설명
1) "컬러 렌즈" 기술을 채택하여 장기간 공정에서 "컬러 렌즈"가 발생하지 않도록 보장합니다.
2) 높은 순도, 낮은 불순물 함량, 높은 강도를 지닌 SGL 수입 흑연 소재로 제작되었습니다.
3) 99.9% 세라믹을 사용하여 세라믹 조립체로 강력한 내식성과 내구성을 갖추고 있습니다.
4) 정밀 가공 장비를 사용하여 각 부품의 정확성을 보장합니다.
사양
| 목 | 유형 | 웨이퍼 캐리어 번호 |
| PECVD 흑연 보트 — 156 시리즈 | 156-13 그래파이트 보트 | 144 |
| 156-19 그래파이트 보트 | 216 | |
| 156-21 그래파이트 보트 | 240 | |
| 156-23 그래파이트 보트 | 308 | |
| PECVD 흑연 보트 — 125 시리즈 | 125-15 그래파이트 보트 | 196 |
| 125-19 그래파이트 보트 | 252 | |
| 125-21 그래파이트 보트 | 280 |




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