Barco PECVD de grafite de alta pureza para painel solar

Descrição curta:

1). Adotado para eliminar a tecnologia de “lentes coloridas”, para garantir que não haja “lentes coloridas” durante o processo de longo prazo.
2). Feito de material de grafite importado da SGL com alta pureza, baixo teor de impurezas e alta resistência.
3). Utilizando 99,9% de cerâmica para a montagem cerâmica com forte desempenho de resistência à corrosão e à prova de choque.
4). Utilizando equipamentos de processamento de precisão para garantir a precisão de cada peça.


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Barco PECVD de grafite de alta pureza para painel solar

 

Descrição
1). Adotado para eliminar a tecnologia de “lentes coloridas”, para garantir que não haja “lentes coloridas” durante o processo de longo prazo.
2). Feito de material de grafite importado da SGL com alta pureza, baixo teor de impurezas e alta resistência.
3). Utilizando 99,9% de cerâmica para a montagem cerâmica com forte desempenho de resistência à corrosão e à prova de choque.
4). Utilizando equipamentos de processamento de precisão para garantir a precisão de cada peça.

Especificação

Item Tipo Número de portador de wafer
Barco de grafite PECVD —
A série 156
156-13 barco de grafite 144
156-19 barco de grafite 216
156-21 barco de grafite 240
156-23 barco de grafite 308
Barco de grafite PECVD —
A série 125
barco de grafite 125-15 196
barco de grafite 125-19 252
barco de grafite 125-21 280

 

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