-15 グラファイトボート	196
	125-19 グラファイトボート	252
	125-21 グラファイトボート	280