Barco de grafite PECVD de alta pureza para painel solar
Descrição
1) Adotado para eliminar a tecnologia de "lentes de cor", garantindo a ausência de "lentes de cor" durante o processo a longo prazo.
2) Fabricado com grafite importado da SGL, de alta pureza, baixo teor de impurezas e alta resistência.
3) Utilização de cerâmica com pureza de 99,9% para a montagem cerâmica, proporcionando alta resistência à corrosão e a impactos.
4) Utilizar equipamentos de processamento de precisão para garantir a exatidão de cada peça.
Especificação
| Item | Tipo | Número de wafers de suporte |
| Barco de grafite PECVD — A série 156 | Barco de grafite 156-13 | 144 |
| Barco de grafite 156-19 | 216 | |
| Barco de grafite 156-21 | 240 | |
| Barco de grafite 156-23 | 308 | |
| Barco de grafite PECVD — A série 125 | Barco de grafite 125-15 | 196 |
| Barco de grafite 125-19 | 252 | |
| Barco de grafite 125-21 | 280 |




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