Barco PECVD de grafite de alta pureza para painel solar
Descrição
1). Adotado para eliminar a tecnologia de “lentes coloridas”, para garantir que não haja “lentes coloridas” durante o processo de longo prazo.
2). Feito de material de grafite importado da SGL com alta pureza, baixo teor de impurezas e alta resistência.
3). Utilizando 99,9% de cerâmica para a montagem cerâmica com forte desempenho de resistência à corrosão e à prova de choque.
4). Utilizando equipamentos de processamento de precisão para garantir a precisão de cada peça.
Especificação
| Item | Tipo | Número de portador de wafer |
| Barco de grafite PECVD — A série 156 | 156-13 barco de grafite | 144 |
| 156-19 barco de grafite | 216 | |
| 156-21 barco de grafite | 240 | |
| 156-23 barco de grafite | 308 | |
| Barco de grafite PECVD — A série 125 | barco de grafite 125-15 | 196 |
| barco de grafite 125-19 | 252 | |
| barco de grafite 125-21 | 280 |




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